led廠房的消防設(shè)計(jì)(存儲(chǔ)版)
【正文】 MOCVD設(shè)備布局要求（設(shè)備布置類型，特別是特氣和設(shè)備的距離要求等，工藝輔助間、特氣間、純化間、廢氣處理間等）；Veeco K465操作面前需要空間1828 mm；操作面背面需要空間920 mm；設(shè)備本身1500mm寬。此外，本公司使用的MOCVD設(shè)備的反應(yīng)腔也采用了特殊的結(jié)構(gòu)，反應(yīng)工作室的外形尺寸650mm長(zhǎng)450mm寬450mm高，但其使用氫氣的內(nèi)部腔體的寬度僅為150mm、高度不足20mm， 內(nèi)部腔體中的氣體處于常壓工作狀態(tài)，使MOCVD設(shè)備中的氣體處于最小量，同時(shí)內(nèi)部腔體外與反應(yīng)工作室內(nèi)壁之間充有氮?dú)獗Ｗo(hù)，進(jìn)一步提高了設(shè)備的安全性。不僅如此，MOCVD設(shè)備本身還設(shè)有氫氣、氨氣、氧氣等檢測(cè)裝置，在設(shè)備運(yùn)行的過程中，一旦檢測(cè)到氫氣、氨氣泄漏，管道閥門自動(dòng)關(guān)閉，并自動(dòng)停止MOCVD設(shè)備工作。39?！盡OCVD車間消防設(shè)計(jì)探討（工藝條件的提出，各專業(yè)采取的相關(guān)措施，廢氣處理設(shè)備？）。該項(xiàng)目不涉及MOCVD輔助間，氣
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