ldk單晶爐熱場(chǎng)ppt課件(已修改)
2024-12-20 02:48 本頁(yè)面
【正文】 內(nèi)容 ? 熱場(chǎng)的結(jié)構(gòu)示意圖；各部件介紹 ? 熱場(chǎng)的安裝；熱場(chǎng)水平與中心調(diào)整；熱場(chǎng)的煅燒 ? 熱場(chǎng)的概念；溫度梯度的概念； 靜態(tài)熱場(chǎng)的溫度分布；動(dòng)平衡態(tài)熱場(chǎng)的分布 晶體生長(zhǎng)的溫度梯度：徑向溫度梯度與縱向溫度梯度 ? 熱場(chǎng)的優(yōu)劣對(duì)單晶硅的質(zhì)量有很大影響。合適的熱場(chǎng)，能夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶。不好的熱場(chǎng)容易使單晶變成多晶，或者根本無(wú)法引晶。有的熱場(chǎng)雖然能夠生長(zhǎng)單晶，但質(zhì)量較差，有位錯(cuò)和其它結(jié)構(gòu)缺陷。因此，找到較好的熱場(chǎng)條件，配置最佳的熱場(chǎng)，是非常重要的直拉單晶工藝技術(shù)。 ? 熱場(chǎng)有大有小，它是按照所用的石英坩堝的直徑大小來(lái)劃分的，目前國(guó)內(nèi)熱場(chǎng)從￠ 12″～ ￠ 28 ″都有，但以￠ 18″～ ￠ 22″居多。 一、熱場(chǎng)結(jié)構(gòu) 一、熱場(chǎng)結(jié)構(gòu) ?直拉單晶爐的熱系統(tǒng)，也就是所謂的熱場(chǎng)，是指為了熔化硅料，并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。 ?熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝 (三瓣堝 )、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓，且為了防止漏硅，爐底、金屬電極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。 熱 場(chǎng) 示 意 圖 加熱器 ? 加熱器 是熱場(chǎng)中很重要的部件，是直接的發(fā)熱體，溫度最高的時(shí)候可以達(dá)到 1600℃ 以上。 ? 常見的加熱器有三種形狀，筒狀、杯狀、螺旋狀。目前絕大多數(shù)加熱器為筒狀，硅單晶分廠 CZ1廠房使用的是 直筒式 形狀的加熱器。右圖為加熱器。 加熱器 ? 一般情況下，加熱器是 高純石墨 加工，每個(gè)半圓筒各位一組，縱向開縫分瓣，組成串聯(lián)電阻，兩組并聯(lián)后形成串并聯(lián)回路。 ? 右下圖是倒立的加熱器，由圖可知，在加熱器下面有兩個(gè)清晰的連接孔，這些孔是用來(lái)連接 石墨電極 。 石墨電極 ? 石墨電極的作用，一是平穩(wěn)的固定 加熱器 ，二是通過(guò)它對(duì)加熱器 輸送電流 ，因此要求電極厚重，結(jié)實(shí)耐用，它與金屬電極和加熱器的接觸面要光滑、平穩(wěn)，保證接觸良好，通電時(shí)不打火。石墨電極也是有高純石墨加工而成。 ? 右上圖為石墨電極示意圖、右下圖為連接石墨電極和加熱器的 石墨螺栓 。 石墨螺栓 電極圖 石墨坩堝、坩堝托桿和坩堝托盤 ? 石墨坩堝，也就是所謂的 三瓣堝 ，主要是用來(lái)盛放石英坩堝。它的內(nèi)徑加工尺寸與石英坩堝的外形尺寸相配合，同時(shí)，石墨坩堝本身也需要具有一定的強(qiáng)度，來(lái)承受硅料和坩堝的重量。 ? 石墨坩堝，有單體，兩瓣合體，以及 CZ1所使用的三瓣合體等不同形狀。它們從節(jié)約成本、使用方便來(lái)比較各有所長(zhǎng)。右圖為三瓣堝的實(shí)物圖。 ? 坩堝托桿、坩堝托盤 共同構(gòu)成了石墨坩堝的支撐體，要求和下軸結(jié)合牢固，對(duì)中性良好，在下軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，托桿及托盤的偏擺度
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1