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集成電路封裝工藝-預覽頁

2025-12-02 13:42 上一頁面

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【正文】 接影響整個產業(yè)鏈。相對國內微電子封裝技術快速發(fā)展的現狀而言,封裝材料業(yè)的發(fā)展顯得不相適應。 微電子產業(yè)的發(fā)展方向 當今全球正迎來以電子計算機為核心的電子信息技術時代,隨著它的發(fā)展,越來越要求電子產品要具有高性能、多功能、高可靠、小型化、薄型化、便攜化以及將大眾化普及所要求的低成本 等特點。將基板技術、芯片封裝體、分立器件等全部要素,按電子設備整機要求進行連接和裝配,實現電子的、物理的功能,使之轉變?yōu)檫m用于機械或系統的形式,成為整機裝置或設備的工程稱為電子封 裝工程。 集成電路芯片封裝是指利 用膜技術及微細連接技術,將芯片及其它要素在框架或基板上布置、粘貼固定及連接,引出接線端子并通過可塑性絕緣介質灌封固定,構成整體立體結構的工藝。那么 芯片封裝技術 又是什么呢?讓我們來看下面的內容。上面兩層封裝的含義結合起來,構成了廣義的封裝概念。我國微電子封裝業(yè)在集成電路產業(yè)中占有十分重要的地位,在長三角、珠三角、京津和成都地區(qū)形成了不同規(guī)模的微電子封裝與測試產業(yè)群, 2020 年銷售收入已達 345 億元,占國內集成電路產業(yè)的 “半壁河山 ”。芯片直接安裝技術,特別是倒裝焊技術將逐步成為微電子封裝的主流形式。例如,約占 12%~ 15%的環(huán)氧樹脂需進口, %~10%的酚醛靠進口, 75%左右的硅微粉雖然可國內配套,但加工的技術落后只能滿足 DIP產品和 TO 產品,還不能滿足 SOP、 SOT 產品。因此,突破 “瓶頸 ”刻不容緩。 在集成電路產業(yè)中,封裝測試業(yè)在國內 IC 產業(yè)中占有重要地位。產能上迅速提升滿足了市場的要求,如長電科技股份、南通富士通、四川安森美、華潤安盛、上海金朋、安靠、浙江華越等公司都在產量銷售收入利潤上獲得歷史佳績。 2020 年半導體分立器件中國市場已占有全球的 1/3,據 CCID 塞迪顧問報告,雖然中國分立器件市場競爭中仍是以日 本企業(yè)為代表的國外廠商具有優(yōu)勢,但國內廠商正迎頭趕上,其中半導體封裝業(yè)唯一的上市企業(yè) ——長電科技更成為首次進入市場前十五大供應商的國內企業(yè)。 ( 1)國內半導體產業(yè)的主干 ——封裝業(yè)。 1995 年前 ,國內的封裝測試絕大部分是依附本土組件制造商( IDM),如上海先進、貝嶺、無錫華晶及首鋼 NEC 等,及部分由合資方式或其他方式合作的外商,如深圳賽意法微電子、現代電子(現已被金朋并購),但投資范圍主要以 PDIP、 PQFP 和 TSOP 為主。根據 iSuppli 的研究, 2020 年國內 IC 市場規(guī)模約為 502 億顆,預估 2020 年時將 會達到 1 295 億顆,年增長率為 %,至于封裝技術,較低階的 DIP 將由 2020 年的 65%,下滑到 2020 年的 44%,中高階的SOP、 SOT、 PLCC、 SOP、 YSOP、 QFP 則由 2020 年的 13%,向上攀升到 2020 年的 27%。第二類封測廠是在國內完全開放前,為了要先行卡位而與中國國內本土廠商合資的封測廠,一共有 11 家,包括先前所提高的深圳賽意法微電子、阿法泰克(現以改名為上海紀元微科微電子),以及新康電子、日立半導體( Hitachi)、英飛凌 ( Infineon) 、松下半導體( Matsushita)、硅格電子、南通富士通微電子、三菱四通電子、樂山菲尼克斯半導體及寧波銘欣電子,這些業(yè)者的資金主要是來自于中國臺灣、日本,地點則較為分 散,但仍以江蘇、深圳等地為主。 ( 3)舉足輕重的前 10 大業(yè)者。第二名的則是位于北京市上地信息產業(yè)基地的三菱四通,為日本三菱與四通集團在 1996年合資成立,占地 萬平方米,總投資金額為 9 064 萬美元,可以提供的封裝方式為DIP、 SOP、 QFP、 TO2 MSIC 及 SCRLM,年封裝測試最高可達 2 億顆 IC,主要封裝產品為內存、電源管理 IC、 ASIC、微控制器。第五名是意法半導體( ST Microelectronics)與深圳賽格高技術投資股份有限公司各出資 60%、 40%成立的深圳賽意法微電子,成立于1997 年,位于廣東省深圳市,總投資金額為 億美元,可以提供的封裝方式為 TO2DPAK、 SOIC MiniDIP、 PDIP、 PPAK 及 BGA,年封裝測試最高可達 20 億顆 IC,主要封裝產品為 EPROM、消費性 IC 及通信 IC。第九名是上海紀元微科微電子(原名為阿法泰克),是中國國內第一家合資封測廠,成立于 1995 年,總投資金額為 7 500 萬美元,是泰國阿法泰克公司、上海儀電控股及美國微芯片公司各出資 51%、 45%、 4%成立,可以提供的封裝方式為 PDIP/2 SOIC8/18/2 TSOP MSOP SOT2 TO2PLC28/4 TSOP6 及 QFN32,年封裝測試最高可達 4 億顆 IC 主要封裝產品為消費性 IC。新一代 CPU的出現常常伴隨著新的封裝形式的使用。 按芯片的裝載方式分類,裸芯片在裝載時,它的有電極的一面可以朝上也可以朝下,因此,芯片就有正裝片和倒裝片之分,布線面朝上為正裝片,反之為倒裝片。從材料上看,基板有有機和無機之分,從結構上看,基板有單層的、雙層的、多層的和復合的。顧名思義,該類型的引腳在芯片兩側排列,是插入式封裝中最常見的一種,引腳節(jié)距為 mm,電氣性能優(yōu)良,又有利于散熱,可制成大功率器件。該類型的引腳也在芯片單側排列,只是引腳比 SIP粗短些,節(jié)距等特征也與 DIP基本相同。除了芯片的寬度是 DIP的 1/2以外,其它特征與 DIP相同。用于高速的且大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路。 MSP:微方型封裝。 SVP:表面安裝型垂直封裝。 LCCC:無引線陶瓷封裝載體。一種塑料封裝的 LCC。表面貼裝型封裝的一種,在 PCB的背面布置二維陣列的球形端子,而不采用針腳引腳。 TCP:帶載封裝。金屬封裝:金屬材料可以沖、壓,因此有封裝精度高,尺寸嚴格,便于大量生產,價格低廉等優(yōu)點。 通常芯片封裝( Assembly)和芯片制造( IC Fabrication)并不是在同一工廠內完成的。 封裝流程一般可以分成兩個部分:用塑料封裝(固封)之前的工藝步驟稱為前段操作( Front End Operation),在成型之后的工藝步驟稱為后段操作( Back End Operation)。一般來說,隨著硅芯片越來越復雜和日益趨向微型化,將使得更多的裝配和成型工 藝在粉塵得到控制的環(huán)境下進行。 轉移成型技術的典型工藝過程如下:將已貼裝好芯片并完成芯片互連的框架帶置于模具中,將塑料材料預加熱( 90~ 95℃ ),然后放進轉移成型機的轉移罐中。 圖 芯片封裝技術工藝流程 芯片的制造過程可概分為晶圓處理工序( Wafer Fabrication)、晶圓針測工序( Wafer Probe)、構裝工序( Packaging)、測試工序( Initial Test and Final Test)等幾個步驟。在用針測( Probe)儀對每個晶粒檢測其電氣特性,并將不合格的晶粒標上記號后,將晶圓切開,分割成一顆顆單獨的晶粒,再按其電氣特性分類,裝入不同的托盤中,不合格的晶粒則舍棄。 測試工序:芯片制造的最后一道工序為測試,其又可分為一般測試和特殊測試,前者是將封裝后的芯片置于各種環(huán)境下測試其電氣特性,如消耗功率、運行速度、耐壓度等。而未通過測試的芯片則視其達到的參數情況定作降級品或廢品。如果說 “品質 ”是檢測產品 “現在 ”的質量的話,那么 “可靠性 ”就是檢測產品 “未來 ”的質量。在正常使用區(qū),才有比較穩(wěn)定的優(yōu)良率。到了 20 世紀 90 年代,隨著封裝技術的發(fā)展,封裝廠家也逐漸增多,產品質量就擺到了重要位置,誰家產品的質量好,就占絕對優(yōu)勢,于是質量問題是主要的競爭點 和研究方向。 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 19 第 四 章 CTL工藝流程介紹 CTL工藝流程 工藝說明 本節(jié)包括傳送料盤裝載器( CTL)操作前后的工藝流程說明及對工藝流程每一步驟的說明。 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 22 A 物料安全數據表 出現一下情況時,要求參照物料安全數據表( msds) ,正確使用個人防護設備 1) 生產區(qū)或測試區(qū)采用心的化學品 2) 對某種化學品不了解 B 所需化學品 操作 MFM220ACS 工具套件需哎喲使用一下化學品 \或氣體 化學品 每班次所需要的數量 大批量保存位置 異丙醇 用于清潔目的 指定化學品存儲柜 純凈水 用于清潔目的 指定化學品存儲柜 NSK 油 用于 PM 目的 維修間 |庭院 |貨倉化學品存儲柜 當處理化學品時,請遵循以下指導原則: 在任何時候,設備上只能保存運行設備所需要數量的化學品 在對化學品進行灌注,填充與傾倒時必須遵循 EHS 要求在通風罩中進行。吸入蒸汽會刺激鼻子和喉嚨。 危險能量 這種能量存在的隱患,因為 ….. 可以通過以下方法避免這種能量的傷害 電能 高壓 415V, 480V,380VAC,高壓意味著電擊危險。 當暴露在某個能源系統中時,在任何斷開開關的系統上使用標定鎖定程序 液壓 無 無 壓縮空氣 無油空氣系統中含有文氏真空裝置,需要 OFA 來發(fā)揮功能。 本表列出了打開互鎖,按 Estop,或者采取緊急停機 (EMO)后的能量狀態(tài)。電腦控制端電壓為 230VAC,I\O 節(jié) 點 電 壓 為24VDC 無 設備端主閥處為7090psi/56bar 音圈上保持真空。機 柜 上 無 互鎖。 設備危險 危險 當操作 設備名稱 設備時,可能存在以下危險: 設備危險 存在危險隱患的原因在于 …. 可以通過以下方法避免這種能源的傷害: 夾點 升降機板 釋放按下的機蓋按鈕 飛濺點 無 無 熱點 無 無 重物 無 無 難以達到的區(qū)域 無 無 A 護罩,防護裝置與互鎖 安裝在設備上的護罩,防護裝置和互鎖有: 互鎖與護罩 地點 打開互鎖后,以下裝置停止運行 互鎖 雙軌傳送裝置,后門以及供料器跟蹤 伺服系統關閉,危險組件中的壓縮空氣關閉 護罩 托盤供料器頂部,工具的各個側面。 除非絕對必要,否則,不得拆除設備的護罩,防護設施和安全互鎖。 鎖定 |標記( loto) 如果 MFM220ACS 設備被鎖定或標記,請嚴格遵守以下規(guī)則。 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 26 啟動設備 遵循該程序在冷狀態(tài)下啟動 MFM220ACS 注意:在操作下列步驟時當心存在的危險及 PPE 要求 步驟 啟動設備 1 確保前一操作沒有組件遺落在未定義位置 2 關閉機器的安全蓋 3 將工具前左手側的主電源開 關 旋至 ON 位置 4 登陸在操作 系統 啟動 WINDOWS xp 操作系統以后,系統登陸,并顯示啟動菜單窗口,它提供三個選項: 圖 系統界面 Production 生產 Maintenance 維護 Shutdown 關機 5 選擇 Production 按鈕,如果不選擇任何按鈕,計時器到時間后,工具將自動啟動生產模式 6 機器控制器個用戶界面加載。到 wip 區(qū)域,檢查產待加工產品的 ID 號和數量,檢查推車,按以下內容進行: 檢查耦合器是否缺失或松掉 檢查車門能否平滑的關閉和開啟 檢查滾輪是否缺失或松掉 檢查推車軸承是否缺失或松掉 檢查 ESD(防靜電)鏈條接觸地面 檢查鏈條是否張緊 檢查 magazine 門和推車門是否可以無阻力的滑動確保門關閉并在正確的位置,并能鎖定 magazine 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 28 完成上述之后,站推車 推到臺車旁邊,把 magazine 移到升降臺上進行 100%的數量檢測(需要說明的是 magazine 是用來裝金屬 carrier 的, carrier 被稱之為載料框,一盤裝有12 個 CPU)。材料 設 備參數:參數,設置和其他設備特殊要求如下所列: 參數 目標 參數設置 遵照操作與產品關系表 吸嘴 遵照操作與產品關系表 Odd unit 遵照操作與產品關系表 設備 |材料需求 A 高溫車,常溫推車 B carrier 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 31 C tmtctl D loder|unloder F jedec tary G 升降桌 F ergo cart 成都信息工程學院 光電學院畢業(yè)論文設計設計 32 G mpl J jedec tarys straps K 手套 安全 : 緊急程序:萬一出現緊急撤離請立即聯系 ert 成員并遵守他們
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