【正文】 00— 150ml。 2．加 50mlDI 水及 50 ml 硫酸鎳溶液 3．加 PH=10 緩沖溶液 5ml。 3．以原子吸收分光 光譜儀測定。 薄金槽分析 一、 [Au]TCL61 步驟： 1．取 10ml樣品至 1000ml定量瓶。 3． PH 4 標準液校正。 2. 5. 滴定量 =B ml 計算： [次磷酸二氫鈉 ](g/l)=(BA) x Xf=(BA) x x M F: Na2S2O3 標定系數 (07) PH/NPR4,TKK51,TCL61,TSK25 試劑： PH 4 標準液 PH 7 標準液 步驟： 1． PH 計開機后，暖機 30 分鐘以上。終點為紫褐色到無色。 4．加 6N HCl 5ml 由瓶緣洗下栓住，攪拌混合，置于暗處 。 2．加 25ml 的 6N HCl。終點為褐色到紫色。 4．加入 指示劑。 2．加 100mlDI 水。終點由紅褐色變?yōu)槿榘咨? 2．放置 30min 后加 2ml 淀粉溶液。 計算： Cu2+ (g/L)= 滴定量（ ml） x F F: EDTA 標定系數 分析方法二： 步驟： 1．取 1ml樣品于 250ml 錐形瓶中 ,加 50mlDI 水 , 加 5ml 緩沖溶液，加 23 滴 PAN 指示劑。 2．加 510 滴 PAN 指示劑。 計算： ACL007(ml/L)=ml x x F= ml xM x F: NaOH 標定系數 添加 量： ACL007 補充量 (ml)=(建浴濃度 分析值 )x 槽容量 (L) 微蝕槽分析 一、 Cu2+ (g/L) 分析方法一： 試劑： EDTA PH=10 的氨水緩沖溶液 (54gNH4Cl溶于 DI 水 ,加 350ml氨水至 1 升。 2．加 50mlDI 水及酚（ ）指示劑 13 滴。DESMEAR 藥液分析方法 附件五 ENTEK 藥液分析方法 附件六 SES 線分析方法 附件七 化鎳金藥液分析方法 附件八 一期三樓ＤＥＳ藥液分析方法 附件九 內層前處理藥液分析方法 附件十 二期五樓竟銘新二次銅藥液分析方法 附件十一 一期霧銅槽藥液分析方法 附件十二 二期二樓竟銘新二次銅藥液分析方法 附表 一 濕工藝分析控制表 附表二 加料通知單 （ GQS072101F01） 附表三 溶液配制記錄表 （ GQS072101F02） 附件十三 HANNAHI8424PH 計校正步驟 附表四 PH 計校正記錄表 （ GQS072101F03） 附件十四 黑影 線藥液分析方法 附件十五 PERSEE 950 PLUS 棕化分析方法 附件十六 各生產線分析時間 附件十七 手動化錫線分析方法 附件十八 四樓內層前處理 DES 線分析方法 附件十九 伊稀特化棕化藥水分析方法 附件二十 超特 PTHamp。以此進行藥液濃度改善。 32 注意事項 311 溶液配制均須填寫配制記錄表（包括 AA 分析用標準溶液）。 E． B． T： 指示藥加三乙醇胺 15ml 及乙醇 8ml溶解 ，再加水至 100ml。 P． A． N： 指示藥溶于乙醇 100ml。 甲基紅： 甲基紅溶于酒精 60ml，然后加水至 100ml。 標定： 用移液管吸取取已標定好的 25ml 于 250ml 錐 型瓶中 ,加 DI 水 100ml,以配制好的碘溶液滴至淡黃色 ,加淀 粉指示劑 3ml,再滴定至藍色為終點。 ,加入 5ml淀粉指示劑 , 繼續(xù)滴定至淺藍綠色為終點。 標定方法： 試劑： 的重鉻酸鉀標準液 淀粉指示劑 KI 1:2HCL 步驟： 150oC 干燥 1H,在干燥器內冷卻 ,準確稱 取 1 升 DI 水中。 計算： EDTA（ M） =（ ZnSO4 濃度 x25） /（ EDTA 毫升數） 附錄 4： 的硫代硫酸鈉 配制方法： 稱取 25g結晶之硫代硫酸鈉以水溶解并稀釋至 1L。 標定方法： 試劑： 的 ZnSO4 標準液 GQS072101F3 第 14 頁 共 97 頁 EBT(鉻黑 T)指示劑 步驟： M ZnSO4 標準液于 250ml錐型瓶中 ,加 100mlDI水 , 及 PH=10的緩沖溶液 10ml,再加 EBT 指示劑少許。 2. 用配制的 的 NaOH 滴定至呈現(xiàn)微紅色 ,保持半分鐘內不褪 色 ,即為終點。 NaOH 滴定溶液顏色有無色恰變?yōu)樽霞t ,即為終點。 計算： HCL（ M） =（ Na2CO3 質量） X1000/（ 53x HCL 毫升數） 附錄 2： 的 NaOH 配制方法：稱取 4g 氫 氧化鈉溶于水 1L。 標定方法： 試劑： 無水 Na2CO3(于 180oC 干躁 23 小時 ) 甲基橙 步驟： Na2CO3，倒入 250ml錐型瓶中 (稱 量瓶稱量 時一定要帶蓋子，以免吸濕） ,加入 2030mlDI 水 ,加入 12 滴甲 基橙。 走除膠渣，中和后第一到水洗槽取出，沖洗干凈后烘干、冷卻、稱重 W2。 三、計算結果 沉積速率 =f*V**寬 *f為校正系數：實際濃度 / 單位： Microinch （ 20—40） 除膠渣速率 的測定方法 一、準備 10cm*10cm的無銅箔基材板 分析天平 烘箱 二、步驟 GQS072101F3 第 13 頁 共 97 頁 取 10cm*10cm的基材板放入烘箱中烘干（溫度大于 100℃）。 將溶液移入錐形瓶中加 PAN 指示劑。 （６） 加熱到７０ ℃ ，以 KMnO4 溶液滴定到終點。 ３、計算： 金含量 g/l=V*M* 備注：金含量也可以ＡＡ分析 二、鈷含量： 以ＡＡ分析 三、＃２０９平衡鹽 １、準備： （１） Ｃ aCl2(20%W/V) （２） 高錳酸鉀溶液 （３） 硫酸 ２、操作： （１） 取樣品 2ml至 1000ml燒杯中，加入純水 800ml。 （２） 加入 4g甘露醇； （３） 加入ＢＣＰ指示劑２ — ３滴； （４） 以 滴定由綠色至淺藍色為終點。 （ 4） 以 EDTA 滴定至終點呈紫色。 （ 2） 加濃氨水 10ml。 加 10 滴酚酞指示劑； (2)加 10 滴酚酞指示劑 (3)以 1M 氫氧化鈉標準液滴定黃色至裕桔色。 計算：鉛（ g/l） =（ 10— V） * 分析方法二： 原子吸收法（ AA）：取 1ml樣至 1000ml容量瓶中，稀釋至刻度。 （ 3） 加 — EDTA2Na 10ml及緩沖液 10ml，再加 %— FBT 指示劑數滴。 （ 2） 再加入 5ml之濃鹽酸； （ 3） 加入 2ml之淀粉指示劑； （ 4） 加入 1— 2g之碳酸氫鈉； （ 5） 以 碘標準液滴定終點呈藍色。 （ 2） 加入鐵粉 5g 及碳酸氫鈉 1g。 （ 3） 試樣：取試樣 5ml，加入 1： 1HNO3 5ml，然后加入乙二醇 5ml，再加入 3 滴，加 DI 水稀釋至刻度 。 計算： 硫酸 g/l=ml M(NaOH) 三、 Cl 準備： （ 1） 1:1HNO3 （ 2） 乙二醇 （ 3） 100ppm Cl 含量 （ 4） 待分析試樣 （ 5） （ 6） 50ml容量瓶若干 操作： （ 1） 標樣：取標樣 5ml，加入 1： 1HNO3 5ml，然后加入乙二醇 5ml，再加入 3 滴，加 DI 水稀釋至刻度 。 計算： 銅金屬 g/l=ml EDTA 濃度 硫酸銅 g/l= ml EDTA 濃度 160 五水硫酸銅 g/l= ml EDTA 濃度 250 二、硫酸： 準備： GQS072101F3 第 8 頁 共 97 頁 （ 1） 甲基橙指示劑 （ 2） 操作： (1)取樣 2ml，加入純水 100— 150ml。 NaOH(g/l)= 8A HCl摩爾濃度 HCHO(ml)=20B HCl摩爾濃度 硫酸銅槽分析 工段：電鍍銅槽 槽液體積： 2020L 一、銅金屬及硫酸銅 準備： (1) 氨水緩沖液（ PH =10） (2)PAN 指示劑 (3) EDTA 滴定液 步驟： （ 1） 取試樣 1ml，加純水 50ml，再加氨水 25ml。 計算： 還原劑 (ml/l) =滴定毫升數 =滴定毫升數 碘溶液濃度 GQS072101F3 第 7 頁 共 97 頁 化學銅分析方法 工段：ＰＴＨ化學銅 槽液體積： 180L 一、 Cu2+ ： （ 1） 氨水緩沖液（ PH =10） （ 2） PAN 指示劑 （ 3） EDTA : 10ml, 加純水 50ml,加 PH=10 的緩沖液 5ml 23 滴 PAN 指示劑 M EDTA 滴定至蘋果綠為終點。 （ 2） 加 3 滴酚酞 (PP)指示劑； （ 3） 以 白色 3． 計算： 預浸劑 (ml/l)=滴定毫升數 鹽酸濃度 8 二、硫酸 1．準備： （ 1） 甲基橙 (MO)指示劑 （ 2） 標準液 1． 操作： （ 1） 取樣 1ml加 100ml純水； （ 2） 加 3 滴甲基橙 (MO)指示劑； （ 3） 以 滴定至黃色為終點。 2．以 EDTA 二鈉滴定至蘋果綠色為終點 計算： Cu2+ (g/L)= EDTA 二鈉濃度 x EDTA 二鈉 (mls) 注：一般微蝕槽分析都按此方法。 計算： 過硫酸鈉 (g/L)= 硫代硫酸鈉濃度 x硫代硫酸鈉 (mls) 二 . 硫酸 試劑： 甲基橙 ( 100mlDI 水 ) 的 NaOH 步驟： 1．取 1ml 樣品至 250ml錐型瓶，加 50mlDI 水 , 加 3 滴甲基橙 2．用 滴定至紅色變黃色為終點 . 計 算： 硫酸 (v%)= NaOH 濃度 x NaOH(mls) (以 98% 硫酸計 ) 添加量 ： H2SO4(50%)(L)= [ v]x180 三 . Cu2+ (g/L) 槽液體積： 180L 試劑： EDTA 二鈉 PH=10 的氨水緩沖溶液 (54gNH4Cl溶于 DI 水 ,加 350ml氨水至 1 升。 3．用 的硫代硫酸鈉滴定。 3． 計算： 整孔劑 (ml/l)=(吸光度 — )/（ 2） 85 微蝕槽分析方法 工段：ＰＴＨ微蝕 槽液體積： 180L 一 :SPS 試劑：