ct擴散爐結(jié)構(gòu)簡介ppt課件(已修改)
2025-01-18 13:52 本頁面
【正文】 1 Centrotherm擴散爐設備結(jié)構(gòu)簡介 CONTENT 設備基本構(gòu)成 爐體部分 Load station Gas cabinate 控制及監(jiān)控系統(tǒng) 基本構(gòu)成 — centrotherm Centrotherm擴散爐機臺主體由裝載系統(tǒng)， TGA，爐體部分和氣源柜四部 分組成。其各部分功能如下： ：用于將上料臺上的石英舟及未擴散硅片送入爐內(nèi)，以及將擴散完成的硅片傳送到上料臺。 （ Toxic Gas Exhaust）：用于驅(qū)動爐門，吸收在進舟和出舟過程中可能泄漏出來的有毒氣體。 ：機臺的核心 部分，由五個爐體及相關(guān)的電 源系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。 ：用于提供擴散 工藝過程所需的各種工藝氣體， 以及將擴散過程中產(chǎn)生的尾氣 通過酸排風系統(tǒng)排出。 爐體部分 — centrotherm 爐體部位包含爐體，控制柜和電源柜三個部分。 爐體部位包含五根爐管，控制柜里面包含著負責工藝程序執(zhí)行的 CESAR電腦 ,CMS和溫度控制器，電源柜負責供給整個機臺所需的動力電源。 控制柜 動力柜 爐體 控制柜 動力柜 CCC電腦放置處 動力柜 動力柜中的變壓器 機體溫度監(jiān)控 CCC控制電腦與 CMS CCC控制電腦 （ Cell Control Computer ）中包含用于創(chuàng)建和管理 recipe的軟件 CCCRM（ Centrotherm Cell Control Recipe Manager） ,用于對 CESAR電腦進行集中控制。 CMS （ central machine safety）， 錯誤監(jiān)視單元，用于監(jiān)視爐內(nèi)，爐外，爐體及電路的溫度和冷卻系統(tǒng)的工
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