單晶爐機械結(jié)構(gòu)(ppt38頁)(已修改)
2025-01-09 16:47 本頁面
【正文】 TDR85AZJS單晶爐的機械 結(jié)構(gòu)與維修 背景 — 半導(dǎo)體生產(chǎn)流程 拉制單晶棒 （本產(chǎn)品研究環(huán)節(jié)） 石英砂－金屬硅 多晶 單晶硅棒 單晶硅片 集成電路 太陽能電池 太陽能電池應(yīng)用 集成電路應(yīng)用 設(shè) 備 簡 介 直拉式單晶硅生長爐是一種高效率制備硅單晶體的設(shè)備 。 將多晶硅原料放在爐體的石英坩堝內(nèi)進行 高溫熔化 （ 大于 1450℃ ） ， 在 低真空度 和 氬氣保護 下 ，通過籽晶插入多晶硅熔體后 ， 在籽晶周圍形成過冷態(tài)并進行有規(guī)律結(jié)晶生長 ， 形成一根單晶棒體 。 工藝過程 加熱器 籽晶 CCD 坩堝提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 坩堝 ? 抽真空 ? 檢漏 ? 調(diào)壓 ? 熔料 ? 穩(wěn)定 ? 熔接 ? 引晶 ? 放肩 ? 轉(zhuǎn)肩 ? 等徑 ? 收尾 ? 停爐 ? 氧化 籽晶提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 單晶棒 液面測溫儀 熱場測溫儀 氬氣流量 熔 料 引 晶 放 肩 等 晶 收 尾 TDR85AZJS全自動 晶體生長爐 整體結(jié)構(gòu)尺寸 爐體 電控柜 電源柜 總重 整體結(jié)構(gòu)尺寸 接口尺寸 ? 籽晶提升機構(gòu)經(jīng)過靜平衡和動平衡測試 ? 帶稱重傳感器 ? 快慢速雙電機 ? 外置限位調(diào)節(jié) ? 觀測玻璃窗 ? 光電編碼計行程 晶體提升機構(gòu) 晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（主視） 晶體提升機構(gòu)結(jié)構(gòu)（俯視） 晶體提升腔拆裝及調(diào)整 拔下稱重傳感器腔上的航空插頭。 從鋼絲繩上取下籽晶夾頭。 將纜索管下降到如左圖所示位置之后，取下鋼絲繩。 松開第二級蝸輪蝸桿減速箱輸出軸上卡環(huán)的內(nèi)六角螺釘，松開剛性連軸器右側(cè)的緊定螺釘，將其向外滑出。小心不
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