特種加工第六章ppt課件-免費(fèi)閱讀
【正文】 例如在鈮導(dǎo)線表面注入錫，可在其表面生成超導(dǎo)性材料 Nb3Sn。例如在低碳鋼中注入Ｎ、Ｂ、Ｍｏ等，在磨損過程中，表面局部溫升形成溫度梯度，使注入離子向襯底擴(kuò)散，同時(shí)注入離子又被表面的錯(cuò)位網(wǎng)絡(luò)限制，不能推移很深。由于離子注入的數(shù)量、 PN結(jié)的含量、注入的區(qū)域都可以精確控制，可以滿足熱擴(kuò)散法難以達(dá)到的要求。 ?離子鍍技術(shù)已用于鍍制潤(rùn)滑膜、耐熱膜、耐蝕膜、耐磨膜、裝飾膜和電氣膜等 氮化鈦18Ｋ金鍍膜 耐磨性 耐腐蝕性 價(jià)格 1/60 用于首飾、景泰藍(lán)、金筆套、餐具等。 用于致薄樣品，進(jìn)行表面分析，例如可以致薄月球巖石樣品，從 10微米致薄到10納米。 加工非球面透鏡能達(dá)到其他方法不能達(dá)到的精度。具體辦法是把要電離的氣態(tài)原子注入電離室，經(jīng)高頻放電、電弧放電、等離子體放電或電子轟擊，使氣態(tài)原子電離為等離子體。 （ 2）由于離子束加工是在高真空中進(jìn)行，所以污染少，特別適用用對(duì)易氧化的金屬、合金材料和高純度半導(dǎo)體材料的加工。 ?金屬達(dá)到表面熔化，可在熔化區(qū)添加元素，使金屬表面改性，形成新的合金層，獲得更好的物理力學(xué)性能。 （二）加工型孔及特殊表面 ?加工噴絲頭異型孔 ?切割種復(fù)雜型面 切口寬度３～６ μｍ，邊緣表面粗糙度 μｍ ?離心過濾機(jī)、造紙化工過濾設(shè)備鋼板上的小錐孔 防止堵塞 反沖清洗 ?燃燒室混氣板及某些透平葉片上不同方向的斜孔 ?燃?xì)廨啓C(jī)上的葉片、混氣板和蜂房消音器上的孔 也可以加工彎孔和曲面 ?（三）刻蝕 ?在微電子器件生產(chǎn)中，為了制造多層固體組件，可利用電子束對(duì)陶瓷或半導(dǎo)體材料刻出許多微細(xì)溝槽和孔。 二、電子束加工裝置 （一）電子槍 （二）真空系統(tǒng) （三）控制系統(tǒng)和電源 （一）電子槍 發(fā)射陰極（鎢、鉭）、控制柵極、加速陽極 電磁透鏡 （二）真空系統(tǒng) 電子高速運(yùn)動(dòng) 金屬蒸汽 ?機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵 油擴(kuò)散泵或渦輪分子泵 （三）控制系統(tǒng)和電源 束流聚焦控制 為了提高電子束的能量密度，使電子束聚焦成很小的束斑，它基本上決定著加工點(diǎn)的孔徑或縫寬。工件不受機(jī)械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。加工材料范圍很廣，對(duì)脆性、韌性、導(dǎo)體、非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工。 利用高壓靜電場(chǎng) 電磁透鏡 電磁線圈 軸向磁場(chǎng) 端面徑向磁場(chǎng) ?束流位置控制 電子束方向 電磁偏轉(zhuǎn) 偏轉(zhuǎn)電壓或電流 程序控制 電子束焦點(diǎn)運(yùn)動(dòng)軌跡 ?束流強(qiáng)度控制 ?工作臺(tái)位移控制 電子束偏轉(zhuǎn)距離只能在數(shù)毫米之內(nèi)，過大將增加像差和影響線性 ?電子束加工裝置對(duì)電源電壓的穩(wěn)定性要求較高，
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