《傳感器新技術》ppt課件-文庫吧
2025-04-21 00:40 本頁面
【正文】 壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結構示意圖? 敏感結構 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結構示意圖p ? 工作機理 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結構示意圖? ? ? ??????????? ???? SrSp yxpwyxSyxpwC0000 ,1ddεd,?????? ? 222222m a xS, 11, ???????? ????????? ?? AyAxHWyxpw42m a xS, 192)1(49 ????????HAEpW ?? 特性方程 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結構示意圖工業(yè)自動化 領域：壓力變送器 ? 典型應用 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 單軸加速度傳感器 ? 三軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學與光電工程學院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 錨固定電極固定電極梁梁差動電容1 2連接單元活動電極14 .3 .1 硅 電容式單軸加速度傳感器原理示意圖關鍵問題： 敏感質量 差動實現(xiàn) 折疊梁剛度 ? 單軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學與光
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