【正文】 畢業(yè)設計論文 設計（論文）題目 真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設計 學 院 名 稱 機械 與 汽車 工程學院 專 業(yè)（班級） 機械 設計 制造 及其自動 化 0910 班 姓 名（學號） 李 東霖 20210736 指導教師 方 應翠 系（教研室）負責人 干 蜀毅 合肥工業(yè)大學本科畢業(yè)設計：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設計 目 錄 1 緒 論 ...................................................................................................................... 1 真空鍍膜的意義 ........................................................................................... 1 真空鍍膜技術在國內外的發(fā)展 ................................................................... 1 蒸發(fā)鍍膜 ....................................................................................................... 3 課題研究背景 ............................................................................................... 4 設計要解決的問題 ....................................................................................... 4 2 設計方案的選擇 ...................................................................................................... 5 真空鍍膜樣品架種類 ................................................................................... 5 球面行星傳動工件架 ........................................................................ 5 摩擦傳動工件架 ................................................................................ 6 齒輪傳動工件架 ................................................................................ 6 撥桿傳動工件架 ................................................................................ 7 其他類型的工件架 ............................................................................ 8 膜厚均勻性的計算 ....................................................................................... 9 真空系統(tǒng)方案 ............................................................................................. 13 樣品架方案 ................................................................................................. 15 多源蒸發(fā) .......................................................................................... 16 單源進給 .......................................................................................... 16 基片蒸鍍時間控制 .......................................................................... 17 3 配置真空系統(tǒng) ........................................................................................................ 18 鍍膜室殼體壁厚的確定 ............................................................................. 18 真空室選泵的計算 ..................................................................................... 18 粗算主泵抽速 ................................................................................... 18 流導計算 .......................................................................................... 18 精算主泵抽速 .................................................................................. 19 前級泵的計算 .................................................................................. 19 抽氣時間的計算 .............................................................................. 20 合肥工業(yè)大學本科畢業(yè)設計：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設計 計算分子泵的抽氣時間 ................................................................... 21 電機的選擇 ................................................................................................. 22 結 論 ........................................................................................................................ 23 謝 辭 ........................................................................................................................ 24 [參考文獻 ] .................................................................................................................. 25 合肥工業(yè)大學本科畢業(yè)設計：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設計 1 真空蒸發(fā)鍍膜樣品架 設計 摘 要 ： 本文的主要內容是對本次真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設計的說明。在文中不僅列出了鍍膜設備中使用的幾種常用樣品架，還介紹了幾種新型的樣品架。本次