傳感器新技術(shù)ppt課件(完整版)
【正文】 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 第 1講：緒 論 第 2講：傳感器的輸入輸出特性 第 3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第 4講：幾種典型的模擬式傳感器 第 5講：諧振式傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第 7講：總 結(jié) ? 課 程 內(nèi) 容 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 思考題 (第 6講 ) 1. 如何理解傳感器的集成化與智能化？ 2. 微機(jī)械傳感器與以往傳感器的區(qū)別。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖p ? 工作機(jī)理 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 熱激勵(lì)硅微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器 —— 敏感結(jié)構(gòu) —— 工作機(jī)理 —— 特性方程 —— 測(cè)量誤差 —— 改進(jìn)措施 —— 應(yīng)用特點(diǎn) —— 典型應(yīng)用 應(yīng)力 應(yīng)力壓力 p 隔離部分拾振電阻激勵(lì)電阻梁方膜片4. 1 0 . 1 硅 諧振式壓力微傳感器敏感結(jié)構(gòu) 硅諧振式壓力微傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 智能化傳感器 傳感器技術(shù)智能化的含義 基本傳感器 智能化傳感器中的軟件 典型應(yīng)用 發(fā)展前景 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 技術(shù)的必由之路 發(fā)展前景 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 課 程 內(nèi) 容 第 1講：緒 論 第 2講：傳感器的輸入輸出特性 第 3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第 4講：幾種典型的模擬式傳感器 第 5講：諧振式傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第 7講：總 結(jié) 儀器科學(xué)與
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