【正文】 硼硅酸玻璃硼硅酸玻璃膜片集成電路硅電容式集成壓力傳感器結(jié)構(gòu)示意圖? 敏感結(jié)構(gòu) 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 ? 數(shù)字量輸出或總線式輸出功能 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 第 1講：緒 論 第 2講：傳感器的輸入輸出特性 第 3講：傳感器敏感結(jié)構(gòu)的力學(xué)特性 第 4講：幾種典型的模擬式傳感器 第 5講：諧振式傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 第 7講：總 結(jié) ? 課 程 內(nèi) 容 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 智能化傳感器 傳感器技術(shù)智能化的含義 基本傳感器 智能化傳感器中的軟件 典型應(yīng)用 發(fā)展前景 ? 自補(bǔ)償功能：如非線性、溫度誤差、響應(yīng)時(shí)間、 噪聲、交叉耦合干擾等。 Optoelectro. Eng. 概述 (微型化、智能化、網(wǎng)絡(luò)化 ) 微機(jī)械傳感器 智能化傳感器 第 6講：發(fā)展中的傳感器新技術(shù) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 Optoelectro. Eng. 概 述 硅電容式集成壓力傳感器 硅電容式微機(jī)械加速度傳感器 硅電容式表面微機(jī)械陀螺 微機(jī)械科氏質(zhì)量流量傳感器 硅諧振式壓力微傳感器 微機(jī)械傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 ? 自診斷功能：如自檢，運(yùn)行檢查、診斷測(cè)試等。 Optoelectro. Eng. 思考題 (第 7講 ) 1. 系統(tǒng)梳理所學(xué)的內(nèi)容 2. 哪些是你的難點(diǎn) 3. 對(duì)課程的建議、意見 第 7講：總 結(jié) 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 ? 信息存儲(chǔ)和記憶功能。 Optoelectro. Eng. ? 敏感結(jié)構(gòu) ? 工作機(jī)理 ? 特性方程 ? 典型應(yīng)用 硅電容式集成壓力傳感器 儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 School of Instru. Sci. amp。 3