led廠房的消防設(shè)計(更新版)
【正文】 現(xiàn)場安裝時實施嚴格的氣密性檢查，確保設(shè)備系統(tǒng)的氣密性能。由于在設(shè)備的構(gòu)造方面采取了鋼性防泄漏措施；并采用了高靈敏度的氣體檢測裝置，萬一發(fā)生泄漏立即自動關(guān)閉管道的閥門；同時生產(chǎn)過程中設(shè)備系統(tǒng)中的氫氣量少，萬一發(fā)生泄漏使其難以達到爆炸的必要條件、極力避免爆炸及火災的危險。因此：MOCVD設(shè)備間距3300mmMOCVD設(shè)備對工程的設(shè)計要求（設(shè)備廠家提供的技術(shù)規(guī)格書等）；Veeco K465MOCVD設(shè)備有害氣體泄露計算（設(shè)備的透視圖紙等）；MOCVD設(shè)備適用的規(guī)范條款，對規(guī)范條款的理解（1）關(guān)于MOCVD工藝間是否采取防爆泄爆措施的規(guī)范《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB504722008 附錄B“半導體器件、集成電路工廠的外延間、化學氣相沉積間、清洗間、液晶顯示器件工廠的CVD間，房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸汽報警裝置和滅火裝置時，應按丙類設(shè)防。
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