tft—lcd用玻璃基板發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢-預(yù)覽頁
【正文】 隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和信息技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有質(zhì)量輕，圖像細(xì)膩、清晰，色彩豐富、自然、逼真等優(yōu)點(diǎn)的薄膜晶體管型液晶顯示器（即TFTLCD）正逐漸取代傳統(tǒng)的陰極射線管（CRT）顯示器，預(yù)計(jì)未來幾年將成為顯示器的主流產(chǎn)品。制作一片液晶面板需要兩片玻璃基板，分別作為底層玻璃基板和彩色濾光片板使用。自90年T F T L C D產(chǎn)業(yè)由日本第一代產(chǎn)品的生產(chǎn), 發(fā)展到目前康寧公司正在研制的第七代產(chǎn)品所使用玻璃基板已經(jīng)歷了七代。由于TFTLCD模組在制造過程中需要真空蒸鍍與刻蝕，因此玻璃基板必須耐高溫、耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿；同時(shí)考慮重量和厚度，玻璃基板必須非常薄，尤其對(duì)應(yīng)大尺寸后，玻璃基板如果過厚，就會(huì)增加不少重量；玻璃基板要求高透光性，否則影響畫面質(zhì)量，所以必須要在無塵室中生產(chǎn)；玻璃基板還要高平整度，其平整度要求比硅晶圓還要高。目前，我國大陸還沒有廠家能生產(chǎn)TFTLCD用玻璃基板，所用玻璃基板全部依賴于進(jìn)口。只是完成實(shí)驗(yàn)室研制，距離工業(yè)化生產(chǎn)還有很遠(yuǎn)的路要走。浮法技術(shù)主要用于生產(chǎn)TN—LCD（旋轉(zhuǎn)向列液晶顯示器）和STN—LCD（超級(jí)旋轉(zhuǎn)向列液晶顯示器）用玻璃基板，而未能廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)厚度小于2 m m超薄平板玻璃。狹縫下引法因鉑金屬無法承受較高的機(jī)械應(yīng)力,因此一般大多采用鉑合金所制成的模具。溢流熔融法溢流熔融法是采用一長條型的熔融幫浦( Fusion Pump ),將熔融的玻璃液輸送到該熔融幫浦的中心,再利用溢流的方式,將兩股向外溢流的玻璃液于該幫浦的下方處再結(jié)合成超薄平板玻璃。同時(shí)在平面顯示器制造過程中,也不需注意同時(shí)具有原始表面及與液態(tài)錫有接觸的不良玻璃表面，或和研磨介質(zhì)有所接觸而造成玻璃表面性質(zhì)差異等問題,已成為生產(chǎn)TFTLCD用玻璃基板的主流。但隨著液晶桌面顯示器的普及，筆記本電腦的廣泛應(yīng)用，以及液晶彩電的發(fā)展使得第五代玻璃基板成為市場主流，大尺寸玻璃基板需求迅速增大。6 /
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