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正文內(nèi)容

多晶體織構(gòu)分析_晶體的極射赤面投影-wenkub

2022-08-11 22:43:50 本頁面
 

【正文】 行之有效的方法。 因此選用適當(dāng)?shù)目讖浇? 若只考慮衍射效應(yīng),在照明光源和介質(zhì)一定的條件下,孔徑角越大,透鏡的分辨本領(lǐng)越高。 MRr AA ??? 引入校正磁場補(bǔ)償 —消像散器。 物鏡 球差 最小散焦圓斑 像平面 Ⅰ 2Δ rs 2Rs P (二)象散 ? 由于透鏡磁場的非旋轉(zhuǎn)對稱而引起的。當(dāng)物點(diǎn)通過透鏡成像時,電子就不會聚焦到同一焦點(diǎn)上,從而形成一個散焦斑。 電磁透鏡的像差與分辨本領(lǐng) ? 一、像差 ? 二、分辨本領(lǐng) 一、像差 ? 兩類:幾何像差和色差 ? 幾何像差是由于透鏡磁場幾何形狀上的缺陷造成的,主要指球差和像散。電子作圓錐螺旋近軸運(yùn)動。 磁透鏡 靜電透鏡 1. 改變線圈中的電流強(qiáng)度可很方便的控制焦距和放大率; 2. 無擊穿,供給磁透鏡線圈的電壓為 60到 100伏; 3. 象差小。 e m Uh2??加速電壓 /kV 電子波波長 /197。 主要內(nèi)容 ? 電子波與電磁透鏡 ? 電磁透鏡的像差與分辨本領(lǐng) ? 電磁透鏡的景深和焦長 電子波與電磁透鏡 ? 一、光學(xué)顯微鏡的分辨率極限 ? ? 分辨本領(lǐng)是指成像物體上能分辨出來的兩個物點(diǎn)間的最小距離 。 52年后的 1986年與1981年發(fā)明的掃描隧道顯微鏡共同獲得了諾貝爾獎。掌握電磁透鏡的分辨本領(lǐng)、像差、景深和焦長。通過衍射強(qiáng)度的異?,F(xiàn)象來推斷多晶體擇優(yōu)取向分布形式和程度的大小。 第九章 電子光學(xué)基礎(chǔ) ? 目的:掌握電磁透鏡的特性。 ? 思考題: ? 影響電磁透鏡分辨本領(lǐng)的關(guān)鍵因素?如何提高分辨本領(lǐng)? ? 電子波有何特征?與可見光有何異同? ? 電磁透鏡景深和焦長主要受哪些因素影響?說明景深大、焦長長,是什么因素影響的結(jié)果? 電子顯微鏡的發(fā)展 ? 1924年德布羅意提出微觀粒子的波粒兩重性原理,并計算出電子的波長比可見光的短得多。 ? 1939年西門子推出了世界上第一臺商品電子顯微鏡, 1949年推出第二種型號。光學(xué)顯微鏡的分辨極限 20xx197。 加速電壓 /kV 電子波波長 /197。 1. 需改變很高的加速電壓才可改變焦距和放大率; 2. 靜電透鏡需數(shù)萬伏電壓,常會引起擊穿; 3. 象差較大。一束平行于主軸的入射電子束通過電磁透鏡時將被聚焦在軸線上一點(diǎn),即焦點(diǎn) 21111LLf ??fLfM??12)( INUKf r?f是焦距, L1是物距, L2是像距 放大倍數(shù) M K— 常數(shù), Ur— 經(jīng)相對論校正的電子加速電壓,( IN) 電磁透鏡安匝數(shù) 帶有鐵殼的電磁透鏡 ? 導(dǎo)線外圍的磁力線都在鐵殼中通過,在軟磁殼的內(nèi)側(cè)開一道環(huán)狀的狹縫,減小磁場擴(kuò)散,使大量磁力線集中在縫隙附近的狹小區(qū)域,增強(qiáng)磁場強(qiáng)度。 ? 色差:由于電子波的波長或能量發(fā)生一定幅度的改變造成的。若像平面在遠(yuǎn)軸電子的焦點(diǎn)和近軸電子的焦點(diǎn)之間做水平移動,可以得到一個最小的散焦斑,半徑為 Rs,折算到物鏡平面上為 Δ rs ,是由于球差造成的散焦斑半徑,即物平面上兩點(diǎn)距離小于 2Δ rs ,則透鏡不能分辨,像平面上得到的是一個點(diǎn)。 ? 極靴內(nèi)孔不圓、上下極靴的軸線錯位,材質(zhì)不均勻、污染產(chǎn)生磁場橢圓度。 ?AA fr ???Δ fA電磁透鏡出現(xiàn)橢圓度時造成的焦距差 電子入射方向 強(qiáng)聚焦方向 弱聚焦方向 最小 散焦圓斑 像平面 Ⅰ 像平面 Ⅱ 像散 2Δ rA 2RA (三)色差 ? 由于入射點(diǎn)波長(或能量)的非單一性所造成。 強(qiáng)度峰谷之差為 19%時,像平面上 S1’、 S2’之間的距離正好等于 Airy斑的半徑 R0。所以球差是限制電磁透鏡分辨本領(lǐng)的的主要因素。 410 )S?? (?電磁透鏡的的分辨率為 41430 SCAr ???A為常數(shù), ~ ? 目前,透射電鏡的最佳分辨率達(dá)到 101nm數(shù)量級。當(dāng)透鏡焦距、像距一定時,只有一層樣品平面與透鏡的理想物平面重合,能在透鏡平面上獲得該層平面的圖像。 ? 表明:電磁透鏡的孔徑角越小,景深越大。則 Df=20xx20xx0197。 二、焦長 ? 當(dāng)透鏡焦距和物距一定時,像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動,也會引起失焦。如分辨率為 1nm,孔徑半角為 102rad,放大倍數(shù)為 200倍,焦長為 8mm。 ? 重點(diǎn)、難點(diǎn):理解透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)、成像原理、主要部件的結(jié)構(gòu)與工作原理,掌握透射電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)和放大倍數(shù)的測定。 ? 鏡筒分為三部分: ? 一、照明系統(tǒng) ? 二、成像系統(tǒng) ? 三、觀察記錄系統(tǒng) 接負(fù)高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構(gòu)造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學(xué)顯微鏡 一、照明系統(tǒng) ? 由電子槍、聚光鏡和相應(yīng)的平移對中、傾斜調(diào)節(jié)裝置組成。 接負(fù)高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構(gòu)造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學(xué)顯微鏡 (一)電子槍 —電子源 ?常用的是熱陰極三極電子槍,它由發(fā)夾形鎢絲陰極、柵極帽、陽極組成。第一聚光鏡是強(qiáng)激磁透鏡,束斑縮小 1050倍,將電子槍第一交叉點(diǎn)縮小為15微米;第二聚光鏡是弱激磁透鏡,放大倍數(shù)為 2左右,在樣
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