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年產3000噸電子級多晶硅建設項目多晶硅可研報告-wenkub

2022-08-29 20:58:48 本頁面
 

【正文】 下水仍有開發(fā)潛力。W 50%=12512 萬立方米,7W95%=1289 萬立方米。54 條 10KV 配電線路 2150 公里,有配電變壓器 3560 臺,容量 168400 千伏安。經過縣城天義、 “承四”和“赤朝”兩條高速公路的連接線已列入市政府主推的重點工程。高純度多晶硅材料主要應用于電子行業(yè)和太陽能光伏發(fā)電行業(yè)。據統計,2022 年全世界共消費了 46900 噸高純度多晶硅材料,其中電子行業(yè)消費了 21700 噸,太陽能光伏發(fā)電行業(yè)消費了 25200 噸;而2022 年全世界高純度多晶硅材料的需求量增長到了 62940 噸,其中電子行業(yè)需求量 25100 噸,太陽能光伏發(fā)電行業(yè)需求量 37840 噸。按照這個速度,太陽能電池的產量到 202213年將比 2022 年的產量增長 5 倍,達到 以上。2022 年太陽能光伏發(fā)電行業(yè)利用了 19320 噸高純度多晶硅硅材料,2022 年為 25200 噸。(2)世界多晶硅材料生產情況世界上多晶硅制造技術主要是由美、日、德三個國家壟斷,生產廠家主要控制在七大公司 10 個工廠。 國內市場分析(1)國內多晶硅市場分析我國電子行業(yè)(集成電路)近年的高速增長,2022 年我國集成電路產量達到 219 億塊,與 2022 年相比增長 %,2022 年其產量達到 260億塊,產量增長十分迅速。由于我國常規(guī)能源的相對缺乏,我國近年高度重視太陽能光伏發(fā)電產業(yè)的發(fā)展。這些在建的生產能力預計在 2022 年建成投產,屆時我國太陽能電池的生產能力將達到 1900MW。(2)國內多晶硅材料生產現狀我國多晶硅材料的生產起步于 1964 年,國家開始在四川峨嵋半導17體材料廠(所)建設我國第一個多晶硅-單晶硅廠。18 產品市場價格分析盡管多晶硅材料生產企業(yè)通過消除生產薄弱環(huán)節(jié)、生產線滿負荷運作、降低庫存等措施提高產量,但是遠遠不能滿足電子行業(yè)和太陽能行業(yè)飚升的需求。部分太陽能電池生產企業(yè)搶購電路級多晶硅用于太陽能電池的生產,導致全世界電路級多晶硅材料也供應緊張,并且拉動了電路級多晶硅材料的價格上揚。 產品方案根據上述建設方案,本項目一期按照年產 3000 噸/年多晶硅、產品質量按電子級級進行設計,全部產品均滿足太陽能電池的要求。20參 數 測量數值及單位 分 析 方 法 備 注碳元素100ppba(最大)碳元素含量是用一個經過退火的多晶硅樣品、通過紅外吸收法(FTIR)獲得的。其工藝主要特點如下:(1)采用國際上先進的工業(yè)硅與氣態(tài)氯化氫的反應合成三氯氫硅技術,四氯化硅進行氫化,可以轉化為三氯氫硅,利用率高,降低了多晶硅生產的單位原料消耗。從精餾分離出的四氯化硅到四氯化硅氫化爐轉化為三23氯氫硅,精餾的產品三氯氫硅則到還原爐生產多晶硅。(2)氯硅烷提純車間這一車間包括粗提純、精提純、廢氣凈化和蒸餾釜殘液處理工序。24 工藝裝置 三氯氫硅車間(1)氯化氫合成工序氯化氫是合成三氯氫硅的主要原料之一。出的氫氣去生產線的氯化氫合成爐。氯化氫合成生產線由安裝在氫氣輸送線上的阻火器、氯化氫合成爐、兩個熱交換器(空氣冷卻器和氯化氫冷卻器)和氯化氫貯氣罐組成。冷卻后的氯化氫送入氯化氫儲罐,然后被送往三氯氫硅合成工序。從兩級吸收器底部得到質量濃度為 15~20%的鹽酸,分別被收集到一、二級吸收液罐中,然后分別用一、二級吸收液泵循環(huán)送入兩級降膜吸收器頂部,用作吸收劑。氯化氫與氫氧化鈉反應生成氯化鈉而被吸收。出一級尾氣洗滌塔,含氫氣和惰性氣體的尾氣,穿過尾氣阻火器排入大氣。洗滌液在包括塔、二級洗滌液罐、二級洗滌液泵及二級尾氣洗滌液冷卻器的回路內循環(huán)。(2)三氯氫硅合成工序三氯氫硅是制取多晶硅的原料。預熱后的氯化氫送往三氯氫硅合成爐。300℃的氮氣用于在工藝流程有計劃停止或緊急狀態(tài)下吹洗反應裝置設備和“干法”除塵系統。表壓 ~ 的氯化氫同時被分別送入硅粉接收槽、硅粉計量罐和硅粉供料罐中,以平衡硅粉裝料設備和合成系統的壓力。在反應過程中生成大量的熱,用蒸發(fā)反應爐夾套內的水而移出。當反應爐啟動時,從合成爐底部供入熱氮氣流,實現硅的加熱。在從輸氮變?yōu)檩斅然瘹湟约胺磻獱t進入規(guī)定狀態(tài)期間,廢氣通過“干法”除塵系統進入氯化氫合成工序的氯化氫廢氣處理系統。c.汽氣混合氣“干法”除塵系統汽氣混合氣“干法”除塵的每條生產線由三級旋風除塵器、三個集塵罐組成。從塔下部送入用脫鹽水增濕的氫氣,與塔內的氣液混合物接觸,促使汽氣混合氣中所含的金屬氯化物發(fā)生部分水解,同時,汽氣混合氣中的部分細小硅塵被液體四氯化硅洗下,混合氣亦被四氯化硅冷卻。同時,氫氣和氯化氫氣體兩種氣體分別被送回氯化氫合成工序的氫氣緩沖罐和氯化氫緩沖罐,循環(huán)用于氯化氫合成和三氯氫硅合成。三氯氫硅精餾包括八個塔,其中六個塔分離三氯氫硅合成車間來的粗三氯氫硅,另外兩個塔分離還原系統來的氯硅烷。脫高塔所得化學級三氯氫硅可再經精制得高純產品。31第一個塔脫除四氯化硅。出塔底洗滌液用泵送入帶攪拌的石灰漿液槽,隨后用泵送回尾氣洗滌塔頂循環(huán)使用。第二個塔塔頂為三氯氫硅,去還原車間,塔釜含四氯化硅的三氯氫硅返回到粗三氯氫硅進料槽。得到的化學品級三氯氫硅首先在一個塔進一步蒸餾,塔頂蒸出帶有全部輕組份雜質(如 BCl3)的部分三氯氫硅返回脫輕塔,塔釜排出物再進塔另一塔蒸餾,由該塔釜適當地排出部分三氯氫硅返回脫高塔,以除去所有的高沸點雜質;塔頂餾出液則為高純三氯氫硅。大部分低沸點雜質隨同二氯氫硅烷在塔頂餾出,所有高沸點雜質則隨同三氯氫硅由塔釜排出,并進入塔脫高塔。三氯氫硅的精餾,是保障生產出的多晶硅內部質量的最重要環(huán)節(jié),只有在此環(huán)節(jié)對三氯氫硅中的雜質進行了有效、徹底的分離提純,才能保證還原多晶硅的內在質量。氣體鼓泡溢出,隨后由下而上進入鼓泡塔,與從塔頂流下的液體四氯化硅逆流接觸,被進一步冷卻并最終除去細小的硅塵和金屬雜質。定期把硅塵從集塵罐中卸出,送去處理。然后吹入冷氮氣以將爐溫降至 50℃。氮氣被排入大氣中。出夾套的水汽混合物用循環(huán)水進行冷凝和冷卻,返回到熱水循環(huán)槽,并從這里經熱水循環(huán)泵重新送入反應爐夾套。主要反應式如下:Si+3HCl = SiHCl3+H2+QSi+2HCl = SiH2Cl2+QSi+4HCl = SiCl4+2H2+Q反應產物以汽氣混合氣的形式出合成爐頂,去“干法”除塵系統。硅粉由接收槽放入安裝于下方的硅粉計量罐,再放入下方的硅粉供料罐。450℃的氮氣用于三氯氫硅合成反應爐啟動時加熱反應爐和硅粉。三氯氫硅合成工序包括以下幾個系統:——原料處理系統;——三氯氫硅合成系統;——汽氣混合氣“干法”除塵系統;——汽氣混合氣“濕法”除塵系統;a.原料處理系統原料處理系統完成對原料氯化氫的預熱,及對三氯氫硅合成爐啟動和停爐時使用的氮氣的加熱。塔底吸收液為 10%~15%次氯酸鈉溶液,該溶液可作商品外售。氯氣被送進二級尾氣洗滌塔內,用質量濃度為 10%的氫氧化鈉溶液洗滌。用一級洗滌液泵輸送一級洗滌液罐內的液體,穿過一級尾氣洗液冷卻器,循環(huán)送入一級尾氣洗滌塔用作吸收劑。定時向二級吸收液罐中補充工藝水。a)氯化氫廢氣處理系統從合成系統排放的廢氣被送入兩級管殼式石墨斜片降膜吸收器的頂部,與送入的稀鹽酸混合,從管側自上而下流過,廢氣中的大部分氯化氫被稀鹽酸吸收。溫度不超過 450℃??紤]設置氯氣緩沖罐作為安全閥泄放廢氣儲存罐。氯化氫合成工序的流程由初始原料輸入、氯化氫合成系統和廢氣處理系統三部分組成。(4)氫氣制備及凈化車間(5)工藝廢料處理車間(6)整理工序這一車間包括硅芯拉制、酸洗及產品后處理工序。本裝置的設計能力為年產高純多晶硅 3000 噸(以年操作時間 330天為基準) 。 工藝技術方案的確定本項目采用目前國外普遍采用的改良西門子工藝,即經過精餾提純的三氯氫硅在純氫氣環(huán)境下,在 1080℃的硅芯表面沉積,生成多晶硅,產品為棒狀。表面進行酸腐蝕、清洗 塊狀多晶硅規(guī)格規(guī) 格 尺 寸 長 度 重 量 備 注0~20mm20~110mm110~150mm1%(最大)90%(最?。?0%(最大)從電極上取下硅棒時,不包括任何小于 20mm 的部分21第四章 工藝技術方案 工藝技術方案的選擇 工藝技術概況自西門子發(fā)明采用提純的三氯氫硅在氫氣氣氛下,在加熱的硅芯表面反應沉積多晶硅的方法(西門子法)后,經過多年的改進,逐步增加了四氯化硅的綜合利用(四氯化硅熱氫化為其中之一)和還原尾氣的“干法回收”系統,工藝技術已趨于完善,即目前廣泛采用的改良西門子法。用于測定雜質和碳元素含量的樣品是成批取樣的。19第三章 生產規(guī)模和產品方案 生產規(guī)模2022 年我國的多晶硅需求超過 10500 噸,預計 2022 年我國太陽能光伏行業(yè)和電子行業(yè)的多晶硅料需求量將超過 30700 噸左右,而 07 年我國的生產能力只有 1400 噸/年,因此適當引進國外先進技術工藝,通過集成和消化創(chuàng)新,項目建設 3000 噸/年多晶硅生產廠,從工藝和規(guī)模經濟,以及市場容量而言,是比較合適的規(guī)模。由于多晶硅材料嚴重供不應求,高純多晶硅國際市場長期供貨價格由 2022 年初的 100 美元/公斤上漲到 2022 年的 300~350 美元/公斤,目前國際市場長期供貨價格超過了 350 美元/公斤,今年價格還將進一步上漲到 380~400 美元/公斤。截止 2022 年底,我國高純度多晶硅材料的生產廠家只有兩?家,即峨嵋半導體廠、洛陽中硅及江蘇中能,產能 2500 噸,而實際的產量不足 1500 噸(見表 23) ,同時國內的需求量超過 3000 噸,使得我國企業(yè)不得不從國外大量進口多晶硅。按照每 MW 太陽能電池需要消耗8~10 噸高純度多晶硅材料測算,到 2022 年我國太陽能光伏行業(yè)需求的多晶硅材料將為 14000~16000 噸,到 2022 年對多晶硅材料的需求量將超過 28000 噸。據不完全統計,2022 年我國太陽能電池的生產能力已經超過了 200MW,對多晶硅材料的需求量將超過 2022 噸。初步統計,2022 年電子行業(yè)對高純度多晶硅材料的消耗量為 1340 噸(見表 22) 。許多生產企業(yè)采取消除生產薄弱環(huán)節(jié)、生產線滿負荷運作、降低庫存等措施來滿足電子行業(yè)和太陽能行業(yè)飚升的需求,但是15遠遠不能滿足快速增長的太陽能行業(yè)的需求。隨著世界電子行業(yè)的復蘇和發(fā)展,2022 年電子行業(yè)利用了 21700 噸高純度多晶硅材料,預計 2022 年~2022 年電子行業(yè)對多晶硅材料需求的年增長率將超過 7%,到 2022 年對多晶硅材料的需求將超過 30400 噸。上述太陽能電池中,晶體硅電池占總產量的 85%。 市場預測分析 國外市場分析(1)世界多晶硅材料需求分析近年世界電子行業(yè)的復蘇和發(fā)展,尤其是世界太陽能光伏行業(yè)的的高速發(fā)展帶動了對高純度多晶硅材料的大量需求。在過去較長的時間內,多晶硅材料的產品定位為電子行業(yè)需要的多晶硅材料,并不針對太陽能光伏行業(yè),其產品 85%用于芯片和集成電路,只有少量邊角料或次品等用于太陽能光伏行業(yè):多晶硅等外品:約為多晶硅產量的 5%;結晶過程的等外品硅:約為單晶硅產量的 13%左右;切片過程產生的次廢品:約為硅片產量的 8%左右;電子級硅的次級產品;隨著石油、煤等資源的逐漸匱乏,太陽能在世界能源中的地位越來越重要,太陽能光伏發(fā)電行業(yè)得到世界各國前所未有的高度重視,美國能源部計劃到 2022 年累計安裝的太陽能發(fā)電裝置所能達到的容量會超12過 4500MW,歐盟的目標是到 2022 年光伏發(fā)電裝機容量要達到 3600MW 以上,日本政府提出 2022 年光伏發(fā)電裝機容量要達到 5000MW。境8內鄉(xiāng)鄉(xiāng)通油路,村村通公路,天旺線、天山線、大三線等縣級公路和二十三條鄉(xiāng)級公路形成了十分便利的公路運輸網絡?,F在全縣 2648 個村民組全部通電。發(fā)電廠裝機容量:(66KV 打虎石發(fā)電站為 1500KW、10KV 大城子釣魚臺發(fā)電站為 625KW、10KV 大城子白塔子發(fā)電站 150KW、10KV 西泉發(fā)電站為 50KW) ,主網架電壓等級為66KV。主河道流經甸子、雙廟、必斯營子、榆樹林子、大明、鐵匠營子、城關、二龍、汐子等九個鄉(xiāng)(鎮(zhèn)) ,至汐子與坤兌匯流后出境,境內主河道長 公里。全縣人均水資源占有量不足 900m2。園區(qū)目前土地費用主要是土地出讓金最低標準為 萬元/畝、建設用地批轉約為 萬元/畝、征地費約為 4 萬元/畝。項目周邊地區(qū)硅石資源豐富,礦石品位高,目前在開發(fā)區(qū)已建成東北第一家三氯氫硅生產企業(yè),一期生產規(guī)模為年產 三氯氫硅 5000 噸,二期工程計劃在 2022 年開始建設,預計 2022 年投產,達到年產三氯氫硅 3 萬噸的生產規(guī)模,為建設多晶硅項目提供了原料保障,同時,xxxxxx 經濟開發(fā)區(qū)是自治區(qū)級開發(fā)區(qū),經內蒙古自治區(qū)建設廳批復的總體規(guī)劃面積為 平方公里,由國土資源部核準的近期建設面積為 平方公里,規(guī)劃符合 xxxxxx 縣城市總體規(guī)劃和土地利用總體規(guī)劃的要求,多晶硅項目具備在開發(fā)區(qū)選址的條件。既避免了高品質多晶硅生產技術門檻高的難點,又能利用現有成熟技術在較短時間完成工廠建設,抓住市場時機,也能部分參與電路級市場競爭,具有風險小,見效快,適應性強的特點。而2022 年我國的多晶硅生產能力僅為 1400 噸,迫使我國企業(yè)不
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