真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì)合肥工業(yè)大學(xué)機(jī)械設(shè)計(jì)及其自動(dòng)化畢業(yè)論-展示頁
2025-06-17 03:30本頁面
【正文】 ...................... 5 摩擦傳動(dòng)工件架 ................................................................................ 6 齒輪傳動(dòng)工件架 ................................................................................ 6 撥桿傳動(dòng)工件架 ................................................................................ 7 其他類型的工件架 ............................................................................ 8 膜厚均勻性的計(jì)算 ....................................................................................... 9 真空系統(tǒng)方案 ............................................................................................. 13 樣品架方案 ................................................................................................. 15 多源蒸發(fā) .......................................................................................... 16 單源進(jìn)給 .......................................................................................... 16 基片蒸鍍時(shí)間控制 .......................................................................... 17 3 配置真空系統(tǒng) ........................................................................................................ 18 鍍膜室殼體壁厚的確定 ............................................................................. 18 真空室選泵的計(jì)算 ..................................................................................... 18 粗算主泵抽速 ................................................................................... 18 流導(dǎo)計(jì)算 .......................................................................................... 18 精算主泵抽速 .................................................................................. 19 前級(jí)泵的計(jì)算 .................................................................................. 19 抽氣時(shí)間的計(jì)算 .............................................................................. 20 合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計(jì)：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì) 計(jì)算分子泵的抽氣時(shí)間 ................................................................... 21 電機(jī)的選擇 ................................................................................................. 22 結(jié) 論 ........................................................................................................................ 23 謝 辭 ........................................................................................................................ 24 [參考文獻(xiàn) ] .................................................................................................................. 25 合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計(jì)：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì) 1 真空蒸發(fā)鍍膜樣品架 設(shè)計(jì) 摘 要 ： 本文的主要內(nèi)容是對(duì)本次真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì)的說明。在文中不僅列出了鍍膜設(shè)備中使用的幾種常用樣品架，還介紹了幾種新型的樣品架。 關(guān)鍵 字： 蒸發(fā)鍍膜 樣品架 相對(duì)位置 合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計(jì)：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì) 1 Vacuum evaporation coating sample holder design Abstract： The main content is the vacuum evaporation of this description of the sample holder design. Not only in the text lists several coating equipment monly used in the sample holder, also introduced several new sample holder. The design of the study is to control the film thickness coating products, the transmission structure to give a reasonable assurance of uniformity of coating while holding the substrate holder and the relative position of the evaporation source, a reversible synchronous motor control various parts of the block board, to achieve control of the substrate deposition time, thereby to obtain a substrate with different thickness. Keywords: evaporation coating specimen holder Relative position合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè)設(shè)計(jì)：真空蒸發(fā)鍍膜樣品架設(shè)計(jì) 1 1 緒 論 真空鍍膜的意義 真空鍍膜技術(shù)是真空應(yīng)用技術(shù)的重要組成部分，是一項(xiàng)綜合的、應(yīng)用范圍很廣的先進(jìn)技術(shù)，是許多前沿學(xué)科發(fā)展的基礎(chǔ)技術(shù)之一，同時(shí)也是當(dāng)今信息時(shí)代中許多高新技術(shù)發(fā)展必不可少的手段。用真空鍍膜技術(shù)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的電鍍工藝，不但能節(jié)省大量的膜材和降低能耗，而且還會(huì)消除濕法鍍膜中所產(chǎn)生的環(huán)境污染 。在機(jī)械制造工業(yè)中，真空鍍膜工藝用于改變某些加工工藝和節(jié)約貴重的原材料，再如汽車制造業(yè)中采用塑料制品金屬化零件代替各種金屬零件，即減輕了汽車的重量又節(jié)約了燃油的消耗。而作為室內(nèi)熱源的紅外輻射又不能通過玻璃輻射出去，這在高緯度地區(qū)也可以達(dá)到保溫節(jié)能的目的。 真空鍍膜技術(shù)在國(guó)內(nèi)外的發(fā)展 從中國(guó)的真空鍍膜技術(shù)及設(shè)備的發(fā)展歷史來看，是從 20 世紀(jì) 60 年代開始的 ，從無到有，從模仿設(shè)計(jì)、自行研制到技術(shù)引進(jìn)，并在技術(shù)引進(jìn)
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