外文翻譯中文---簡易微機電系統(tǒng)設(shè)備的無線供電方案-wenkub
2023-05-19 05:11:08 本頁面
【正文】 年 月 日 附件 1：外文資料翻譯譯文 簡易微機電系統(tǒng)設(shè)備的無線供電方案 摘要 近來，隨著微切削加工技術(shù)的發(fā)展，離散微器件的結(jié)構(gòu)也日趨成熟；因此，系統(tǒng)的整合變得越來越重 要。 微器件尤其是執(zhí)行機構(gòu)的供電需求成為了 妨礙這種整合系統(tǒng)的 發(fā)展的因素 。副變壓器制造在芯片上并且和主變壓器分開。在此演示的薄膜副變壓器工作頻率為小于幾兆赫 。這種系統(tǒng)將實現(xiàn)更高級的功能并被廣泛接受。本文探索 微系統(tǒng)感應(yīng)供電的可行性 ，并用于縮減系統(tǒng)規(guī)模，節(jié)約效能預(yù)算，還有解除 系統(tǒng) 的機械和電氣束縛。例如，威廉姆和 耶茨 論證了一個利用運動和振動產(chǎn)生的動能來發(fā)電的微型發(fā)電機，大小約為 5mm 20mm 1mm能夠提供 70Hz 、 1μ W和 300 Hz 、 mW的電能 。雖然這種方法可以提供 足夠的靜電電壓，其電流源的能力是有限的。變壓器主要是繞鐵氧體差距的核心納入一個變量的空氣。也有人提出了植入 7 種 不同的核心設(shè)計， 8， 它們具有較低的耦合系數(shù)，從而減少功率傳遞到負載比設(shè)計中描述了這里。反過來，一個相同的頻率交流電壓的作用是在其他線圈，電能傳輸電路從輸入到輸出。 1，每個終端電壓壓降可表示為： 圖 1 帶有 互感 M變壓器示意圖 在第一級，二級和 M是主要的電感，電感和互感 副線圈 分別是第二和 ZL終端負載阻抗跨越。等效電感（ 1 K2型） L1是所謂的初級漏感，因為這無助于長遠的 副線圈 ，而是來自于一個可能的負載電壓減去 影響 深刻到磁通量。對于理想的變壓器 ， k2L1/L2可以減少到 (N1/N2)2 基于以上的推導(dǎo)，一個變壓器的等效電路模型如 2 圖所示 ， 考慮寄生效應(yīng)。存在著比較大的串聯(lián)電阻厚度造成的小金屬，也不可忽略電容分流線附近的金屬基體，通過氧化和領(lǐng)域的密切由于電感。 VS: 開路源電壓 ZS: 激勵源內(nèi)阻抗 ZL: 負載阻抗 RCORE: 磁芯損耗電阻 R1: 主線圈直流電阻 R2:副線圈直流電阻 L1: 主線圈感應(yīng)系數(shù) L2:副線圈感應(yīng)系數(shù) L1， m: 磁化電感 e， L1， m=k2核心損耗電阻，RCORE，在核心與平行損失為能源的主要賬戶。 變壓器是由一個繞線初級，鐵氧體磁芯和一個輔助彈簧圈上的硅晶片。二次是一個邊長的平方平均螺旋彈簧圈 12mm 作為幾何圖。線圈有 10 轉(zhuǎn)和 80 微米的金屬痕跡以 100 微米間距寬。圖 3 顯示了在測試夾具的核心和線圈支持。加工涉及電子束蒸發(fā)的銅層的一氧化硅晶片，并發(fā)射的圖案。 表 1. 主副核心的物理參數(shù) 核心 副端 材料 Philips 3F3 匝數(shù) 10 邊長 50 x 40 mm2 厚度 納米 截面積 8 x 8 mm2 寬度 80納米 氣隙寬度 010mm 間距 20納米 詳細功率損耗 100 176。 4（ b）項提取的集總元件的值。這些參數(shù)將用于低于預(yù)測的變壓器頻率響應(yīng)。 2：打開電路中的 主線圈 和 副線圈 共測量電感， L』= 12。因此， k=(L2,m)= (L’ L’’ /L’ )。因此，我們的測量難免受到寄生電容的一些錯誤，因為納因在高頻率變得顯著。 圖 5 不同形式和構(gòu)造的觸及繞組 （ a）三種不同形式的主線圈布局，從左至右：主線圈在大臂上，主線圈在小臂上，分布式主線
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