特種加工第六章ppt課件(存儲版)
【正文】 常用穩(wěn)壓設(shè)備，這是因為電子束聚焦以及陰極的發(fā)射強度與電壓波動有密切關(guān)系。還可在加工過程中對電阻值進行測量校準。 鑄鐵熔化處理 萊氏體組織 抗滑動磨損 鋁、鈦、鎳 添加元素 耐磨性能 （六）光刻 ? 用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑，由于入射電子與高分子相碰撞，使分子的鏈被切斷或重新聚合而引起分子量的變化，稱為電子束曝光，留下潛像，然后顯影、蒸鍍、離子刻蝕，去掉抗蝕劑，留下圖形。 （ 3）離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的。用一個相對于等離子體為負電位的電極，就可以從等離子體中引出正離子束流。 航天、航空中動壓馬達止推板和陀螺馬達軸上的精密槽線 ?刻蝕高精度的圖形，如集成電路、聲表面波器件、磁泡器件、光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形 ?由波導(dǎo)、耦合器和調(diào)制器等小型光學(xué)元件組合制成的光路稱為集成光路。 能在１納米厚的 AuPa膜上刻出８納米寬的線條。 ?離子鍍代替鍍硬鉻，可減少公害。 ?離子注入可以改變金屬表面的物理化學(xué)性能，制得新的合金從而改善金屬表面的耐腐蝕性能、耐磨性能、硬度、抗疲勞性能、潤滑性能等。這樣，在材料磨損過程中，不斷在表面形成硬化層，提高了耐磨性。 １ .電子束加工的原理是什么？ ２ .離子束加工的原理和物理基礎(chǔ)是什么？ ?電子束加工是在真空條件下，利用聚焦后能量密度極高的電子束，以極高的速度沖擊到工件表面極小面積上，在極短的時間內(nèi)，其能量的大部分轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，使被沖擊部分的工件材料達到幾千攝氏度以上的高溫，從而引起材料的局部熔化和氣化，被真空系統(tǒng)抽走。 離子注入還可以制造光波導(dǎo)，改善磁泡材料性能、制造超導(dǎo)性材料。 離子注入可以改善金屬材料的耐磨性能。 ?用硼、磷等注入半導(dǎo)體，用以改變導(dǎo)電形式和制造 PN結(jié)。 ?離子鍍的可鍍材料廣泛，可在金屬或非金屬表面上鍍制金屬或非金屬材料，各種合金、化合物、某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點材料均可鍍覆。致薄探測器探頭，可以提高其靈敏度。 加工陀螺儀空氣軸承和動壓馬達上的溝槽，分辨率高，精度、重復(fù)一致性好。產(chǎn)生離子束流的基本原理和方法是使原子電離。因此，離子束加工是所有特種加工方法中最精密、最微細的加工方法，是當代納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)。 （五）熱處理 ? 加熱和冷卻速度很快，奧氏體化時間很短，只有幾分之一秒到千分之一秒，可得到奧氏體超細晶粒組織 高硬度 ? 跟激光相比，熱轉(zhuǎn)換效率高，防止材料氧化，功率比激光功率大。 ?加工玻璃、陶瓷、寶石 溫差 變形、破裂 用電阻爐或電子束進行預(yù)熱。 6）電子束加工需要一整套專用設(shè)備和
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