《太陽能電池片pecv》ppt課件(文件)
【正文】 統(tǒng)，控制槳的上下，移動范圍在 2— 3厘米 PECVD爐體 ? 石英管、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng) ? 石英管：爐體內(nèi)有四根石英管，是鍍膜的作業(yè)區(qū)域，耐高溫、防反應。 ? 蝶閥：可以根據(jù)要求控制閥門的開關的大小，來調(diào)節(jié)管內(nèi)氣壓的 PECVD控制系統(tǒng) ? 控制系統(tǒng) CMI:是 Centrotherm 研發(fā)的一個控制系統(tǒng)，其中界面包括 Jobs（界面） 、 System（系統(tǒng)）、 Catalog（目錄）、 Setup（軟件）、 Alarms（報警）、Help（幫助） . ? Jobs:機器的工作狀態(tài)。 ? Alarms：警報內(nèi)容 ? Help:簡要的說了一下解除警報以及其他方面的方法 ? CESAR:控制電腦，每一個系統(tǒng)都安裝了 CESAR控制電腦及CESAR 控制軟件，此控制電腦獨立于主電腦系統(tǒng)中。 加熱腔： 在工藝中起著加熱的作用 。 鍍膜顏色不穩(wěn)定 微波反射功率異常，或微波有泄漏 停止工藝，重新安裝微波天線或更換石英管。 Thank you! 。 壓強達不到工藝要求 腔體有漏氣 重新開腔擦拭密封圈或更換密封圈、更換或重裝石英管或其管口密封圈，嚴重時用氦檢儀做漏氣點檢查并排除異常。 進料腔與出料腔 防止特色氣體溢出 , 增加安全性 . 使電池片體逐漸降低溫度 冷卻水＊６ 石英管＊６ 溫度設置 速度設置 氣壓設置 設置功率 實際功率 反射比率 角閥 氣體流量 冷卻水＊４ PECVD等離子體源簡圖 微波發(fā)生器 真空腔 基片 PECVD電池片檢驗標準 ? 看顏色是否合格（合格的顏色為深藍，藍色，淡藍） ? 色差和水印不超過整體面積的 5% ? 鍍膜后的折射率在 — ，膜厚在 80 177。 EH4200是一種大排水量真空泵，這種泵由一個三相電機通過液態(tài)流進行驅(qū)動，其允許在較高的壓力下進行操作。 ? Datalog:機器運行的每一步。 ? 冷卻系統(tǒng)：是一套封閉的循環(huán)水系統(tǒng)，位于加熱系統(tǒng)的金屬外殼，四進四出并有一個主管道，可適量調(diào)節(jié)流量大小。作用是將石墨舟放入或取出石英管。除了 Si和 N外， PECVD的氮化硅一般還包含一定比例的氫原子，即 SixNyHZ或 SiNx :H。為了防止反應區(qū)下游反應氣體因耗盡而降低沉積速率，通常采用較大的氣體總流量，以保證沉積的均勻性。低于
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1