傳感器新技術(shù)ppt課件(專(zhuān)業(yè)版)
【正文】 Optoelectro. Eng. ? 光電式智能化壓力傳感器 ? 智能化差壓傳感器 ? 全向空速智能化傳感器 ? 智能化智能結(jié)構(gòu)傳感器系統(tǒng) ? 嵌入式智能化大氣數(shù)據(jù)傳感器系統(tǒng) ? 智能化流量傳感器系統(tǒng) 典型應(yīng)用 自 學(xué) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 三軸加速度傳感器 硅電容式集成加速度傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 傳感器技術(shù)及應(yīng)用 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖工業(yè)自動(dòng)化 領(lǐng)域：壓力變送器 ? 典型應(yīng)用 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. ? 光電式智能化壓力傳感器 ? 智能化差壓傳感器 ? 全向空速智能化傳感器 ? 智能化智能結(jié)構(gòu)傳感器系統(tǒng) ? 嵌入式智能化大氣數(shù)據(jù)傳感器系統(tǒng) ? 智能化流量傳感器系統(tǒng) 典型應(yīng)用 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 技術(shù)的必由之路 發(fā)展前景 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 熱激勵(lì)硅微結(jié)構(gòu)諧振式壓力傳感器 —— 敏感結(jié)構(gòu) —— 工作機(jī)理 —— 特性方程 —— 測(cè)量誤差 —— 改進(jìn)措施 —— 應(yīng)用特點(diǎn) —— 典型應(yīng)用 應(yīng)力 應(yīng)力壓力 p 隔離部分拾振電阻激勵(lì)電阻梁方膜片4. 1 0 . 1 硅 諧振式壓力微傳感器敏感結(jié)構(gòu) 硅諧振式壓力微傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 思考題 (第 6講 ) 1. 如何理解傳感器的集成化與智能化？ 2. 微機(jī)械傳感器與以往傳感器的區(qū)別。 Optoelectro. Eng.
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