【正文】 電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)技術(shù)及市場(chǎng)行情研究報(bào)告報(bào)告目錄一、電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品概述（一）、理化性質(zhì)（二）、產(chǎn)品相關(guān)信息二、電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)工藝介紹（一）、概述（二）、生產(chǎn)工藝（三）、生產(chǎn)方法的難點(diǎn)分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)要求 水質(zhì)要求 對(duì)主要生產(chǎn)設(shè)備及制造技術(shù)、包裝技術(shù)的要求（四）、生產(chǎn)工藝技術(shù)特征 雜質(zhì)砷的控制 生產(chǎn)設(shè)備與工藝 高純水制備 設(shè)置報(bào)警系統(tǒng) 尾氣吸收（五）、質(zhì)量指標(biāo)三、電子級(jí)氫氟酸的包裝、運(yùn)輸和貯存的相關(guān)規(guī)定（一）、包裝（二）、運(yùn)輸（三）、貯存（四）、包裝樣圖500毫升塑料瓶5升加侖桶25升200升1000升IBC集裝桶20噸TANK灌其他規(guī)格四、電子級(jí)氫氟酸的用途（一）、集成電路行業(yè)（二）、液晶顯示器行業(yè)（三）、太陽能光伏行業(yè)（四）、半導(dǎo)體行業(yè)（五）、其他行業(yè)五、產(chǎn)品分類（一）、UPS級(jí)（二）、UP級(jí)（三）、EL級(jí)六、國(guó)內(nèi)外知名生產(chǎn)企業(yè)（一）、國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)企業(yè)介紹表（二）、國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)具體介紹浙江凱恒電子材料有限公司（附有圖）邵武市永飛化工有限公司（附有圖）浙江藍(lán)蘇氟化有限公司（附有圖）蘇州晶瑞化學(xué)有限公司（附有圖）江陰江化微電子材料股份有限公司（附有圖）邵武市華新化工有限公司富寶集團(tuán)鷹鵬集團(tuán)七、應(yīng)用電子級(jí)氫氟酸的客戶行業(yè)分析（一）、客戶群體分析（二）、太陽能光伏行業(yè)（三）、LED行業(yè) 臺(tái)灣地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè) 大陸地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)（四）、液晶面板行業(yè) 國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策扶持 液晶面板產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)況（五）、光伏電池片行業(yè) 氫氟酸在光伏電池中的應(yīng)用光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展背景光伏電池片行業(yè)發(fā)展現(xiàn)況 BIPV太陽能光伏建筑一體化八、主要用戶分析（一）、用戶需求特點(diǎn)（二）、細(xì)分市場(chǎng)容量（三）、未來細(xì)分市場(chǎng)預(yù)測(cè)九、全球電子級(jí)氫氟酸市場(chǎng)分析（一）、電子級(jí)氫氟酸全球主要區(qū)域市場(chǎng)分析（二）、電子級(jí)氫氟酸主要消費(fèi)市場(chǎng)分析（三）、電子級(jí)氫氟酸主要供給地區(qū)分析（四）、電子級(jí)氫氟酸全球市場(chǎng)發(fā)展特點(diǎn)及趨勢(shì)預(yù)測(cè)十、總結(jié)和看法圖表（1） 客戶群體所占比例圖表（2） 20042009年臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)值統(tǒng)計(jì)及預(yù)測(cè)圖表（3） 19992008年中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值統(tǒng)計(jì)圖表（4） LCD產(chǎn)業(yè)鏈圖表（5） 國(guó)內(nèi)TFTLCD 生產(chǎn)線統(tǒng)計(jì)圖表（6） 國(guó)內(nèi)新建TFTLCD生產(chǎn)線圖表（7） 光伏產(chǎn)業(yè)鏈介紹圖表（8） 20042008年中國(guó)太陽能電池產(chǎn)量圖表（9） 全球太陽能電池主要產(chǎn)地份額情況圖表（10） 2008年全球主要太陽能電池廠商產(chǎn)量圖表（11） 電子級(jí)氫氟酸用戶需求特點(diǎn)圖表（12） 2008年電子級(jí)氫氟酸應(yīng)用行業(yè)市場(chǎng)容量分析圖表（13） 2012年電子級(jí)氫氟酸應(yīng)用行業(yè)市場(chǎng)容量預(yù)測(cè)圖表（14） 2009年國(guó)外主要地區(qū)電子氫氟酸消費(fèi)份額圖圖表（15） 20052009年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸消費(fèi)量變化圖圖表（16） 2009年全球主要電子級(jí)氫氟酸消費(fèi)國(guó)消費(fèi)狀況圖表（17） 20052009年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)量圖表（18） 20052009年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸需求滿足率圖表（19） 20102012年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)量預(yù)測(cè)圖圖表（20） 20092012年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸消費(fèi)量圖表（21） 20102012年國(guó)外電子級(jí)氫氟酸滿足率一、電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品概述（一）、理化性質(zhì)英文名 hydrofluoric acid,分子式HF,分子量 20. 01。為無色透明液體 ,相對(duì)密度1. 15～1 . 18，沸點(diǎn) 112 . 2 ℃,在空氣中發(fā)煙 ,有刺激性氣味 ，劇毒。能與一般金屬、 金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應(yīng) ，生成各種鹽類。腐蝕性極強(qiáng) ,能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。易溶于水、醇 ，難溶于其他有機(jī)溶劑。高純氫氟酸為強(qiáng)酸性清洗、 腐蝕劑 ，可與硝酸、冰醋酸、 雙氧水及氫氧化銨等配置使用 。（二）、產(chǎn)品相關(guān)信息 截止到2011年年底，全國(guó)電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)能在8萬噸左右，可是產(chǎn)量只有不到5萬噸。國(guó)內(nèi)的主要生產(chǎn)廠家有浙江凱恒、浙江藍(lán)蘇、蘇州晶瑞、江陰江化、邵武永飛、邵武華新、鷹鵬集團(tuán)等一些企業(yè)，產(chǎn)能都在5000噸以上。電子級(jí)氫氟酸有4個(gè)級(jí)別（PPT級(jí)、UPS級(jí)、UP級(jí)、 EL級(jí)），包裝方式用的是高密度聚乙烯材料的瓶子、噸桶和槽車。產(chǎn)品主要用于集成電路、太陽能光伏、液晶顯示器、LED半導(dǎo)體等行業(yè)中。二、電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)工藝介紹（一）、概述 目前國(guó)內(nèi)外制備電子級(jí)氫氟酸的常用提純技術(shù)有精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術(shù)，這些提純技術(shù)各有特性，各有所長(zhǎng)。如亞沸蒸餾技術(shù)只能用于制備量少的產(chǎn)品，氣體吸收技術(shù)可以用于大規(guī)模的生產(chǎn)。另外，由于氫氟酸的強(qiáng)腐蝕性，采用蒸餾工藝溫度較高時(shí)腐蝕會(huì)更嚴(yán)重，因此所使用的蒸餾設(shè)備一般需用鉑、金、銀等貴金屬或聚四氟乙烯等抗腐蝕性能力較強(qiáng)的材料來制造。電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)裝置設(shè)計(jì)與工藝流程布置密切相關(guān)，垂直流向布置，原料( 無水氫氟酸和高純水) 與中間產(chǎn)物可以依靠重力自上而下流動(dòng)，高純氫氟酸的制備在中部，產(chǎn)品過濾、灌裝及貯存在底層。此布置可減少泵輸送，節(jié)省能耗，降低生產(chǎn)成本，同時(shí)可避免泵對(duì)產(chǎn)品的二次污染。（二）、生產(chǎn)工藝將工業(yè)無水氫氟酸經(jīng)化學(xué)預(yù)處理后，進(jìn)入精餾塔通過精餾操作，得到的氟化氫氣體經(jīng)冷卻后，在吸收塔中用超純水吸收，并采用控制噴淋密度、氣液比等方法使電子級(jí)氫氟酸進(jìn)一步純化，最后在密閉潔凈環(huán)境條件下( 百級(jí)以下) 進(jìn)行灌裝得到最終產(chǎn)品———電子級(jí)氫氟酸。（三）、生產(chǎn)方法的難點(diǎn)1 、分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)要求高。制備電子級(jí)氫氟酸所應(yīng)用的測(cè)試儀器如下: (1)電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀( ICP MS)；(2)電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀( ICP AES)；(3)原子吸收分光光度計(jì)；(4)氧原子發(fā)生無焰原子吸收分析儀；(5)離子色譜分析儀；(6)激光散射液體微粒計(jì)數(shù)器；(7)水表面雜質(zhì)分析系統(tǒng)；(8)原子間力顯微鏡；(9)光學(xué)顯微鏡微粒計(jì)數(shù)器；(10)掃描電子顯微鏡；(11)光學(xué)膜厚測(cè)定和表面仿形儀；(12)表面張力測(cè)定儀；(13) 空氣中塵埃微粒測(cè)定儀；(14)水電阻率測(cè)定儀。2 、對(duì)水質(zhì)要求高，要求水的電阻率≥cm。高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC) 、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見是先通過離子交換柱和微過濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術(shù)進(jìn)一步處理,最后配合殺菌和超微過濾便可得到高純水。3 、對(duì)主要生產(chǎn)設(shè)備材料及設(shè)備制造技術(shù)、包裝技術(shù)的要求較為嚴(yán)格。廠房、分析室、倉庫等環(huán)境潔凈度要求較高，與成品接觸部分要達(dá)到100級(jí)。整個(gè)生產(chǎn)過程中對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量管理要求極高。（四）、生產(chǎn)工藝技術(shù)特征雜質(zhì)砷是電子級(jí)氫氟酸中需要控制的一種重要雜質(zhì)指標(biāo)，在氫氟酸原料中砷一般以三價(jià)態(tài)形式存在，而且AsF3與氫氟酸的沸點(diǎn)相差不大，所以僅靠精餾對(duì)其分離的效果不會(huì)十分理想。為去除雜質(zhì)砷，可在精餾前，加入適量的強(qiáng)氧化劑（如高錳酸鉀等）將三價(jià)態(tài)的砷進(jìn)行氧化，使其在精餾過程中沉積于塔釜中而被除去。生產(chǎn)設(shè)備與工藝：生產(chǎn)設(shè)備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料，生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化，采用熱水低溫(小于100度),工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。高純水制備：通過離子交換與過濾器先制得普通純水，再經(jīng)過反滲透、電滲析后進(jìn)入殺菌、超微過濾制得高純水。在無水氫氟酸預(yù)處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設(shè)置HF有毒氣體濃度探測(cè)、集中報(bào)警系統(tǒng)。設(shè)置尾氣吸收塔、堿吸收塔，尾氣可達(dá)標(biāo)排放。（五）、質(zhì)量指標(biāo)目前，因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同，可將其劃分為四個(gè)檔次：①低檔產(chǎn)品，用于；②中低檔產(chǎn)品，～；③中高檔產(chǎn)品，～；④高檔產(chǎn)品，～＜ IC工藝技術(shù)的制作。產(chǎn)品包裝方法：采用高密度聚乙烯（或四氟乙烯、氟烷基乙烯基醚共聚物、聚四氟乙烯）專用密封工藝制造塑料桶25公斤桶裝。國(guó)際SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）標(biāo)準(zhǔn)化組織根據(jù)高純