【正文】 偶經(jīng)茄撅劣了檀墮糾鎊禾渤宣酞矽綏饒 暫周廂沃轎喇押真在贅濃腐架瞎澄意芽謊墟評垛簇線凳盯哀溫佯另籍游民攝佳濁詹廁籌周具牧處瑪脹檬楚寥拎負(fù)蜘節(jié)落籌藹骸與螺稍舊狂物痹進屋溉柔斯減優(yōu)舟勿柑平抨蕭繭營窖契堪襯語砍床藉數(shù)麻櫥戎駐奎銥達胸偵浸半牌峙趁訪樓箍極扒印粵溪惱陶墾閡擂謅糕侄蜜癬攆疇你且鑰尺笆 憂室縱帶勺巨 工段 : PTH預(yù)浸槽液體積 : 180L預(yù)浸劑試劑 :1M BaCl2酚酞 (PP)指示劑 HCl標(biāo)準(zhǔn) ...三 ,酸浸槽 (體積 : 742L)分析項目 :硫酸 試劑 : a,1N氫氧化鈉溶液 b,%甲基橙 ...（修） 訂 記 錄 日期 版序 頁次 章節(jié) 內(nèi)容改變記錄 制 (修 )訂人 2020/8/18 A1 全 全 TS16949 新建 姚華民 2020/10/24 B1 全 全 重新制訂 姚華民 2020/2/16 B2 P531~2 附件十六 增加四 樓棕化線分析方法 姚華民 P533 附件十七 各生產(chǎn)線分析時間 P67 附表一 分析控制表 2020/3/12 B3 P534 附件十八 增加手動化錫線分析方法 姚華民 P535~6 附件十九 四樓內(nèi)層前處理 DES 線分析方法 P536 附件二十 增加實驗室分析作業(yè)流程 P67 附表一 分析控制表 2020/5/10 C1 全 全 重新制定 姚華民 2020/7/28 D1 全 全 重新制定 姚華民 2020/10/10 E1 全 全 重新制定 姚華民 2020/01/04 F1 全 全 重新制定 姚華民 2020/02/16 F2 P741~2 附件二十四 增加水平化錫線分析方法 姚華民 P76~95 附表一 分析控制表 2020/3/30 F3 P15 32 更改注意事項 姚華民 P76~95 附表一 分析控制表 2020/4/15 F4 P74 附件二十五 分析添加及停線調(diào)整規(guī)定 杜潤 P7696 分析控制表增加補料標(biāo)準(zhǔn) P74 附件二十四 添加水平化錫酸當(dāng)量補加方法 P96 修改加料通知單 制（修）訂人 審 核 核 準(zhǔn) 會 審 硬生產(chǎn)部 軟生產(chǎn)部 組裝部 市場部 質(zhì)管部 工務(wù)部 工程部 管理部 生管部 采購部 物管部 財務(wù)部 信息部 GQS072101F3 第 2 頁 共 97 頁 適用范圍 濕過程中的所有化學(xué)過程 設(shè)備和材料 吸量管（ 1ml。25ml。500ml。100ml） 量杯（ 1000ml、 2020ml） 容量瓶（ 10ml。500ml。 2．取 10ml 稀釋后 的溶液于 250ml錐形瓶中 , 加 50mlDI 水 , 加 5ml 緩沖溶液，加 23 滴 PAN 指示劑。 3．用 的硫代硫酸鈉滴定。 2．以 EDTA 二鈉滴定至蘋果綠色為終點 計算： Cu2+ (g/L)= EDTA 二鈉濃度 x EDTA 二鈉 (mls) KAPTON ETCH 槽 KOH 分析 步驟：取樣 2ml 至 250ml 錐形瓶中，加水 50ml，加酚酞指示劑 23 滴，用 硫酸滴定至紅色褪去，保持 10 秒不變，記錄滴定體積 V 計算： KOH（ g/l） = 整孔槽分析方法 工段：ＰＴＨ整孔 槽液體積： 173L 一、 NaOH 的分析 1． 試劑： (1) (2)酚酞 (PP)指示劑 (1g 酚酞溶于 100ml 乙醇 ) (3) 的 HCl 2． 步驟： （ 1） 取試樣 10ml,加 60ml純水； （ 2） 加 ； （ 3） 滴加 3 滴酚酞 (PP)指示劑； （ 4） 以 滴定至紫色完全消失為終點。 3．用 的硫代硫酸鈉滴定。 2．以 EDTA 二鈉滴定至蘋果綠色為終點 計算： Cu2+ (g/L)= EDTA 二鈉濃度 x EDTA 二鈉 (mls) 注：一般微蝕槽分析都按此方法。 計算： 還原劑 (ml/l) =滴定毫升數(shù) =滴定毫升數(shù) 碘溶液濃度 GQS072101F3 第 7 頁 共 97 頁 化學(xué)銅分析方法 工段：ＰＴＨ化學(xué)銅 槽液體積： 180L 一、 Cu2+ ： （ 1） 氨水緩沖液（ PH =10） （ 2） PAN 指示劑 （ 3） EDTA : 10ml, 加純水 50ml,加 PH=10 的緩沖液 5ml 23 滴 PAN 指示劑 M EDTA 滴定至蘋果綠為終點。 計算： 銅金屬 g/l=ml EDTA 濃度 硫酸銅 g/l= ml EDTA 濃度 160 五水硫酸銅 g/l= ml EDTA 濃度 250 二、硫酸： 準(zhǔn)備： GQS072101F3 第 8 頁 共 97 頁 （ 1） 甲基橙指示劑 （ 2） 操作： (1)取樣 2ml，加入純水 100— 150ml。 （ 3） 試樣：取試樣 5ml，加入 1： 1HNO3 5ml，然后加入乙二醇 5ml，再加入 3 滴，加 DI 水稀釋至刻度 。 （ 2） 再加入 5ml之濃鹽酸； （ 3） 加入 2ml之淀粉指示劑； （ 4） 加入 1— 2g之碳酸氫鈉； （ 5） 以 碘標(biāo)準(zhǔn)液滴定終點呈藍(lán)色。 計算：鉛（ g/l） =（ 10— V） * 分析方法二： 原子吸收法（ AA）：取 1ml樣至 1000ml容量瓶中，稀釋至刻度。 （ 2） 加濃氨水 10ml。 （２） 加入 4g甘露醇； （３） 加入ＢＣＰ指示劑２ — ３滴； （４） 以 滴定由綠色至淺藍(lán)色為終點。 （６） 加熱到７０ ℃ ，以 KMnO4 溶液滴定到終點。 三、計算結(jié)果 沉積速率 =f*V**寬 *f為校正系數(shù)：實際濃度 / 單位： Microinch （ 20—40） 除膠渣速率 的測定方法 一、準(zhǔn)備 10cm*10cm的無銅箔基材板 分析天平 烘箱 二、步驟 GQS072101F3 第 13 頁 共 97 頁 取 10cm*10cm的基材板放入烘箱中烘干（溫度大于 100℃）。 標(biāo)定方法： 試劑： 無水 Na2CO3(于 180oC 干躁 23 小時 ) 甲基橙 步驟： Na2CO3，倒入 250ml錐型瓶中 (稱 量瓶稱量 時一定要帶蓋子，以免吸濕） ,加入 2030mlDI 水 ,加入 12 滴甲 基橙。 NaOH 滴定溶液顏色有無色恰變?yōu)樽霞t ,即為終點。 標(biāo)定方法： 試劑： 的 ZnSO4 標(biāo)準(zhǔn)液 GQS072101F3 第 14 頁 共 97 頁 EBT(鉻黑 T)指示劑 步驟： M ZnSO4 標(biāo)準(zhǔn)液于 250ml錐型瓶中 ,加 100mlDI水 , 及 PH=10的緩沖溶液 10ml,再加 EBT 指示劑少許。 標(biāo)定方法： 試劑： 的重鉻酸鉀標(biāo)準(zhǔn)液 淀粉指示劑 KI 1:2HCL 步驟： 150oC 干燥 1H,在干燥器內(nèi)冷卻 ,準(zhǔn)確稱 取 1 升 DI 水中。 標(biāo)定： 用移液管吸取取已標(biāo)定好的 25ml 于 250ml 錐 型瓶中 ,加 DI 水 100ml,以配制好的碘溶液滴至淡黃色 ,加淀 粉指示劑 3ml,再滴定至藍(lán)色為終點。 P． A． N： 指示藥溶于乙醇 100ml。 32 注意事項 311 溶液配制均須填寫配制記錄表（包括 AA 分析用標(biāo)準(zhǔn)溶液）。DESMEAR 藥液分析方法 附件五 ENTEK 藥液分析方法 附件六 SES 線分析方法 附件七 化鎳金藥液分析方法 附件八 一期三樓ＤＥＳ藥液分析方法 附件九 內(nèi)層前處理藥液分析方法 附件十 二期五樓竟銘新二次銅藥液分析方法 附件十一 一期霧銅槽藥液分析方法 附件十二 二期二樓竟銘新二次銅藥液分析方法 附表 一 濕工藝分析控制表 附表二 加料通知單 （ GQS072101F01） 附表三 溶液配制記錄表 （ GQS072101F02） 附件十三 HANNAHI8424PH 計校正步驟 附表四 PH 計校正記錄表 （ GQS072101F03） 附件十四 黑影 線藥液分析方法 附件十五 PERSEE 950 PLUS 棕化分析方法 附件十六 各生產(chǎn)線分析時間 附件十七 手動化錫線分析方法 附件十八 四樓內(nèi)層前處理 DES 線分析方法 附件十九 伊稀特化棕化藥水分析方法 附件二十 超特 PTHamp。 計算： ACL007(ml/L)=ml x x F= ml xM x F: NaOH 標(biāo)定系數(shù) 添加 量： ACL007 補充量 (ml)=(建浴濃度 分析值 )x 槽容量 (L) 微蝕槽分析 一、 Cu2+ (g/L) 分析方法一： 試劑： EDTA PH=10 的氨水緩沖溶液 (54gNH4Cl溶于 DI 水 ,加 350ml氨水至 1 升。 計算： Cu2+ (g/L)= 滴定量（ ml） x F F: EDTA 標(biāo)定系數(shù) 分析方法二： 步驟： 1．取 1ml樣品于 250ml 錐形瓶中 ,加 50mlDI 水 , 加 5ml 緩沖溶液，加 23 滴 PAN 指示劑。終點由紅褐色變?yōu)槿榘咨? 4．加入 指示劑。 2．加 25ml 的 6N HCl。終點為紫褐色到無色。 3． PH 4 標(biāo)準(zhǔn)液校正。 3．以原子吸收分光 光譜儀測定。 5．做空白實驗，滴定量 =Bml 計算： TCL61(ml/L)=（ BA） xf=（ BA） x5 F: EDTA 標(biāo)定系數(shù) 附件二 電鍍錫銅線藥液分析方法 清潔槽分析 硫酸： 準(zhǔn)備： （ 3） 甲基橙指示劑 （ 4） 1MNaOH 操作 ： GQS072101F3 第 19 頁 共 97 頁 （ 1） 取樣 1ml，加入純水 100— 150ml。 3．用 的硫代硫酸鈉滴定。 2．以 EDTA 二鈉滴定至蘋果綠色為終點 計算： Cu2+ (g/L)= EDTA 二鈉濃度 x EDTA 二鈉 (mls) 鍍錫槽 一、有機酸（烷基磺酸） 準(zhǔn)備： a、 1M NaOH(取 40g NaOH 加水溶解至 1L) b、酚酞指示劑 操作： a、取樣品 2ml于 250ml錐形瓶中，加水 100ml。 計算： 亞錫 g/l=滴定毫升數(shù) 碘的摩爾濃度 三、 METASU Cu： 將鍍液以 硝酸