【正文】 深圳市新亞電子制程股份有限公司 第 1 頁 共 82 頁 潔 凈 室 維 修 保 養(yǎng) 及 管 理 手 冊 深圳市新亞電子制程股份有限公司 地址 : 深圳市福田區(qū)益田路 6003號榮超商務(wù)中心 A 棟 9 樓 深圳市新亞電子制程股份有限公司 第 2 頁 共 82 頁 目 錄 前 言 .............................................................................................................................................4 第一章 空氣凈化設(shè)備 ......................................................................................................................5 集中式空調(diào)凈化處理機(jī)組 ...................................................................................................5 潔凈層流罩 .........................................................................................................................5 傳遞箱 ...............................................................................................................................6 貨 / 風(fēng)淋室 ........................................................................................................................6 高效送風(fēng)口 ........................................................................................................................7 通風(fēng)系統(tǒng)閥門及附件 ..........................................................................................................7 第二章 潔凈室運(yùn)行管理 ................................................................................................................ 10 化空調(diào)處理機(jī)組的安裝、運(yùn)行及維護(hù) ................................................................................. 10 注意事項(xiàng) .................................................................................................................. 10 機(jī)組的裝卸與運(yùn)輸 .................................................................................................... 11 機(jī)組安裝 ................................................................................................................. 12 機(jī)組使用 .................................................................................................................. 14 機(jī)組維護(hù) .................................................................................................................. 15 風(fēng)機(jī)及其維護(hù) ........................................................................................................... 17 電動(dòng)機(jī)及其維護(hù) ........................................................................................................ 30 皮帶的調(diào)整與更換 .................................................................................................... 33 冷熱水盤管的運(yùn)行與維護(hù) ......................................................................................... 35 蒸汽加熱盤管的使用與維護(hù) ..................................................................................... 38 干蒸汽加濕系統(tǒng)的運(yùn)行維護(hù) ...................................................................................... 41 過濾器 的安裝與更換 ................................................................................................. 42 第三章 其它設(shè)備及裝置的安裝 ...................................................................................................... 43 空氣凈化設(shè)備和裝置的安裝 .............................................................................................. 43 風(fēng)管與附件 ...................................................................................................................... 44 過濾器安裝 ....................................................................................................................... 45 高效過濾器的安裝 ............................................................................................................. 46 風(fēng)淋室 .............................................................................................................................. 47 防火閥 .............................................................................................................................. 48 制冷水系統(tǒng)閥門 ................................................................................................................ 49 冷卻塔 .............................................................................................................................. 52 燈具 .................................................................................................................................. 53 第四章 潔凈室管理 ....................................................................................................................... 56 潔凈室人流、物流管理 ...................................................................................................... 56 作業(yè)人員的管理 ........................................................................................................ 56 原物料、設(shè)備進(jìn)出管理 ............................................................................................. 59 潔凈室內(nèi)用品管理 .................................................................................................... 60 潔凈室各系統(tǒng)維護(hù)保養(yǎng)管理 ............................................................................................... 62 生產(chǎn)設(shè)備之選擇、布置與保養(yǎng)： ............................................................................... 62 生產(chǎn)設(shè)備之防塵措施： ............................................................................................. 63 自動(dòng)化與無塵化： .................................................................................................... 64 第五章 設(shè)備使用方法、問題分析與排除 ........................................................................................ 68 電氣控制系統(tǒng)常出現(xiàn)的故障 .............................................................................................. 68 深圳市新亞電子制程股份有限公司 第 3 頁 共 82 頁 空調(diào)系統(tǒng)使用時(shí)注意事項(xiàng) ............................................................................................... 69 送風(fēng)系統(tǒng)關(guān)閉后能否打開回風(fēng)口 .........................................................