傳感器新技術ppt課件-wenkub
2023-05-21 00:40:28 本頁面
【正文】 Eng. 概述 (微型化、智能化、網(wǎng)絡化 ) 微機械傳感器 智能化傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 第 1講：緒 論 第 2講：傳感器的輸入輸出特性 第 3講：傳感器敏感結構的力學特性 第 4講：幾種典型的模擬式傳感器 第 5講：諧振式傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術 第 7講：總 結 ? 課 程 內(nèi) 容 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 思考題 (第 6講 ) 1. 如何理解傳感器的集成化與智能化？ 2. 微機械傳感器與以往傳感器的區(qū)別。 Optoelectro. Eng. 概 述 硅電容式集成壓力傳感器 硅電容式微機械加速度傳感器 硅電容式表面微機械陀螺 微機械科氏質(zhì)量流量傳感器 硅諧振式壓力微傳感器 微機械傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結構示意圖p ? 工作機理 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 錨固定電極固定電極梁梁差動電容1 2連接單元活動電極14 .3 .1 硅 電容式單軸加速度傳感器原理示意圖關鍵問題： 敏感質(zhì)量 差動實現(xiàn) 折疊梁剛度 ? 單軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 熱激勵硅微結構諧振式壓力傳感器 —— 敏感結構 —— 工作機理 —— 特性方程 —— 測量誤差 —— 改進措施 —— 應用特點 —— 典型應用 應力 應力壓力 p 隔離部分拾振電阻激
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