傳感器的加工工藝(ppt30頁(yè))(已修改)
2025-02-22 16:26 本頁(yè)面
【正文】 傳感器的加工工藝 姓名： 傳感器的加工工藝 ? 傳感器的發(fā)展和傳感器的加工工藝有著密切的聯(lián)系，在近現(xiàn)代的科技發(fā)展中，加工工藝的進(jìn)步也促進(jìn)了傳感器制造業(yè)的進(jìn)步。 ? 從工藝上講，傳感器制造技術(shù)分為部件及子系統(tǒng)制造工藝和封裝工藝。 ? 前者包括半導(dǎo)體工藝、集成光學(xué)工藝、厚薄膜工藝、微機(jī)械加工工藝等， ? 后者包括硅加工技術(shù)、激光加工技術(shù)、粘接、共熔接合、玻璃封裝、靜電鍵合、壓焊、倒裝焊、帶式自動(dòng)焊、多芯片組件工藝等。 傳感器的加工工藝 應(yīng)用 不同的加工方法所能得到的加工精度 腐蝕工藝 ? 主要有化學(xué)腐蝕（濕法）和離子刻蝕（干法）兩大類。 ? （ 1）濕法腐蝕：包括各向異性化學(xué)腐蝕、電化學(xué)腐蝕、摻雜控制的選擇性腐蝕等。 ? （ 2）干法腐蝕：包括等離子刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕 (RIE)、 離子束化學(xué)刻蝕 (CAIBE)和離子研磨等。 濕法腐蝕工藝 ? 所謂濕法腐蝕，就是將晶片置于液態(tài)的化學(xué)腐蝕液中進(jìn)行腐蝕，在腐蝕過(guò)程中，腐蝕液將把它所接觸的材料通過(guò)化學(xué)反應(yīng)逐步浸蝕溶掉。 ? 首先，溶液里的反應(yīng)物將利用擴(kuò)散效應(yīng)來(lái)通過(guò)一層厚度相當(dāng)薄的邊界層，以達(dá)到被蝕刻薄膜的表面。然后，這些反應(yīng)物將于薄膜表面的分子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，并生成各種生成物。這些位于薄膜表面的生成物，也將利用擴(kuò)散效應(yīng)而通過(guò)邊界層到溶液里，而后隨著溶液被排出。 濕法腐蝕工藝 硅片各向異性腐蝕 （ a）典型的錐形坑被（ 1111）晶面限制，通過(guò)氧化硅掩模上開(kāi)的方洞，從
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