傳感器的加工工藝(ppt30頁)-wenkub
2023-03-05 16:26:41 本頁面
【正文】 ? （ 2）干法腐蝕：包括等離子刻蝕、反應離子刻蝕 (RIE)、 離子束化學刻蝕 (CAIBE)和離子研磨等。 ? 從工藝上講，傳感器制造技術分為部件及子系統(tǒng)制造工藝和封裝工藝。 ? 前者包括半導體工藝、集成光學工藝、厚薄膜工藝、微機械加工工藝等， ? 后者包括硅加工技術、激光加工技術、粘接、共熔接合、玻璃封裝、靜電鍵合、壓焊、倒裝焊、帶式自動焊、多芯片組件工藝等。 濕法腐蝕工藝 ? 所謂濕法腐蝕，就是將晶片置于液態(tài)的化學腐蝕液中進行腐蝕，在腐蝕過程中，腐蝕液將把它所接觸的材料通過化學反應逐步浸蝕溶掉。 濕法腐蝕工藝 硅片各向異性腐蝕 （ a）典型的錐形坑被（ 1111）晶面限制，通過氧化硅掩模上開的方洞，從硅的（ 100）晶面向內(nèi)各向異性腐蝕；（ b）懸臂梁開掩模，慢凸角根切速率的各向異性腐蝕圖；（ c）掩模同（ b）采用快速凸角根切速率性能的腐蝕劑，如 EDP，產(chǎn)生圈套程序的根切效果；（ d）對（ c）進一步腐蝕形成懸掛在坑上的懸臂梁；（ e）圖示為在充分長時間的腐蝕后，各向異性腐蝕的根切使腐蝕的形狀收斂于預計的形狀 ? 干法腐蝕是利用粒子轟擊對材料的某些部位進行選擇性地剔除的一種工藝方法。被去掉的下層薄膜只起分離層作用，故稱其為犧牲層（ sacrificial layer，厚度約 12μ m）。 ? 它一般包括三個步驟 : ① 產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)； ② 將揮發(fā)性物質(zhì)輸運 到沉積區(qū)； ③ 于基
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