【正文】 ． 5． 1． 2 有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。 檢驗(yàn)規(guī)則 7． 1 檢驗(yàn)分類 7． 1． 1 出廠檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目為本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的全部外觀質(zhì)量的技術(shù)要求。按下式計(jì)算： Δ T=T2T1 式中：Δ T— 試樣研磨前后平均透射比的變化值 T1— 試樣研磨前的平均透射比 T2— 試樣研磨后的平均透射比 6． 2． 3 耐酸堿性的檢驗(yàn) 將鍍膜玻璃切成 40 40mm 小塊，分別放入 5%HCl、 5%HNO 5%H2SO20%NaOH 和普通氨水中分別浸泡 1 小時(shí)后取出，觀察試樣的膜層變化情況。然后在一裝有兩磨輪的水平轉(zhuǎn)臺上進(jìn)行研磨。 6． 1． 2 針孔、斑紋、斑點(diǎn)、劃傷的檢驗(yàn) 用裝有間距 300mm5 只 40W 日光燈管的黑色柜架，玻璃垂直放置與日光燈管平行并相距 600mm，觀察者距玻璃板 2 米視線垂直玻璃觀察。 5． 2． 5 光學(xué)性能：光學(xué)性能符合表 2 要求。 缺 陷 等 級 名稱 說明 優(yōu)等品 一級品 合 格 針 孔 直徑＜ 1． 2mm 集中的不允許 集中的每平方米允許 2 處 不限 直徑≥ 1． 2mm 而≤1． 6mm 中部不允許邊緣75mm 允許 3 個(gè) 集中的不允許 不限 直徑＞ 1． 6mm 而≤2． 5mm 不允許 邊部 75mm 允許 4個(gè)，中部允許 2 個(gè) 邊部 75mm 允許 8個(gè)中部 2個(gè) 直徑＞ 2． 5 毫米 不允許 斑紋 不允許 斑 點(diǎn) 直徑＞ 1． 6mm 而＜5mm 不允許 4 個(gè) 8 個(gè) 劃 傷 寬度＞ 0． 1mm，＜ 0． 3 mm 的每平方米允許條數(shù) 長度≤ 50mm 的允許 4 條 長度≤ 100mm 的允許 4 條 不限 寬度＜ 0． 3mm 的每平方米允許條數(shù) 不允許 寬度＜ 0． 4 長度≤100mm 的允許 1 條 寬度＜ 0． 3 長度≤ 100mm 的允許 2 條 5． 2 理化性 能 5． 2． 1 膜層牢固性：鍍膜玻璃采用 6． 2． 1 方法試驗(yàn) 10 次，膜層不脫落為合格。 3． 3 按外觀質(zhì)量分：優(yōu)等品、一級品、合格品三個(gè)等級。 產(chǎn)品數(shù)量： 未知 包裝說明：鋼瓶和管束槽箱 價(jià)格說明：純硅烷 1000/公斤 發(fā)布時(shí)間： 2020910 17:04:33 有 效 期： 2020129 上海海諾進(jìn)出口貿(mào)易有限公司 錢 琳 女士 (職員 ) 辦公地址： 上海市上海市浦東新區(qū)上海浦東張楊路 228 號湯臣中心 A 座 906 室 郵 編： 202020 電 話： 8603792868282 傳 真： 8603791361322 移動電話： 電子郵件： 公司網(wǎng)址： 浮法在線化學(xué)汽相淀積鍍膜 質(zhì)量檢驗(yàn)與標(biāo)準(zhǔn) 秦皇島玻璃工業(yè)研究設(shè)計(jì)院 一九九六年五月 主要內(nèi)容和適用范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了浮法在線鍍膜玻璃的分類、技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲存。 上海海諾進(jìn)出口貿(mào)易有限公司 長期供應(yīng)純硅烷和一氧化碳，純硅烷的包裝物為 44 或 47 升的鋼瓶，每瓶的充裝量為 10 或 15 公斤，硅烷的純度為 5N，報(bào)價(jià)為 1000 元 /公斤。鍍膜生產(chǎn)結(jié)束，反應(yīng)器退出錫槽，仍然要通入一段時(shí)間的保護(hù)氣體，一方面作用是清洗反應(yīng)器，另一方面作用是防止高溫下石墨件的氧化。 五、配氣柜的安全使用與維護(hù) 氣體經(jīng)過流量計(jì)之前，要先打開流量計(jì)下游的所有閥門，給流量計(jì)供氣時(shí)，要緩慢打開流量計(jì)下游截止閥，使壓力和流量逐漸升高，切忌突然開大截止閥，使浮子撞擊，損壞流量計(jì)。向減壓器供氣時(shí)，防止突然開啟，以免沖擊減壓器，使減壓器失靈。 空氣中極限允許濃度為 ，吸入后可引起頭痛頭暈。 充氫的硅烷危險(xiǎn)性大于氮、氬稀釋的，應(yīng)防止與氧混合，嚴(yán)禁與火焰接觸，所以要更加重視安全，防止回火。 易與硝酸銀溶液反應(yīng)，產(chǎn)生棕黑色的硅化銀沉淀，此反應(yīng)可檢出硅烷的存在。 硅烷 物理性質(zhì)：（純硅烷） 分子量： 熔點(diǎn)： ℃ 沸點(diǎn)： ℃ 臨界溫度： ℃ 臨界壓力： 粘度： 106 比重： （ 21℃，與空氣相比） 化學(xué)性質(zhì)： 無色具有特殊臭味的氣體，有毒。 三、氣體的貯存 硅烷（濃度為 10%）與乙烯兩種氣體分室貯存，房間要有通風(fēng)措施，嚴(yán)禁明火，房間內(nèi)無電力電纜，氣體遠(yuǎn)離熱力管，無易燃品。 房間設(shè)有防爆軸流通風(fēng)機(jī)及自然通風(fēng)管，保證房間內(nèi)通風(fēng)。 ⑷ 氣體匯流排投入使用后，應(yīng)進(jìn)行日常維護(hù)，嚴(yán)禁敲擊管件。在供氣站門外放置相應(yīng)的滅火器。以氮?dú)膺M(jìn)行嚴(yán)密性試驗(yàn)。 室內(nèi)照明全部采用防爆燈，照明電線與 SiH4管道、 C2H4管道相距就大于 米，開關(guān)安于室外。 N2為 15Mpa 高壓氣體。均以 40 升鋼瓶裝， SiH4為易燃性氣體，在空氣中能自燃。詳見《質(zhì)量檢測及檢測標(biāo)準(zhǔn)》。 匯流排固定架。 鍍膜位置溫度偏差：縱向應(yīng)小于 5℃，橫向應(yīng)小于 10℃。 至錫槽的純氮?dú)夤艿酪粭l，出口端壓力≥ 1000mmH2O，用量 10m3/h。 玻璃板面出現(xiàn)劃傷，是有硬物滯留在反應(yīng)器石墨底面，應(yīng)立即升起反應(yīng)器，清理掉硬物。 玻璃板面出現(xiàn)邊部顏色淡，中間深或有魚鱗狀不均勻現(xiàn)象，可能是排氣抽力過大，應(yīng)將引射器的壓縮空氣關(guān)小。 發(fā)霧性：在溫度 濕度 90%條件下存放 48 小時(shí)取出，膜面無變化。強(qiáng)化搞堿性試驗(yàn)：在 1N NaOH 溶液中煮沸 40 分鐘取出，膜面無變化。 5% 36177。 5% 48177。 5% 寶石藍(lán)鍍膜玻璃（ 5mm） B20 20177。 C 系列三種產(chǎn)品 C C3 C40，透射為淺茶色，反射為銀白色。從壓縮空氣主管道引氣到穩(wěn)壓罐（約 1m3），穩(wěn)壓罐減壓后引到錫槽兩側(cè)鍍膜位置，大車側(cè)設(shè)兩個(gè)接頭，用于引射器和清掃氣缸?？刂品桨覆捎米詣雍褪謩觾煞N 控制方法，在自動控制中，主要采用可編程序控制器 PLC 控制。雙梁車有電動行走機(jī)構(gòu)。并通過控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)大車和升降臺的同步操作、單獨(dú)操作。 大車：大車在非鍍膜操作時(shí)承載雙梁車、反應(yīng)器和排氣裝置，在鍍膜操作時(shí)使雙梁車順利通過錫槽，與錫槽另一側(cè)的升降臺銜接，形成橫跨錫槽可升降 的水冷梁。鍍膜氣體通過水冷梁內(nèi)部氣室冷卻，防止鍍膜 氣體在到達(dá)玻璃板表面之前溫度過高分解造成膜面顏色不均勻。石墨固定在水冷梁上，以形成鍍膜氣體通過的 U 形通道。配好的氣體分兩路從錫槽兩側(cè)進(jìn)入反應(yīng)器，進(jìn)入反應(yīng)器之前錫槽底部都設(shè)置兩個(gè)膨脹箱，以使反應(yīng)氣體更加。硅烷匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測、顯示、報(bào)警和高壓自 動緊急切斷；乙烯采用 2 1 瓶位，乙烯匯流排設(shè)有高壓、低壓壓力監(jiān)測、顯示、報(bào)警和高壓自動緊急切斷；另設(shè)氮?dú)鈪R流排，用于清洗匯流排及管路。 三、鍍膜設(shè)備簡介 鍍膜設(shè)備主要包括三個(gè)部分：供配氣系統(tǒng)、鍍膜機(jī)組及輔助設(shè)備。 3 C30 30177。 二、工藝技術(shù)參數(shù) 鍍膜位置溫度：板下錫液溫度 625177。在 400℃以上溫度退火它將會重新結(jié)晶形成晶粒，并由此引起電阻率、折射率、光吸收、自旋密度和介電常數(shù)等性能的變化。大約在五十年前，當(dāng)耐熔化合物如金屬碳化物、氮化物、硅化物、硼化物、氧化物以及它們的混合相進(jìn)入廣泛技術(shù)應(yīng)用時(shí)，化學(xué)蒸汽淀積才開始對薄膜技術(shù)發(fā)生重要影響。在這種方法中蒸汽相成份以化學(xué)方法反應(yīng)形成固體薄膜，作為一種固相反應(yīng)產(chǎn)物凝結(jié)在襯底上。本質(zhì)上，CVD 是一種材料的合成法。已經(jīng)觀察到，工藝參數(shù)如襯底溫度、氣相壓強(qiáng)、反應(yīng)物的濃度、流率等，對淀積膜 的性質(zhì)有顯著的影響。業(yè)已知道，高溫時(shí)形成的淀積層一般是多晶，而在相對低的溫度如 600℃以下時(shí)，淀積的材料趨向于非晶態(tài)，它的結(jié)構(gòu)是不穩(wěn)定的。這表明用 SiH4 作為反應(yīng)氣體，在 620℃以上淀積的多晶硅 膜結(jié)構(gòu)上是穩(wěn)定的。 3 B30 30177。 3 注： B 系列，本體玻璃為藍(lán)色， C 系列，本體玻璃為白色。硅烷采用 2 6 瓶位匯流排， 6 個(gè)瓶為一組，兩組硅烷切換可實(shí)現(xiàn)更換氣瓶不影響生產(chǎn)線上的連續(xù)生產(chǎn)。配氣柜主要作用是調(diào)節(jié)反應(yīng)器氣體的配比及混合均化。 反應(yīng)器：反應(yīng)器由水冷梁、石墨和四個(gè)輪子組成。通過撓度計(jì)算和水冷梁結(jié)構(gòu)的合理設(shè)計(jì)，使反應(yīng)器的撓度僅為 毫米。錫槽兩側(cè)各設(shè)一個(gè)引設(shè)器，通過調(diào)整壓縮空氣量來調(diào)整排氣負(fù)壓，排氣負(fù)壓設(shè)有監(jiān)測、顯示。為了達(dá)到這種要求，在大車（和升降臺）底座上設(shè)計(jì)了升降機(jī)，通過連桿將升降機(jī)和減速機(jī)連接、減速機(jī)與電機(jī)的傳動以及電磁離合器的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了手動精密調(diào)節(jié)和電動快速升降。在反應(yīng)器進(jìn)入錫槽前，雙梁車要穿過錫槽與升降臺銜接，形成錫槽內(nèi)連續(xù)軌道。 控制系統(tǒng)： 控制系統(tǒng)包括供配氣系統(tǒng)的控制、大車、雙梁車、反應(yīng)器、升降臺的控制及排氣負(fù)壓監(jiān)測和工業(yè)電視觀測。 壓縮空氣用于排氣負(fù)壓調(diào)整和排氣裝置清掃氣缸。 四、產(chǎn)品性能 產(chǎn)品品種：鍍膜產(chǎn)品分為兩個(gè)系列，以寶石藍(lán)玻璃為基片的稱 B 系列，以白玻璃為基片的稱 C 系列， B 系列三種產(chǎn)品 B B2 B30，透射為淺灰綠色，反射為藍(lán)色。 5% C40 40177。 3% 光學(xué)性能： 表 3 性能 白鍍膜玻璃（ 5mm） C30 寶石藍(lán)鍍膜玻璃（ 5mm） B20 可見光反射率 45177。 3% 太陽光反射率 35177。 5% 耐化學(xué)浸蝕性：符合美國愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，即 5%HCl、5%HNO 5%H2SO4或者 20%NaOH 和普通氨水分別浸泡 1 小時(shí)后取出，顏色無變化。 外觀：色彩均勻性、膜層變色、針孔和斑點(diǎn)均符合美國愛可太陽能產(chǎn)品公司企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。 五、鍍膜生產(chǎn)時(shí)出現(xiàn)問題的處理方法 沿反應(yīng)器石墨底面溢出棕色氣體是由于排氣量不足，應(yīng)將引射器的壓縮空氣量開大。 若玻璃