【正文】 或幾種其它的高純氣體（又稱組分氣或摻雜氣）配制而成。 標(biāo)準(zhǔn)混合氣（食品級二氧化碳環(huán)氧乙烷混合氣）標(biāo)準(zhǔn)混合氣生產(chǎn)工藝流程如下：食品級二氧化碳經(jīng)多級吸附脫除重組份和低溫精餾脫除輕組份制取高純砷烷氣體。執(zhí)行國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 14603《電子工業(yè)用氣 三氟化硼》。電子級一氧化二氮生產(chǎn)線，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路等領(lǐng)域。氣瓶經(jīng)過處理，氣體質(zhì)量可充分保證。：以電子級磷烷、乙硼烷、硅烷（電子級氮/氫/氬/氦/二氧化碳平衡氣）為主要組分配制的電子混合氣，以電子級氟化物（以電子級氧為平衡氣）為主要組分配制的電子混合氣執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 5274(等同采用ISO6142)。反應(yīng)原理如下：AlP+3H2OAl（OH）3+PH3↑裝置設(shè)計能力為噸／年，年生產(chǎn)日330天，白班間歇生產(chǎn)，平均kg／日。裝置設(shè)計能力為噸／年，年生產(chǎn)日330天，白班間歇生產(chǎn)，平均kg／日。裝置設(shè)計能力為噸／年，年生產(chǎn)日330天，白班間歇生產(chǎn)，平均噸／日。裝置設(shè)計能力為噸／年，年生產(chǎn)日330天，白班間歇生產(chǎn)，平均1kg／日。 電子級三氟化硼產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)項 目指 標(biāo)三氟化硼（BF3）純度(摩爾分?jǐn)?shù))，102 ≥氮（N2）含量(摩爾分?jǐn)?shù))，106 ＜2氧+氬(O2+Ar)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106 ＜1二氧化碳（CO2）含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106 ＜1四氟化碳(CF4)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106 ＜1四氟化硅（SiF4）含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106 ＜5總雜質(zhì)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106 ＜10顆粒供需雙方商定 電子級六氟乙烷項 目指 標(biāo)C2F6含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥%N2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤5O2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1CO含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1CO2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1THC含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1Other Halocarbon含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤10 項 目指 標(biāo)CH3F含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥N2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤80O2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤20H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤10項 目指 標(biāo)CH2F2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥N2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤8O2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤2CO2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤5H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤5其它氟碳含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤50酸度(HF)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤項 目指 標(biāo)CHF3含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥%N2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤5O2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤2H2O 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤3酸度(HF) 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤項 目指 標(biāo)CF4 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥O2+Ar 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1N2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤4CO2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1CO 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1SF6 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1其它氟碳含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1酸度(HF)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤項 目指 標(biāo)C4F8 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥N2,O2,CO2,CO 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤3O2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤1其它氟碳含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤10H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤2酸度(HF)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤項 目指 標(biāo)AsH3含量（摩爾分?jǐn)?shù)），102≥O2+Ar含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜1N2 含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜3CO含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜1CO2含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜1CH4含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜1H2O含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜3PH3（摩爾分?jǐn)?shù)），106＜總雜質(zhì)含量（摩爾分?jǐn)?shù)），106≤10顆粒供需雙方商定金屬離子供需雙方商定、年操作日生產(chǎn)裝置年操作日按300天計算，其中電子級氨按每天24小時連續(xù)運行設(shè)計，其它品種按每天8小時白班計算。產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)：執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 18994 《電子工業(yè)用氣體 高純氯》。 電子級磷烷產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)項 目指 標(biāo)磷烷(PH3)含量（體積分?jǐn)?shù)）/102 ≥砷化氫（AsH3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤1一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤總烴（C1～C3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤1雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤3金屬總離子供需雙方商定顆粒供需雙方商定 電子級乙硼烷產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)項 目指 標(biāo)乙硼烷(B2H6)含量（體積分?jǐn)?shù)）/102 ≥氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜3氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜1一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜1二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜1甲烷（CH4）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜1水（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ＜3雜質(zhì)總含量（體積分?jǐn)?shù)）/106 ≤10金屬總離子供需雙方商定顆粒供需雙方商定（食品級二氧化碳環(huán)氧乙烷混合氣） 食品級二氧化碳環(huán)氧乙烷混合氣產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)產(chǎn)品名稱環(huán)氧乙烷濃度（%（w））二氧化碳濃度（%（w））允差（%）食品級二氧化碳環(huán)氧乙烷混合氣101090177。根據(jù)產(chǎn)品對國家產(chǎn)業(yè)政策符合性、市場需求情況預(yù)測、工藝技術(shù)含量和企業(yè)生產(chǎn)的規(guī)模效益（產(chǎn)品成本）、三廢綜合治理、建設(shè)投資等綜合因素確定生產(chǎn)規(guī)模。(5) 八氟環(huán)丁烷為了保護大氣臭氧層，目前IC 線上主流的清洗和刻蝕氣體之一的C2F6 將被逐步取代，目前國內(nèi)C2F6 在6吋和8吋線上的用量，每年大約要15000 瓶用量，約合600 噸/年。 (2) 電子級磷烷、電子級砷烷、電子級乙硼烷 使用廠家主要集中在河北、北京、江浙等地區(qū)，同時它也廣泛應(yīng)用于光電子、化合物半導(dǎo)體、太陽能光伏電池、液晶顯示器、光導(dǎo)纖及LCD制造等其它諸多領(lǐng)域。 主要技術(shù)經(jīng)濟指標(biāo)（表11） 主要經(jīng)濟技術(shù)指標(biāo)表序號項目名稱單位數(shù)量備注一產(chǎn)品方案及生產(chǎn)規(guī)模1主要產(chǎn)品及生產(chǎn)規(guī)模電子級氨t/a電子級磷烷t/a電子級乙硼烷t/a電子混合氣：以電子級磷烷、電子級乙硼烷、電子級硅烷（電子級氮/氫/氬/氦/二氧化碳平衡氣）為主要組分配制的電子混合氣，以電子級氟化物（以超純氧為平衡氣）為主要組分配制的電子混合氣t/a標(biāo)準(zhǔn)混合氣（食品級二氧化碳環(huán)氧乙烷混合氣）t/a電子級氯氣t/a電子級一氧化二氮t/a電子級三氟化硼t/a電子級六氟乙烷t/a電子級一氟甲烷t/a電子級二氟甲烷t/a電子級三氟甲烷t/a電子級八氟環(huán)丁烷t/a電子級四氟化碳t/a電子級砷烷t/a二年工作時天四班三運轉(zhuǎn)制三主要原材料用量1工業(yè)液氨t/a2工業(yè)液氯t/a3醫(yī)用一氧化二氮t/a4硼氫化鈉t/a5磷化鋁t/a6碘t/a8液氮t/a9液氬t/a10氦氣Nm3/a11液氧t/a12氫氣Nm3/a13食品級二氧化碳t/a14環(huán)氧乙烷t/a15BF3t/a16C2F6t/a17CH3Ft/a18CH2F2t/a19CHF3t/a20C4F8t/a21CF4t/a22硅烷t/a23砷化鋅t/a24稀硫酸t(yī)/a四公用動力消耗量1水t/a2電萬2）根據(jù)國內(nèi)外市場調(diào)查，本項目產(chǎn)品市場容量大，項目實施后可望有較好的經(jīng)濟效益和社會效益。充分依托的基礎(chǔ)設(shè)施和投資環(huán)境，節(jié)省項目建設(shè)投資。 可行性研究報告編制的指導(dǎo)思想和原則 本項目“可行性研究報告”按照國家有關(guān)工程建設(shè)項目可行性研究報告內(nèi)容和深度的規(guī)定，并結(jié)合項目具體情況進行編制。因此，實施新的工程建設(shè)，生產(chǎn)以上產(chǎn)品，是很必要的。（二）高純電子氣體是“信息技術(shù)”和“新能源”兩大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料，是高端通用芯片技術(shù)、12英寸集成電路芯片生產(chǎn)工藝、高性能半導(dǎo)體材料（半導(dǎo)體照明材料）規(guī)?；a(chǎn)技術(shù)、TFTLCD平板顯示技術(shù)等領(lǐng)域的關(guān)鍵原材料，同時也是硅太陽能電池和薄膜太陽能電池的關(guān)鍵材料。能源是人類生存和發(fā)展的重要基礎(chǔ)，能源是經(jīng)濟社會可持續(xù)發(fā)展的必要條件。兩硅生產(chǎn)企業(yè)需要電子級氣體及工業(yè)氣體，作為硅電子產(chǎn)業(yè)園區(qū)一體化供氣配套的氣體項目，園區(qū)內(nèi)供氣是當(dāng)前園區(qū)建設(shè)的基本需求， 有利于資源的優(yōu)化配置，形成工業(yè)定性規(guī)模發(fā)展之必須，是衡量園區(qū)整體流程合理性及一體化程度的標(biāo)志之一。 我國電子氣體整體水平和國外還有一定的差距， 8英寸以上IC生產(chǎn)線使用的電子級電子氣體幾乎全部依賴進口。隨著IC制造工藝及技術(shù)的發(fā)展，芯片尺寸的不斷增大，工藝不斷提高，特征尺寸線寬不斷減小，要求IC制程用的各種電子氣體質(zhì)量純度、特定技術(shù)指標(biāo)不斷提高。 項目提出的背景、投資必要性和經(jīng)濟意義 項目背景電子氣體是IC制造過程中必不可少的原料。專業(yè)從事電子級氣體（電子級氨、氯氣、磷烷、乙硼烷、砷烷、氟化物及其它電子級電子類混合氣體）的提純、儲存、銷售；同時還有氧、氮、氬、氫氣的提純、儲存、銷售的公司。電子氣體的純度直接影響IC的性能、集成度、成品率；電子氣體占IC制造材料成本的約20%，電子氣體的價格影響IC的市場競爭力，所以電子氣體是IC制造關(guān)鍵材料之一。 目前世界IC制造中心不斷向中國轉(zhuǎn)移，近幾年我國IC增長速度達(dá)到每年30%左右，作為IC制造必不可少的關(guān)鍵材料電子氣體，其需求總量大大超過人們的預(yù)期，到2012年國內(nèi)電子氣體年需求將超過30億人民幣。我公司對高純電子氣體的生產(chǎn)工藝技術(shù)研究已經(jīng)成熟、非常必要、意義重大。 項目建設(shè)的必要性和經(jīng)濟意義（一）信息技術(shù)作為科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展最快的門類之一，是一個國家由工業(yè)化向信息化發(fā)展的根本標(biāo)志，其重要作用已受到國內(nèi)外的廣泛重視，已成為維護國家安全、增強綜合國力的關(guān)鍵所在。目前世界半導(dǎo)體制造的中心不斷向亞洲，向中國轉(zhuǎn)移，近幾年我國IC增長速度達(dá)到每年30%左右，光伏太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光材料（半導(dǎo)體照明）和平板顯示器件的發(fā)展勢頭也異常迅猛。（三）在長三角地區(qū)，一共有4家電子材料中心（液化空氣張家港材料中心、林德蘇州、大陽日酸揚州、昭和電工），他們?nèi)繛橥赓Y公司，長時間的技術(shù)壟斷，我們要為民族工業(yè)的振興做出自己的努力。4）國家有關(guān)法規(guī)和技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)文件；5）與設(shè)計有限公司（乙方）簽訂的項目可行性研究報告編制合同。嚴(yán)格按照