特種加工第六章ppt課件(完整版)
【正文】 金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。 ? 根據(jù)電子束能量密度的大小和能量注入時(shí)間，可實(shí)現(xiàn)：熱處理 焊接 打孔、切割 電子束光刻加工 （二）電子束加工的特點(diǎn) 1）由于電子束能夠極其微細(xì)的聚焦，甚至能聚焦到 ，所以加工面積可以很小，是一種精密細(xì)微的加工方法。 4）可以通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、位置、聚焦等進(jìn)行直接控制，所以整個(gè)加工過(guò)程便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。發(fā)動(dòng)機(jī)套上的冷卻孔 機(jī)翼吸附屏上的孔 孔的密度和直徑可以變化，孔數(shù)達(dá)數(shù)百萬(wàn)個(gè)。 （四）焊接 ? 高能量密度的電子束 毛細(xì)管狀的熔池，沿著焊縫與電子束做相對(duì)運(yùn)動(dòng) ?能量密度高，焊接速度快，焊縫深而窄，焊件熱影響區(qū)小，變形小。 第二節(jié) 離子束加工 一、離子束加工原理、分類和特點(diǎn) 二、離子束加工裝置 三、離子束加工的應(yīng)用 一、離子束加工原理、分類和特點(diǎn) （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) （二）離子束加工分類 （三）離子束加工的特點(diǎn) （一）離子束加工的原理和物理基礎(chǔ) ?離子帶正電荷，質(zhì)量比電子大成千上萬(wàn)倍，離子束比電子束具有更大的撞擊動(dòng)能，它是靠微觀的機(jī)械撞擊能量、而不是靠動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能來(lái)加工的。 （ 4）離子束加工設(shè)備費(fèi)用高、成本高，加工效率低，因此應(yīng)用范圍受到一定限制。 ?原子間鍵合力 惰性元素 ?氬氣 原子序數(shù)高 價(jià)格便宜 ?逐個(gè)原子剝離 微米或亞微米級(jí) ? 蝕除速度很低 每秒一層到幾十層原子 ?刻蝕加工時(shí)，對(duì)離子入射能量、束流大小、離子入射到工件上的角度以及工作室氣壓等都能分別調(diào)節(jié)控制。 ?轟擊被機(jī)械磨光的玻璃，形成極光滑的表面，改變其折射率分布，使之具有偏光作用。離子鍍時(shí)工件不僅接受靶材濺射來(lái)的原子，還同時(shí)受到離子的轟擊，這使離子鍍具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。 ?用離子鍍方法在切削工具表面鍍氮化鈦、碳化鈦等超硬層，可以提高刀具的耐用度。如將Ｗ注入到低溫的 Cu靶中，可以得到 WCu合金。例如在純鐵中注入Ｂ，其顯微硬度可提高 20％。 ?離子束加工的物理基礎(chǔ)是離子束射到材料表面時(shí)所發(fā)生的撞擊效應(yīng)、濺射效應(yīng)和注入效應(yīng)。 離子注入可以改善金屬材料的潤(rùn)滑性能，這時(shí)因?yàn)殡x子注入表層，在相對(duì)摩擦過(guò)程中，注入離子起到潤(rùn)滑作用，提高材料的使用壽命。例如把 Cr注入 Cu，能得到一種新的亞穩(wěn)態(tài)的表面相，從而改善耐蝕性?？招年帢O放電離子鍍效率高、膜層質(zhì)量好。 清洗掉表面的沾污和氧化物 提高工件表面附著力 形成混合過(guò)渡層 減少膜材與基材熱膨脹系數(shù)不同而產(chǎn)生的熱應(yīng)力，增強(qiáng)兩者的結(jié)合力，使膜層不易脫落，鍍層組織致密，針孔氣泡少。 ?使太陽(yáng)能電池表面具有非反射紋理表面。 ?離子能量從 100
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