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全球和中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷史和大事記-全文預(yù)覽

  

【正文】 廠,為了加快建成專業(yè)化集成電路生產(chǎn)廠,破例地建在首都北京。北方為北京電子管廠,也采用介質(zhì)隔離研制成DTL數(shù)字電路,南方為上海元件五廠,在華東計(jì)算機(jī)所的合作下,研制出采用P-N結(jié)隔離的TTL型(晶體管晶體管邏輯)數(shù)字電路,并在1966年底,在工廠范圍內(nèi)首家召開了產(chǎn)品鑒定會(huì)鑒定了TTL電路。中國(guó)第一塊半導(dǎo)體集成電路究竟是由哪一個(gè)單位首先研制成功的?這一問(wèn)題有過(guò)爭(zhēng)議。這一發(fā)展分立器件的階段歷時(shí)十年,與國(guó)外差距為十年。隨后在北京有線電廠等工廠批量生產(chǎn)了DJS-121型鍺晶體管計(jì)算機(jī),速度達(dá)到1萬(wàn)次以上。(其他三大件為縫紉機(jī)、自行車和手表)另一方面,新品開發(fā)主要研究方向是硅高頻大功率管,目的是要把部隊(duì)所用的采用電子管的“八一”電臺(tái)換裝為采用晶體管的“小八一”電臺(tái),它曾是河北半導(dǎo)體所和北京電子管廠當(dāng)年的主攻任務(wù)。后來(lái)單晶直徑拉大些后,就開始采用不規(guī)則的圓片,但直徑一般在35-40mm之間。1962年研究成外延工藝,并開始研究采用照相制版、光刻工藝,河北半導(dǎo)體研究所在1963年搞出了硅平面型晶體管,1964年搞出了硅外延平面型晶體管。  在鍺之后,很快也研究出其他半導(dǎo)體材料。為了加強(qiáng)半導(dǎo)體的研究,中國(guó)科學(xué)院于1960年在北京建立了半導(dǎo)體研究所,同年在河北省石家莊建立了工業(yè)性專業(yè)研究所第十三研究所,即現(xiàn)在的河北半導(dǎo)體研究所。1957年北京電子管廠通過(guò)還原氧化鍺,拉出了鍺單晶。1957年就有一批畢業(yè)生,其中有現(xiàn)在成為中國(guó)科學(xué)院院士的王陽(yáng)元(北京大學(xué))、工程院院士的許居衍(華晶集團(tuán)公司)和電子工業(yè)部總工程師俞忠鈺等人。請(qǐng)回國(guó)的半導(dǎo)體專家內(nèi)昆、吳錫九、黃敞、林蘭英、王守武、成眾志等講授半導(dǎo)體理論、晶體管制技術(shù)和半導(dǎo)體線路?! ≈袊?guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展歷史  ◎分立器件發(fā)展階段(19561965)  1956年中國(guó)提出“向科學(xué)進(jìn)軍”,國(guó)家制訂了發(fā)展各門尖端科學(xué)的“十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃”,明確了目標(biāo)。  1998年10月,華越集成電路引進(jìn)的日本富士通設(shè)備和技術(shù)的生產(chǎn)線開始驗(yàn)收試制投片,該生產(chǎn)線以雙極工藝為主、兼顧BiCMOS工藝、2微米技術(shù)水平、年投5英寸硅片15萬(wàn)片、年產(chǎn)各類集成電路芯片1億只能力的前道工序生產(chǎn)線及動(dòng)力配套系統(tǒng)?! ?998年4月,集成電路“九0八”工程九個(gè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)開發(fā)中心項(xiàng)目驗(yàn)收授牌,這九個(gè)設(shè)計(jì)中心為信息產(chǎn)業(yè)部電子第十五研究所、信息產(chǎn)業(yè)部電子第五下四研究所、上海集成電路設(shè)計(jì)公司、深圳先科設(shè)計(jì)中心、杭州東方設(shè)計(jì)中心、廣東專用電路設(shè)計(jì)中心、兵器第二一四研究所、北京機(jī)械工業(yè)自動(dòng)化研究所和航天工業(yè)771研究所?! ?998年1月,中國(guó)華大集成電路設(shè)計(jì)中心向國(guó)內(nèi)外用戶推出了熊貓2000系統(tǒng),這是我國(guó)自主開發(fā)的一套EDA系統(tǒng),可以滿足亞微米和深亞微米工藝需要,可處理規(guī)模達(dá)百萬(wàn)門級(jí),支持高層次設(shè)計(jì)。11月,電子部向國(guó)務(wù)院做了專題匯報(bào),確定實(shí)施九0九工程?! ?990年10月,國(guó)家計(jì)委和機(jī)電部在北京聯(lián)合召開了有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)和專家參加的座談會(huì),并向黨中央進(jìn)行了匯報(bào),決定實(shí)施九O八工程。  1988年9月,上無(wú)十四廠在技術(shù)引進(jìn)項(xiàng)目,建了新廠房的基礎(chǔ)上,成立了中外合資公司――上海貝嶺微電子制造有限公司?! ?982年10月,國(guó)務(wù)院為了加強(qiáng)全國(guó)計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路的領(lǐng)導(dǎo),成立了以萬(wàn)里副總理為組長(zhǎng)的“電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組”,制定了中國(guó)IC發(fā)展規(guī)劃,提出“六五”期間要對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)進(jìn)行技術(shù)改造?! ?982年,江蘇無(wú)錫的江南無(wú)線電器材廠(742廠)IC生產(chǎn)線建成驗(yàn)收投產(chǎn),這是一條從日本東芝公司全面引進(jìn)彩色和黑白電視機(jī)集成電路生產(chǎn)線,不僅擁有部封裝,而且有3英寸全新工藝設(shè)備的芯片制造線,不但引進(jìn)了設(shè)備和凈化廠房及動(dòng)力設(shè)備等“硬件”,而且還引進(jìn)了制造工藝技術(shù)“軟件”。各省市所建廠主要有:上海元件五廠、上無(wú)七廠、上無(wú)十四廠、上無(wú)十九廠、蘇州半導(dǎo)體廠、常州半導(dǎo)體廠、北京半導(dǎo)體器件二廠、三廠、五廠、六廠、天津半導(dǎo)體(一)廠、航天部西安691廠等等?! ?968年,上海無(wú)線電十四廠首家制成PMOS(P型金屬-氧化物半導(dǎo)體)電路(MOSIC)。1966年底,在工廠范圍內(nèi)上海元件五廠鑒定了TTL電路產(chǎn)品?! ?962年,我國(guó)研究制成硅外延工藝,并開始研究采用照相制版,光刻工藝?! ?958年,美國(guó)德州儀器公司和仙童公司各自研制發(fā)明了半導(dǎo)體集成電路(IC)之后,發(fā)展極為迅猛,從SSI(小規(guī)模集成電路)起步,經(jīng)過(guò)MSI(中規(guī)模集成電路),發(fā)展到LSI(大規(guī)模集成電路),然后發(fā)展到現(xiàn)在的VLSI(超大規(guī)模集成電路)及最近的ULSI(特大規(guī)模集成電路),甚至發(fā)展到將來(lái)的GSI(甚大規(guī)模集成電路),屆時(shí)單片集成電路集成度將超過(guò)10億個(gè)元件。1957年畢業(yè)的第一批研究生中有中國(guó)科學(xué)院院士王陽(yáng)元(北京大學(xué)微電子所所長(zhǎng))、工程院院士許居衍(華晶集團(tuán)中央研究院院長(zhǎng))和電子工業(yè)部總工程師俞忠鈺(北方華虹設(shè)計(jì)公司董事長(zhǎng))。中國(guó)科學(xué)院應(yīng)用物理所首先舉辦了半導(dǎo)體器件短期培訓(xùn)班?! ?956年,我國(guó)提出“向科學(xué)進(jìn)軍”,根據(jù)國(guó)外發(fā)展電子器件的進(jìn)程,提出了中國(guó)也要研究半導(dǎo)體科學(xué),把半導(dǎo)體技術(shù)列為國(guó)家四大緊急措施之一。培養(yǎng)出了第一批著名的教授:北京大學(xué)的黃昆、復(fù)旦大學(xué)的謝希德、吉林大學(xué)的高鼎三。當(dāng)年,中國(guó)相繼研制出鍺點(diǎn)接觸二極管和三極管(即晶體管)?! ?962年,天津拉制出砷化鎵單晶(GaAs),為研究制備其他化合物半導(dǎo)體打下了基礎(chǔ)?! ?965年12月,河北半導(dǎo)體研究所召開鑒定會(huì),鑒定了第一批半導(dǎo)體管,并在國(guó)內(nèi)首先鑒定了DTL型(二極管――晶體管邏輯)數(shù)字邏輯電路?! ?968年,組建國(guó)營(yíng)東光電工廠(878廠)、上海無(wú)線電十九廠,至1970年建成投產(chǎn),形成中國(guó)IC產(chǎn)業(yè)中的“兩霸”?! ∑呤甏酰琁C價(jià)高利厚,需求巨大,引起了全國(guó)建設(shè)IC生產(chǎn)企業(yè)的熱潮,共有四十多家集成電路工廠建成,四機(jī)部所屬?gòu)S有749廠(永紅器材廠)、871(天光集成電路廠)、878(東光電工廠)、4433廠(風(fēng)光電工廠)和4435廠(韶光電工廠)等?! ?976年11月,中國(guó)科學(xué)院計(jì)算所研制成功1000萬(wàn)次大型電子計(jì)算機(jī),所使用的電路為中國(guó)科學(xué)院109廠(現(xiàn)中科院微電子中心)研制的ECL型(發(fā)射極耦合邏輯)電路。到1984年達(dá)產(chǎn),產(chǎn)量達(dá)到3000萬(wàn)塊,成為中國(guó)技術(shù)先進(jìn)、規(guī)模最大,具有工業(yè)化大生產(chǎn)的專業(yè)化工廠?! ?988年,871廠紹興分廠,改名為華越微電子有限
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