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特種加工第六章ppt課件(留存版)

2025-06-13 03:09上一頁面

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【正文】 部件鍍鎘。 離子束刻蝕已用于制作集成光路中的光柵和波導(dǎo)。它是一種微觀作用,宏觀壓力很小,所以加工應(yīng)力、熱變形等極小,加工質(zhì)量高,適合于對各種材料和低剛度零件的加工。 ?電子束刻蝕還可用于制版,在銅制印刷滾筒上按色調(diào)深淺刻出許多大小與深淺不一的溝槽或凹坑。 3)電子束的能量密度高,因而加工生產(chǎn)率很高,例如,每秒鐘可以在 加工 50個直徑為 。 6)電子束加工需要一整套專用設(shè)備和真空系統(tǒng),價格較貴,生產(chǎn)應(yīng)用有一定局限性。 (五)熱處理 ? 加熱和冷卻速度很快,奧氏體化時間很短,只有幾分之一秒到千分之一秒,可得到奧氏體超細(xì)晶粒組織 高硬度 ? 跟激光相比,熱轉(zhuǎn)換效率高,防止材料氧化,功率比激光功率大。產(chǎn)生離子束流的基本原理和方法是使原子電離。致薄探測器探頭,可以提高其靈敏度。 ?用硼、磷等注入半導(dǎo)體,用以改變導(dǎo)電形式和制造 PN結(jié)。 離子注入還可以制造光波導(dǎo),改善磁泡材料性能、制造超導(dǎo)性材料。這樣,在材料磨損過程中,不斷在表面形成硬化層,提高了耐磨性。 ?離子鍍代替鍍硬鉻,可減少公害。 航天、航空中動壓馬達(dá)止推板和陀螺馬達(dá)軸上的精密槽線 ?刻蝕高精度的圖形,如集成電路、聲表面波器件、磁泡器件、光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形 ?由波導(dǎo)、耦合器和調(diào)制器等小型光學(xué)元件組合制成的光路稱為集成光路。 ( 3)離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實現(xiàn)的。還可在加工過程中對電阻值進行測量校準(zhǔn)。加工材料范圍很廣,對脆性、韌性、導(dǎo)體、非導(dǎo)體及半導(dǎo)體材料都可加工。 二、電子束加工裝置 (一)電子槍 (二)真空系統(tǒng) (三)控制系統(tǒng)和電源 (一)電子槍 發(fā)射陰極(鎢、鉭)、控制柵極、加速陽極 電磁透鏡 (二)真空系統(tǒng) 電子高速運動 金屬蒸汽 ?機械旋轉(zhuǎn)泵 油擴散泵或渦輪分子泵 (三)控制系統(tǒng)和電源 束流聚焦控制 為了提高電子束的能量密度,使電子束聚焦成很小的束斑,它基本上決定著加工點的孔徑或縫寬。 ?金屬達(dá)到表面熔化,可在熔化區(qū)添加元素,使金屬表面改性,形成新的合金層,獲得更好的物理力學(xué)性能。具體辦法是把要電離的氣態(tài)原子注入電離室,經(jīng)高頻放電、電弧放電、等離子體放電或電子轟擊,使氣態(tài)原子電離為等離子體。 用于致薄樣品,進行表面分析,例如可以致薄月球巖石樣品,從 10微米致薄到10納米。由于離子注入的數(shù)量、 PN結(jié)的含量、注入的區(qū)域都可以精確控制,可以滿足熱擴散法難以達(dá)到的要求。例如在鈮導(dǎo)線表面注入錫,可在其表面生成超導(dǎo)性材料 Nb3Sn。例如在低碳鋼中注入N、B、Mo等,在磨損過程中
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