【正文】 化物（如 NH3， PH3， AsH3）混合，再通入反應(yīng)室，在加熱的襯底表面發(fā)生反應(yīng)，外延生長化合物晶體薄膜。硅外延片在 IC 業(yè)和分立元件業(yè)使用量占硅拋光片總量 7080%，由于 Φ 5″、 Φ 6″IC 生產(chǎn)線和分立元件生產(chǎn)線從國外大量向中國大陸轉(zhuǎn)移，目前呈現(xiàn) Φ 6硅外延片產(chǎn)品短缺、價格上升趨勢。 GaN 材料具有高發(fā)光效率 ， 高熱導率 ， 耐高溫 ， 抗輻射 ， 耐酸堿 ，高強度和高硬度等特性 ， 是世界目前最先進的半導體材料 。 它比同樣亮度的白熾燈節(jié)能十分之一，壽命是其 100倍。 主要用戶 SiC 涂層石墨基座被廣泛應(yīng)用于光電子產(chǎn)業(yè)：在 MOCVD 設(shè)備中，用于 GaN 外延生長用的石墨基座涂層；用于單晶硅外延生長用的石墨基座（平板基座、圓形基座、立體基座等）；晶體管封裝燒結(jié)模具，單晶硅器件燒結(jié)爐用石墨底盤的涂層，及石墨加熱器（平板加熱器、圓形加熱器、筒型加熱器）上的表面涂層等。 除四個國家工業(yè)化基地（上海、大連、南昌、廈門）外，現(xiàn)已經(jīng)初步 9 形成的七大區(qū)域：長江三角洲、珠江三角洲、江西及福建、北京－天津－****半島、遼東半島、大連－沈陽－長春、武漢、成都等數(shù)以百計的光電廠家，在國內(nèi)形成了新興 的光電子產(chǎn)業(yè)，急待國內(nèi)提供優(yōu)質(zhì)廉價 SiC 基座。 2021年中國大陸晶圓代工產(chǎn)業(yè) 達到 25億美元，比 2021 年增長 %。這是絕對不可忽視的耗材和專用生產(chǎn)部件。所以一旦國產(chǎn) SiC 外延基座批量投入 10 市場，國內(nèi)供求關(guān)系將是賣方市場，求大于供。 為適應(yīng)我國快速發(fā)展的微光電子產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)也必將會有企業(yè)對 SiC 涂層石墨基座進行研究與開發(fā)，所以潛在的競爭對手將會是在國內(nèi)。 11 第二章 項目技術(shù)基礎(chǔ) 成果來源及知識產(chǎn)權(quán)情況 我公司所擁有的化學氣相沉積生產(chǎn) SiC 涂層外延基座技術(shù)為國內(nèi)首創(chuàng)，填補了國內(nèi)空白。 本項目技術(shù)成果來源為企業(yè)自主研發(fā)，并擁有該生產(chǎn)技術(shù)與生產(chǎn)設(shè)備（偏心進氣化學氣相沉積爐，專利號 ）的自主知識產(chǎn)權(quán)。其原理是在高溫條件下，使特種氣體釋放出硅，硅與碳直接結(jié)合，從而將特定形狀石墨材料包裹起來，形成碳化硅（ SiC），所形成的 SiC 牢牢的巴結(jié)在石墨基座上，賦予石墨基座以特殊的性能，從而使石墨基體表面致密、無孔隙、耐高溫、抗溶蝕、抗氧化。 對于涂層均勻性而言，表面處理、反應(yīng)溫度、沉積時間均為顯著影響因素， Ar 氣的含 量有一定的影響。 實驗 表明，在沉積過程之前的表面處理是影響沉積均勻性的最主要因素。 在沉積過程中發(fā)現(xiàn)，沉積溫度和各氣相反應(yīng)物的分壓等工藝參數(shù)值的過高與過低，都會使各中間反應(yīng)的反應(yīng)速率產(chǎn)生不同的變化，從而改變了反應(yīng)進程的最慢步驟，導致了反應(yīng)產(chǎn)物的變化和沉積結(jié)構(gòu)的不同，從而使 15 氣相沉積結(jié)果 “ 強烈 ” 依賴于實際 過程中具體的工藝條件。因此為了抑制單一氣相成核，在實驗中盡量采用較高的載氣速率和減低沉積溫度。實驗中發(fā)現(xiàn)，隨著工藝條件及試樣位置的不同和表面微量元素的調(diào)整，所得到的涂層顏色呈現(xiàn)出棕青、棕黃、灰黑、黑色等多種變化，涂層表面形貌也可能出現(xiàn)顆粒狀、菜花團狀、疏松粉狀和晶須等多種結(jié)構(gòu)。一般應(yīng)盡可能采用所允許的最高氣流速度，以抑制氣相形核。另外可以制作大件，如大的圓片和大型坩堝等。幾乎實現(xiàn)廢氣零排放，沒有環(huán)境污染。 產(chǎn)品銷售預測 雖然我公司開發(fā)出 SiC 涂層石墨基座不久，但很快就打開了銷售市場。其中 ，主要研發(fā)設(shè)備有 50 余臺（套）；精密測試設(shè)備 30 臺。 技術(shù)的成熟性 公司緊密跟蹤技術(shù)發(fā)展趨勢，持續(xù)創(chuàng)新，研制開發(fā)出一系列具有自主知識產(chǎn)權(quán)的 產(chǎn)品和技術(shù)，并擁有多項國家專利技術(shù)，一直保持企業(yè)在業(yè)界的技術(shù)領(lǐng)先地位，為企業(yè)持續(xù)發(fā)展奠定了堅實的基礎(chǔ)。 本項目 SiC 涂層樣品經(jīng)中國科學院上海微系統(tǒng)技術(shù)研究所測試，各項指標均達到國際先進水平，測試結(jié)果如下 ： ? 碳化硅（ SiC）表面涂層為 223。進一步提高大直徑、全系列半導體材料 用特種陶瓷基座生產(chǎn)、研發(fā)水平。按尺寸由小向大發(fā)展，三分之二的產(chǎn)品應(yīng)用于 GaN 外延基座，三分之一的產(chǎn)品應(yīng)用于 Si 單晶外延基座。 項目進度 21 本項目建設(shè)期為 2021 年 1 月－ 2021 年 1 月 ， 從資金到位開始 12 個月內(nèi)完工投產(chǎn)，進度安排如下： 項目進度 項目內(nèi)容 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 工程整體分項設(shè)計 設(shè)備訂貨購置制造 土建施工 設(shè)備安裝及調(diào)試 人員培訓 原、輔料購 置 試 車 投 產(chǎn) 擬達到的經(jīng)濟、技術(shù)目標及水平 項目建設(shè)完成后， ********將成為我國最大的半導體用特種陶材研發(fā)與生產(chǎn)基地，將達到年產(chǎn) SiC 涂層石墨基 座 21000 套的生產(chǎn)能力，單晶硅外延基座產(chǎn)品生產(chǎn)與研發(fā)達到國際先進水平，為我國半導體用大尺寸硅單晶片生產(chǎn)提供堅實的設(shè)備支撐和充足的配套件供應(yīng)。 施工期間要嚴格遵守《建筑施工廠界噪聲限值（ GB125390）》的規(guī)定，減輕施工噪聲對周圍居民生活的影響，同時建筑垃圾當及時清運，日產(chǎn)日清，施工工地周邊應(yīng)當設(shè)置高度 米以上的圍擋，減少揚塵。 本項目是采用化學氣相沉積技術(shù)進行生產(chǎn)的，所需原材料主要為 甲基三氯硅烷 、 氬 氣、氫氣和石墨，在生產(chǎn)和存儲過程中都有嚴格的安全措施， 23 不會對人身和周圍環(huán)境造成損害。 由于本項目所使用的關(guān)鍵設(shè)備 —— 化學氣相真空碳管爐和感應(yīng)爐，在生產(chǎn)過程中的加熱時間一般在 1 小時左右，其余 20 多個小時的時間為斷電自然冷卻時間，所以單臺設(shè)備耗能時間并非是持續(xù)式用電。 本項目 用 電由 ****市供電公司供 應(yīng)，裝機容量能完全滿足本項目的需要，所以電 力 供應(yīng)是有保障的。公司現(xiàn)已通過 ISO9001 質(zhì)量體系認證 和 ISO14001環(huán)境 管理 體系認證。公司擁有自主的知識產(chǎn)權(quán)與專利，有獨特專業(yè)技術(shù)。 相關(guān)專業(yè)人數(shù) 我公司在新材料領(lǐng)域，擁有特種陶瓷材料 Ramp。 2021 年其研制的“熱解石墨合金”新材料，榮獲國家第二批科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金。 收入總額 公司 2021 年實現(xiàn)銷售收入 137,772 萬元，稅后利潤 8,480 萬元，上交稅金 4,986 萬元。 投資估算依據(jù) 項目的編制是根據(jù)國家發(fā)展和改革委員會《建設(shè)項目可行性研究報告編制內(nèi)容深度規(guī)定》進行編制。 建筑工程造價：該項目的工程造價是根據(jù)當?shù)赝惞こ淘靸r進行估算的。 （ 2）設(shè)備及工器具購置費估算：根據(jù)項目主要設(shè)備表及價格、費用資料估算設(shè)備購置費。 所 有建設(shè)投資分類匯總 ,見附表 6－２ “ 設(shè)備投資估算表 ” 。 流動資金估算額 經(jīng)計算正常生產(chǎn)年份需要流動資金 萬元。 項目總投資構(gòu)成分析 按工程費用性質(zhì)列出項目評價中投入的總投資 (總資金 )構(gòu)成及其所列比例 ,見表 表 項目總投資構(gòu)成分析表 比率( % ) 人民幣( 萬元) 小計( 萬元)總投資 5554 55541 建設(shè)投資 5154 5154 100 建筑工程投資 813 813 設(shè)備購置投資 2776 2776 安裝工程投資 583 583 其他工程投資 255 255 基本預備費 443 443 建設(shè)期利息 285 285 2 鋪底流動資金 400 400投資額序號 項目 投資指標 : 萬元 /套 : 64 元 : 59 元 : 元 分年資金投入計劃 根據(jù)項目評價中投入的總投資 (總資金 )和項目實施進度的安排，編制 32 項目分年資金投入計劃并形成相應(yīng)的資金籌措計劃。 300 990 3 機修車間 磚混 m 178。 1000 935 8 廠區(qū)道路 砼 m 178。 債務(wù)資金籌措 本項目建設(shè)期擬定為 1 年，建設(shè)期投入 萬元，完成全部建設(shè)投資。 38 表 資金措施與使用計劃表 建設(shè)期 合計1 2 3 增加 41 總投資 建設(shè)投資 其中: 建設(shè)期利息 投資方向調(diào)節(jié)稅 全部流動資金 鋪底流動資金 2 資金籌措 企業(yè)自有資金 其中: 用于流動資金 　　 用于建設(shè)投資 借款 3800 長期借款 3800 流動資金借款 國家扶持資金 生產(chǎn)期 年 份項目序號 39 第七章 經(jīng)濟效益分析 經(jīng)濟效益評價 編制依據(jù) 本項目的財務(wù)評價主要參照國家發(fā)改委、建設(shè)部頒發(fā)的《建設(shè)項目經(jīng)濟評價方法與參數(shù)》（第三版）規(guī)定的原則和要求進行。同時按照有關(guān)規(guī)定，本項目繳納城市維護建設(shè)稅和教育附加，分別為增值稅和消費稅額的 7%和 3%。 生產(chǎn)負荷 一般按項目投產(chǎn)期和投產(chǎn)后正常生產(chǎn)年份分別設(shè)定。 （ 3）人員工資及福利費 本項目生產(chǎn)定員 68人，按人均工資福利費 1667 元 /月計算，合計職工年工資福利費 萬元。 詳見附 7： 3－ 5“固定資產(chǎn)折舊及無形及其他資產(chǎn)攤銷表”。 詳見附 7： 3－ 6 表“總成本費用估算表”。 詳見附 7： 3－ 6 表“總成本費用估算 表”。 詳見附表 7： 3－ 9“ 損益表 ” 。 72% 91% 詳見附表 7： 3－ 10“項目財務(wù)現(xiàn)金流量表（全部）”。 不確定性分析 敏感性分析 該項 目對所得稅前全部投資作了敏感性分析，財務(wù)內(nèi)部收益率為%，投資回收期 年，考慮到項目在實施過程中的一些不利因素的變化分別對建設(shè)投資、經(jīng)營成本、銷售收入作了提高 5%和降低 5%的單因素變化，對財務(wù)內(nèi)部收益率、投資回收期影響的敏感性分析，詳見敏感性分析表 表 敏感性分析表 5 5 5 5 5 51 財務(wù)內(nèi)部收益率（% ） % % % % % % %2 較基本方案 % % % % % %3 投資回收期（年） 經(jīng)營成本 銷售收入序號 項目 基本方案 投資 從敏感性分析表和敏感性分析圖可以看出，該項目對收入變化較為 43 最敏感，其次為成本。 項目的投資回收期為 年（含建設(shè)期），低于行業(yè)基準投資回收期，這表明項目投資 能按時收回，盈虧平衡點為 %，從上述財務(wù)分析看，項目建設(shè)具有一定的盈利能力，從敏感性分析看項目具有一定的抗風險能力，因此項目從財務(wù)上講是可行的。 盈虧平衡分析 以生產(chǎn)能力利用率表示盈虧平衡點（ BEP）其公式： BEP = 100%=% 計算結(jié)果表明，該項目的產(chǎn)量達到設(shè)計能力的 %，企業(yè)可保本，該項目有一定的抗風險性。 詳見附表 7： 3－ 12“項目資金來源與運用表”。 239% （ FNPV）所得稅前為 萬元，所得稅后為 萬元。 詳見附 7： 3－ 5 表“固定資產(chǎn)折舊及無形及其他資產(chǎn)攤銷表” 利潤估算 25%計取，盈余公積金按稅后利潤 10%計取，公益金按稅后利潤 5%計取。 詳見附 7： 3－ 7 表“單位產(chǎn)品成本估算表”。 （ 7）財務(wù)費用 生產(chǎn)期發(fā)生的流動資金借款利息計入當年的財務(wù) 費用。 詳見附 7： 3－ 5“固定資產(chǎn)折舊及無形及其他資產(chǎn)攤銷表”。 本項目設(shè)定基準收益率為 i=12% 成本費 用估算 40 各項成本費用選取 （ 1）原材料及輔料 按技術(shù)方案確定的消耗指標估算，價格按現(xiàn)實際均價的價格計取。 項目計算期 本項目主要資產(chǎn)為各類建筑物、設(shè)備。考慮到項目的實際情況，投產(chǎn)期按設(shè)計能力的 80%計算。投產(chǎn)期達產(chǎn)負荷 80%，投入 萬元，投產(chǎn)期達產(chǎn)負荷 100%，再投入 萬元。 項目流動資金年需要額 萬元，其中申請銀行短期貸款 萬元，自籌資金 萬元。 150 825 5 高壓變電室 石末混 m 178。 03 臨時供電 臨時電路 m 0小計 二 主要工程1 廠房 鋼結(jié)構(gòu) m 178。 31 項目總投資估算 項 目所需投入的總投資 5517 萬元。項目流動資金估算，一般采用分項詳細估算法。 工程建設(shè)其他費用估算 工程建設(shè)其他費用的內(nèi)容，包括建設(shè)管理費（建設(shè)單位管理費、工程建設(shè) 監(jiān)理費、工程項目管理費）、建設(shè)用地費（土地征用費及遷移補償費，土地使用稅、耕地占用稅