led廠房的消防設(shè)計(jì)(已修改)
2025-07-11 18:30 本頁面
【正文】 MOCVD設(shè)備自身采取的安全措施（設(shè)備安裝說明書、操作指南等）；XXXX科技有限公司入住XXX技術(shù)開發(fā)區(qū)的《LED芯片生產(chǎn)項(xiàng)目》中，LED外延片生產(chǎn)使用MOCVD設(shè)備。該設(shè)備用NHHN2氣體作為原材料。MOCVD設(shè)備是用來生長半導(dǎo)體材料的重要設(shè)備，氣體通道都使用高質(zhì)量的不銹鋼材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式連接，以確保管道和腔體具有相當(dāng)良好的氣密性，氣體泄漏的可能性極小；同時(shí)，MOCVD在現(xiàn)場(chǎng)安裝時(shí)實(shí)施嚴(yán)格的氣密性檢查，確保設(shè)備系統(tǒng)的氣密性能。不僅如此，MOCVD設(shè)備本身還設(shè)有氫氣、氨氣、氧氣等檢測(cè)裝置，在設(shè)備運(yùn)行的過程中，一旦檢測(cè)到氫氣、氨氣泄漏，管道閥門自動(dòng)關(guān)閉，并自動(dòng)停止MOCVD設(shè)備工作。此外，本公司使用的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔也采用了特殊的結(jié)構(gòu)，反應(yīng)工作室的外形尺寸650mm長450mm寬450mm高，但其使用氫氣的內(nèi)部腔體的寬度僅為150mm、高度不足20mm， 內(nèi)部腔體中的氣體處于常壓工作狀態(tài)，使MOCVD設(shè)備中
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