集成電路原理制造工藝及原理技術(shù)--期末論文(文件)
【正文】 定的熔點(diǎn) 4）有特定的對稱性 5）使 X射線產(chǎn)生衍射 12 硅的晶體結(jié)構(gòu)：金剛石結(jié)構(gòu) 金剛石結(jié)構(gòu) 每個原子周圍有四個最鄰近的原子，這四個原子處于正四面體的頂角上，任一頂角上的原子和中心原子各貢獻(xiàn)一個價電子為該兩個原子所共有，并形成穩(wěn)定的共價鍵結(jié)構(gòu)。 ? 冶金級硅（ MG） ：是硅的氧化物在電弧爐中被碳還原而成。 主要用于 太陽能電池芯片 的生產(chǎn)制造 ? 電子級硅（ EG）：一般要求含 Si %以上，超高純達(dá)到 %～ %（ 9～ 11個 9）。 C) SiO2 + C ? Si + CO2 砂 碳 冶金級矽 二氧化碳 19 制備 TCS（ 三 氯硅烷 ） Si + HCl ? TCS 矽粉末 氯化氫 過濾器 冷凝器 純化器 %純度的三氯矽烷 反應(yīng)器 , 300 ?C 20 加熱 (1100 176。 ： “ 縮頸 ” 是指在引晶后略為降低溫度，提高拉速，拉一段直徑比籽晶細(xì)的部分。 在放肩時可判別晶體是否是單晶 ，否則要將其熔掉重新引晶。此時要 嚴(yán)格控制溫度和拉速不變。 32 化學(xué)機(jī)械研磨製程 研磨液 研磨墊 壓力 晶圓夾具 晶圓 33 34 三 硅單晶片的拋光 1 拋光目的： 晶圓表面光滑，像鏡面一樣亮。 , January 24, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 :41:2802:41:28January 24, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國見青山。 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1世間成事，不求其絕對圓滿，留一份不足，可得無限完美。 。 , January 24, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過去最杰出的人談話。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1一個人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 2023年 1月 24日星期二 上午 2時 41分 28秒 02:41: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 :41:2802:41Jan2324Jan23 ? 1越是無能的人，越喜歡挑剔別人的錯兒。 2023年 1月 24日星期二 2時 41分 28秒 02:41:2824 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋
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