多晶體織構(gòu)分析_晶體的極射赤面投影-在線瀏覽
2024-10-03 22:43本頁面
【正文】 ??? ?Cc色差系數(shù) 電子入射方向 物鏡 能量低的 電子軌跡 能量高的 電子軌跡 最小散焦圓斑 像平面 Ⅰ 像平面 Ⅱ 2Δ rC 2RC P 色差 色差系數(shù) Cc與球差系數(shù) Cs均隨激磁電流的增大而減小 I Cc Cc Cs Cs 透鏡球差、色差系數(shù) Cs、 Cc與激磁電流 I關(guān)系 二、分辨率 ? 電磁透鏡分辨率由衍射效應(yīng)和球面像差來決定。 因此選用適當(dāng)?shù)目讖浇? 若只考慮衍射效應(yīng)，在照明光源和介質(zhì)一定的條件下，孔徑角越大，透鏡的分辨本領(lǐng)越高。折算回物平面上 Δr0=R0/M 象差對(duì)分辨本領(lǐng)的影響 ? 球差、像散、色差的影響，試樣上的光點(diǎn)在像平面上均擴(kuò)展成散焦斑。 ? 因電磁透鏡是會(huì)聚透鏡，至今沒有找到校正球差行之有效的方法。 ? 同時(shí)考慮衍射和球差對(duì)分辨率的影響，改變其中一個(gè)因素會(huì)使另一個(gè)因素變壞。 電磁透鏡的最佳孔徑角 ? 使得衍射效應(yīng)埃利斑 Δ r0和球差散焦斑尺寸大小 Δrs相等，表明兩者對(duì)透鏡分辨率效果影響一樣。日立公司的 H9000型透射電鏡得點(diǎn)分辨率為 。任何樣品都有一定的厚度。而偏離理想物平面的物點(diǎn)都存在一定程度的失焦。 ? 一、景深：透鏡物平面允許的軸向偏差。 ??00 22 rtgrDf????物平面 像平面 主平面 電磁透鏡景深 2Δ r0 1/2Df Df 2Δ r0178。如果 Δr0 =10197。 ? 對(duì)加速電壓 100kv，樣品厚度一般控制在 20xx197。 ? 電磁透鏡的景深很大，對(duì)于圖像的聚焦操作非常有利。若失焦引起的失焦斑尺寸不超過因衍射和像差引起的散焦斑大小，像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng)，對(duì)透鏡的分辨率沒有影響。 ? 當(dāng)電磁透鏡放大倍數(shù)和分辨率一定時(shí)，透鏡焦長隨孔徑半角減小而增大。表明透鏡實(shí)際像平面在理想像平面上下 4mm范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)不需改變透鏡聚焦?fàn)顟B(tài)，圖像仍保持清晰。 20xx 222 MrMrtgMrDL ?????????M?? ?第十章 透射電子顯微鏡（ TEM） ? 目的：掌握透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)與工作原理。 ? 思考題：透射電鏡主要有幾大系統(tǒng)組成？各系統(tǒng)之間的關(guān)系？ ? 照明系統(tǒng)的作用是什么？它應(yīng)滿足什么要求？ ? 成像系統(tǒng)的主要構(gòu)成及其特點(diǎn)是什么？ ? 如何測(cè)定透射電鏡的分辨率與放大倍數(shù)？ ? 樣品臺(tái)的結(jié)構(gòu)與功能？它應(yīng)滿足哪些要求？ 主要內(nèi)容 ? 透鏡的結(jié)構(gòu)和成像原理 ? 主要部件的結(jié)構(gòu)與工作原理 ? 透鏡的分辨本領(lǐng)和放大倍數(shù)的測(cè)定 TEM的結(jié)構(gòu)和成像原理 ? TEM是以波長極短的電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨本領(lǐng)、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。電子光學(xué)系統(tǒng)通稱為鏡筒，是透射電鏡的核心，它的光路原理與透射光學(xué)顯微鏡十分相似。其作用是提供一束高亮度、照明孔徑角小、平行度好、束流穩(wěn)定的照明源。范圍內(nèi)傾斜。柵極電壓更低，自偏壓回路可起到穩(wěn)定和限制束流的作用。 陽極 陰極 偏壓電阻 柵極 UP (a)自偏壓回路 電子槍 (b)電子槍內(nèi)的等電位面 負(fù)高壓 陰極（燈絲） 柵極 等電位面 陽極 電子槍交叉點(diǎn) （二）聚光鏡 ? 用來匯聚電子槍射出的電子束，以最小的損失照明樣品，調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度、孔徑角和束斑大小，一般采用雙聚光系統(tǒng)。 電子槍第一交叉點(diǎn) Φ50μm 第一聚光鏡 M=1/101/50 樣品 第二聚光鏡 M≈2 Φ1μm Φ2μm 照明系統(tǒng)光路 二、成像系統(tǒng) ? 主要是由物鏡、中間鏡、投影鏡組成 物鏡用來形成第一幅高分辨電子顯微圖像或電子衍射花樣。物鏡的任何缺陷都將被其它透鏡進(jìn)一步放大。物鏡是一個(gè)強(qiáng)激磁、短焦距透鏡，放大倍數(shù)高 100300倍，高品質(zhì)的物鏡其分辨本領(lǐng)可達(dá)。極靴的內(nèi)孔和上下極靴間的距離越小，物鏡的分辨率越高。物鏡光闌可減小球差、像散、色差，提高圖像襯度。 物鏡與樣品之間的距離總是固定不變的，主要通過改變物鏡的焦距和像距來改變物鏡的放大倍數(shù)。放大倍數(shù)大于 1，進(jìn)一步放大物鏡像，小于1，縮小物鏡像。 接負(fù)高壓 照明源 陽極 光闌 聚光鏡 樣品 物鏡 物鏡光闌 選取光闌 中間鏡 投影鏡 熒光屏或照相底片 透射顯微電鏡構(gòu)造原理和光路 (a)透射電子顯微鏡 (b)透射光學(xué)顯微鏡 ? 若把中間鏡的物平面與物鏡的像平面重合，則在熒光屏上得到一幅放大像，這是成像操作；若把中間鏡的物平面與物鏡的背焦面重合，則在熒光屏上得到一幅電子衍射花樣，這就是電子衍射操作。 ? 目前，高性能的透射電鏡大都采用 5級(jí)透鏡放大，中間鏡和投影鏡各有兩級(jí)。 ? 電子感光底片采用對(duì)電子曝光敏感、顆粒很小的溴化物乳膠底片，是一種紅色盲片。 ? 電鏡工作時(shí)，整個(gè)電子通道都必須置于真空系統(tǒng)之內(nèi)。 ? 數(shù)碼相機(jī)、計(jì)算機(jī)存儲(chǔ) TEM主要部件的結(jié)構(gòu)與工作原理 ? 一、樣品平移與傾斜裝置（樣品臺(tái)） ? 二、電子束傾斜與平移裝置 ? 三、消像散器 ? 四、光闌 一、樣品平移與傾斜裝置（樣品臺(tái)） ? 樣品臺(tái)要求嚴(yán)格，必須使銅網(wǎng)牢固的夾持在樣品作中并保持良好的熱、電接觸。 1mm. 200方孔或圓孔，孔徑，外徑 3mm 為了對(duì)樣品進(jìn)行三維立體觀察，樣品臺(tái)應(yīng)即能平移，也能傾斜，從不同方位獲得各種形貌和晶體學(xué)信息。 圓柱分度盤，其水平軸和鏡筒的中心線垂直，樣品傾斜時(shí)，傾斜的角度可直接在分度盤上讀出。 601
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