《薄膜技術(shù)及應(yīng)用》ppt課件-全文預(yù)覽
【正文】 d the motion of each atom is restricted by its interaction with other atoms. In a liquid, the atoms or molecules, are further apart than in a solid, and are not arranged in any special order. There is less interaction between the molecules, and they are free to move in any direction, but as interactions between the molecules are still present, most molecules are confined to the volume occupied by the liquid sample. In a gas, the atoms or molecules are further apart and have little interaction with one another. The motion of these particles is confined by the walls of the containing vessels. MaxwellBoltzmann分布 氣體分子的運(yùn)動(dòng)速度的一維分量 氣體分子的速度分布只取決于分子的相對(duì)原子質(zhì)量 M與氣體的熱力學(xué)溫度 T的比值。 ? High performance NanoFETs ? NanoOptoelectronic Devices ? Photodetectors ? Nano LEDs ? Sensors ? Solar cell 第一章 薄膜制備的真空技術(shù)基礎(chǔ) 氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本概念 氣體分子運(yùn)動(dòng)論： 氣體分子一直處無規(guī)熱運(yùn)動(dòng)； 平均運(yùn)動(dòng)速度取決于溫度； 分子之間和分子與器壁之間相互碰撞。 ⑨ 磁記錄薄膜與薄膜磁頭 高質(zhì)量和錄象的磁性材料薄膜錄音帶與錄象帶； 計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的 CoCrTa、 CoCrNi等的薄膜軟盤和 硬盤； 垂直磁記錄中 FeSiAl薄膜磁頭等。 Thin Film Pressure Sensor Diamond Thin Film UV sensor Schematic of fiber optic cable with chemochromic hydrogen sensor deposited on end. ⑤ 薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網(wǎng)絡(luò)與混合集成電路 Hybrid IC Copperindiumdiselenide (CuInSe2, or CIS) Thinfilm material with efficiency of up to 17%. The material is promising, yet not widely used due to production specific procedures. ⑥ 薄膜太陽能電池 非晶硅、 CuInSe2和 CdSe薄膜太陽電池。 薄膜分類（按功能及其應(yīng)用領(lǐng)域）： ? 電學(xué)薄膜 ① 半導(dǎo)體器件與集成電路中使用的導(dǎo)電材料與介質(zhì)薄膜材料 Al、 Cr、 Pt、 Au、多晶硅、硅化物薄膜； SiO Si3N Ta2O SiOF薄膜。 薄膜技術(shù)正是實(shí)現(xiàn)器件和系統(tǒng)微型化的最有效的技術(shù)手段 。薄膜技術(shù)及應(yīng)用 Thin Film Technology and Applications 于永強(qiáng) 電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院微納功能材料與器件研究室 《 薄膜材料制備原理、技術(shù)及應(yīng)用 》 唐偉忠 ， 冶金工業(yè)出版社 《 薄膜物理與技術(shù) 》 楊邦朝 ， 電子科技大學(xué)出版社 《 薄膜物理與技術(shù) 》 陳國平 ， 東南大學(xué)出版社 參 考 書 在材料科學(xué)的各分支中，薄膜材料科學(xué)發(fā)展的地位極為重要 。 薄膜材料科學(xué)成為材料科學(xué)中發(fā)展最迅速分支的原因： (1)現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展
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