透射電子顯微鏡(1)(已修改)
2025-05-14 06:00 本頁(yè)面
【正文】 第二章 透射電子顯微鏡 透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)與成像原理 ? 透射電子顯微鏡是以波長(zhǎng)極短的電子束作為照明源，用電磁透鏡聚焦成像的一種高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。 ?????????????????????????????? ????????EEL SWDSEDS，附加儀器系統(tǒng)電源透鏡激磁用大電流低壓流高電壓電源電子槍加速電子用小電供電控制系統(tǒng)托達(dá)提高真空度新型電鏡采用離子泵來(lái)由機(jī)械泵和擴(kuò)散泵完成托一般真空系統(tǒng)觀察記錄系統(tǒng)成像系統(tǒng)照明系統(tǒng)電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）透射電子顯微鏡851010JEM2022主要部件名稱 透射電鏡主體剖面圖 電子光學(xué)系統(tǒng) ? 包括：照明系統(tǒng) 成像系統(tǒng) 觀察記錄系統(tǒng) ? 照明系統(tǒng) ? 組成：電子槍 聚光鏡 平移對(duì)中、傾斜調(diào)節(jié)裝置組成。 1. 電子槍 ? 電子槍是透射電子顯微鏡的電子源。 ? 常用的是熱陰極三極電子槍，由發(fā)夾形鎢絲 陰極、柵極帽 和 陽(yáng)極 組成。 熱陰極電子源電子槍的結(jié)構(gòu)如圖所示，形成自偏壓回路，柵極和陰極之間存在數(shù)百伏的電位差。電子束在柵極和陽(yáng)極間會(huì)聚為尺寸為 d0的 交叉點(diǎn) ，通常為 幾十 um 。柵極的作用 ：限制和穩(wěn)定電流。陰極 :陰極燈絲通常用 V形 。 柵極 :柵極是控制電子束形狀和發(fā)射強(qiáng)度的（也稱為控制極、韋氏圓筒）。 陽(yáng)極 :陽(yáng)極使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動(dòng)能，形成定向高速電子流，也稱為加速極。 2. 聚光鏡 ? 聚光鏡的作用是會(huì)聚電子槍發(fā)射出的電子束，調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度、孔徑角和束斑大小。一般采用雙聚光鏡系統(tǒng) . 聚光鏡的作用是會(huì)聚電子槍發(fā)射出的電子束，調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度、孔徑角和束斑大小。一般采用雙聚光鏡系統(tǒng)，如圖所示。2 . 聚光鏡C1— 為強(qiáng)磁透鏡，501101 ??MC
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