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《傳感器新技術(shù)》ppt課件-文庫吧

2025-04-21 00:40 本頁面


【正文】 壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖? 敏感結(jié)構(gòu) 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖p ? 工作機理 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖? ? ? ??????????? ???? SrSp yxpwyxSyxpwC0000 ,1ddεd,?????? ? 222222m a xS, 11, ???????? ????????? ?? AyAxHWyxpw42m a xS, 192)1(49 ????????HAEpW ?? 特性方程 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖工業(yè)自動化 領(lǐng)域:壓力變送器 ? 典型應(yīng)用 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 單軸加速度傳感器 ? 三軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 錨固定電極固定電極梁梁差動電容1 2連接單元活動電極14 .3 .1 硅 電容式單軸加速度傳感器原理示意圖關(guān)鍵問題: 敏感質(zhì)量 差動實現(xiàn) 折疊梁剛度 ? 單軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學(xué)與光
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