【正文】 高溫外延生長設(shè)備/VP508 GFR125高溫退火/Activator 15050，126碳膜濺射/ULVAC，SME－200127碳膜去除設(shè)備/ULVAC，NE550 128柵氧化高溫氧化爐/　129貼膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL130去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100131貼膜ADVANTEK TL/ADVANTEK TL132去膜TAKATORI ATRM2100/TAKATORI ATRM2100133芯片參數(shù)測試系統(tǒng)/KEYSIGHT B1505A/B1506A134超聲波清洗機(jī)/　/235超聲波自動鍵合機(jī)/　/136鍵合拉力測試儀/　/137XRAY檢測儀/　/138真空干燥箱/　/339激光打標(biāo)機(jī)/　/140模塊動、靜態(tài)測試系統(tǒng)/定制141熱阻測試儀/定制142浪涌測試儀/定制1表5 項(xiàng)目主要組成情況序號項(xiàng)目組成建設(shè)名稱建設(shè)內(nèi)容與原有工程的依托關(guān)系1主體工程凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU（風(fēng)機(jī)過濾器裝置）數(shù)量，將FFU布置占比提高至80%，同時改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等，新增1臺40000m3/h新風(fēng)機(jī)組（含變頻控制柜）依托現(xiàn)有廠房及空調(diào)凈化系統(tǒng)熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺熱排風(fēng)機(jī)機(jī)組，形成1備1用，增加相應(yīng)的分支管路依托現(xiàn)有廠房與排氣筒工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)（1備1用2臺WS501羅茨干泵組，1個真空儲氣罐，管路、閥門等）依托現(xiàn)有廠房工藝區(qū)改造增添工藝生產(chǎn)設(shè)備，配電、照明等生產(chǎn)輔助動力系統(tǒng)進(jìn)行改造依托現(xiàn)有廠房及生產(chǎn)線,增加生產(chǎn)設(shè)備2輔助工程純水區(qū)改造增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行冷卻循環(huán)水改造增加1臺冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)（包括泵組、管道）依托現(xiàn)有冷凍站3儲運(yùn)工程原料儲存氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排（軟連接改為彈簧硬管連接）依托現(xiàn)有工程液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等），備用液氮罐10m3一個，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力依托現(xiàn)有工程產(chǎn)品儲存存放于成品庫房依托現(xiàn)有工程4公用工程項(xiàng)目供水來自市政供水項(xiàng)目排水系統(tǒng)包括生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水排水系統(tǒng)。供電為市政供電項(xiàng)目辦公區(qū)采用空調(diào)供暖依托現(xiàn)有工程5環(huán)保工程廢水處理生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入第二污水處理廠依托原有污水處理站，生活污水經(jīng)廠區(qū)現(xiàn)有化糞池處理后排入第二污水處理廠處理依托現(xiàn)有化糞池，現(xiàn)有規(guī)格為G36SF（6m3）的化糞池2座，水力停留時間為12小時， m3/d，可以滿足排放需求廢氣處理酸堿廢氣（氯化氫、硫酸霧、氟化物、氨氣）經(jīng)過酸堿中和箱反應(yīng)后，堿性廢氣被中和去除，酸性廢氣經(jīng)洗滌塔（氫氧化鈉）處理達(dá)標(biāo)后通過15m高排氣筒排放依托現(xiàn)有處理裝置及排氣筒（原有2套設(shè)備，1用1備）有機(jī)廢氣（非甲烷總烴）經(jīng)廢氣處理裝置活性炭吸附塔處理達(dá)標(biāo)后由15m高排氣筒集中排放依托原有處理裝置及排氣筒，本次改造新增一套設(shè)施備用油煙廢氣經(jīng)型號為LJPD130000的油煙凈化設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)排放利用現(xiàn)有職工食堂，餐飲規(guī)模滿足本項(xiàng)目新增工作人員噪聲控制選用低噪聲設(shè)備，其次采用消聲、隔聲、減振等措施依托現(xiàn)有廠房、隔聲窗固體廢物處置生活垃圾由區(qū)環(huán)衛(wèi)局統(tǒng)一運(yùn)至城市生活垃圾處理場處理，廢舊塑料和廢包裝材料等，由相關(guān)單位收集回收利用依托現(xiàn)在垃圾存放點(diǎn)危險(xiǎn)廢物廢酸排入廢水處理站酸堿中和池中和，產(chǎn)生的沉淀物與廢有機(jī)溶劑委托西安高科環(huán)保技術(shù)有限公司集中處置（委托協(xié)議見附件）廢有機(jī)溶劑用桶存儲，大約1噸的時候開始清運(yùn)四、原輔材料及能源消耗本項(xiàng)目主要原材料為單晶硅片、鉬園片、金屬陶瓷管等，其他輔助材料主要為氮?dú)?、硫酸、鹽酸、硝酸等。項(xiàng)目主要原輔材料及能源消耗情況見表6。表6 項(xiàng)目主要原輔材料及能源消耗編號物料名稱規(guī)格（固、液）年用量采購來源備注1單晶硅片固態(tài)84000片德國/2鉬園片固態(tài)168000片英國、奧地利等/3金屬陶瓷管固態(tài)84000片德國、瑞士/4金剛砂顆粒狀400公斤西安/5硅橡膠固態(tài)200公斤西安/6光刻膠（危險(xiǎn)化學(xué)品）膠狀150升北京/7異丙醇（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)180升天津%8乙醇（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)150升天津%9環(huán)己烷（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安%10乙酸丁酯（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安%11鹽酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)14t西安3638%12硝酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)14t西安6568%13硫酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)7t西安9598%14磷酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)3t西安85%15氫氟酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安4050%16冰醋酸（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安%17雙氧水（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安30%18氨水（危險(xiǎn)化學(xué)品）液態(tài)西安2528%19氟化銨（危險(xiǎn)化學(xué)品）固態(tài)西安/20氮?dú)鈿鈶B(tài)7000m3西安%21氫氣（易燃易爆危險(xiǎn)品）氣態(tài)200m3西安%22氧氣氣態(tài)2000m3西安%23機(jī)油液態(tài)15t西安/24包裝材料140t西安/25新鮮水液態(tài)市政管網(wǎng)/26電176當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)/五、公用工程（1）給水本項(xiàng)目給水由市政供水供給。（2）排水項(xiàng)目采用雨污分流的形式。項(xiàng)目產(chǎn)生的廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入該區(qū)域市政污水管網(wǎng)，最終排入第二污水處理廠。職工食堂廢水經(jīng)隔油池處理后和生活污水一起排入化糞池處理，最終排入第二污水處理廠。（3）供電本項(xiàng)目年用電量約為176萬kwh，由市政電網(wǎng)供給。（4）供暖項(xiàng)目辦公區(qū)采用中央空調(diào)供暖。六、總平面布置現(xiàn)有項(xiàng)目占地75937m2，整個廠區(qū)主要分為辦公區(qū)、生產(chǎn)區(qū)、儲存區(qū)和公用工程。本次工程只是進(jìn)行技術(shù)改造，不新建廠房。辦公區(qū)位于廠區(qū)北端，主生產(chǎn)車間位于廠區(qū)中部布置，從西到東分別為晶閘管工藝廠房、化學(xué)品庫、動力站，污水處理站位于晶閘管工藝廠房的北端。具體廠房總平面布置見附圖3。本項(xiàng)目對現(xiàn)有1建筑晶閘管工藝廠房、4建筑化學(xué)品庫、5建筑動力站進(jìn)行技術(shù)升級改造，涉及改造面積約4000m2，其中1建筑晶閘管工藝廠房涉及改造工藝凈化面積約為3600m2，動力面積約為280m2；4建筑化學(xué)品庫涉及改造面積約為50m2；5建筑動力站涉及改造面積約為70m2。七、組織定員與生產(chǎn)制度項(xiàng)目原有員工381人，本次新增生產(chǎn)人員50人，企業(yè)實(shí)行單班工作制，年工作日220天，日工時8小時，全年生產(chǎn)1760h。八、項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)政策符合性分析根據(jù)《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）》（2013年修正），本項(xiàng)目為第一類，鼓勵類二十八條信息產(chǎn)業(yè)21新型電子元器件制造，符合國家產(chǎn)業(yè)政策。九、與相關(guān)規(guī)劃、政策的符合性分析建設(shè)項(xiàng)目與西安市總體規(guī)劃的相容性《西安市20082020年城市總體規(guī)劃》中指出，為合理分布生產(chǎn)力和形成城鎮(zhèn)體系，有利于資源開發(fā)、生產(chǎn)發(fā)展和生態(tài)平衡，促進(jìn)城鎮(zhèn)建設(shè)和控制城市人口的增長，城市的布局原則是優(yōu)化布局結(jié)構(gòu)，完善城市功能；保護(hù)古城風(fēng)貌，實(shí)施新舊分治；降低中心密度，發(fā)展外圍新城；顯山露水增綠，塑造城市個性，城市布局形態(tài)為九宮格局，棋盤路網(wǎng)，軸線突出，一城多心。主城區(qū)將形成虛實(shí)相當(dāng)?shù)男【艑m格局，中心為唐長安城，發(fā)展成商貿(mào)旅游服務(wù)區(qū)；東部依托現(xiàn)狀發(fā)展成國防軍工產(chǎn)業(yè)區(qū)；東南部結(jié)合曲江新城和杜陵保護(hù)區(qū)，發(fā)展成旅游生態(tài)度假區(qū)；南部為文教科研區(qū)；西南部拓展成高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)；西部發(fā)展成居住和無污染產(chǎn)業(yè)的綜合新區(qū)；西北部為漢城遺址保護(hù)區(qū)；北部形成經(jīng)濟(jì)技術(shù)產(chǎn)業(yè)區(qū)；東北結(jié)合浐灞河道整治，建設(shè)成高尚住宅、旅游生態(tài)區(qū)。本項(xiàng)目位于西安市高新區(qū)，項(xiàng)目所在地土地規(guī)劃性質(zhì)為工業(yè)用地，其建設(shè)符合西安市總體規(guī)劃的要求。（草案）的相容性《西安市國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十三個五年規(guī)劃綱要（草案）》中要求：培育壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。新一代信息技術(shù)。以三星項(xiàng)目為引領(lǐng)，構(gòu)建存儲芯片設(shè)計(jì)、制造、封裝、測試完整產(chǎn)業(yè)鏈，培育壯大電子級多晶硅、大直徑單晶爐和硅片制造等配套產(chǎn)業(yè)，建設(shè)世界一流高端芯片產(chǎn)業(yè)基地，在下一代新型存儲器產(chǎn)業(yè)中保持世界領(lǐng)先。依托中興、華為、酷派等重點(diǎn)企業(yè)，帶動整合智能終端整機(jī)及零部件、芯片、系統(tǒng)和應(yīng)用軟件研發(fā)設(shè)計(jì)制造企業(yè)，打造千億規(guī)模智能終端產(chǎn)業(yè)集群。本項(xiàng)目主要為半導(dǎo)體分立器件制造，其建設(shè)符合西安市國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十三個五年規(guī)劃綱要（草案）的要求。3. 項(xiàng)目建設(shè)與西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃的符合性分析本項(xiàng)目與《西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃》符合性分析，見表7。表7 項(xiàng)目與西安市環(huán)境保護(hù)“十三五”規(guī)劃的符合性規(guī)劃內(nèi)容本項(xiàng)目與規(guī)劃的關(guān)系符合性分析水二氧化硫、氮氧化物、化學(xué)需氧量、氨氮、揮發(fā)性有機(jī)物排放量較“十二五”末分別下降（由國家和省級下達(dá)后確定）。本項(xiàng)目總量控制指標(biāo)為COD及氨氮，符合要求。符合空氣加強(qiáng)能源基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，提升我市清潔燃料保障能力。本項(xiàng)目食堂全部使用電。符合噪聲繼續(xù)加強(qiáng)對交通運(yùn)輸噪聲、建筑施工噪聲、社會生活噪聲、工業(yè)企業(yè)噪聲等的管理和控制，使城市聲環(huán)境質(zhì)量整體得到改善。評價對建筑施工噪聲的污染防治提出要求，減小施工擾民現(xiàn)象的發(fā)生；對項(xiàng)目建成后對設(shè)備局部進(jìn)行減震降噪和隔聲處理，并將噪聲源空壓機(jī)安置于室內(nèi)，房間安裝雙層隔聲門窗，運(yùn)行時關(guān)閉門窗等實(shí)現(xiàn)環(huán)境噪聲達(dá)到GB123482008《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》2類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)。符合固體廢物做好城市污水處理、生活垃圾無害化處理、污泥綜合處置等環(huán)境基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)的實(shí)施和日常管理工作，促使項(xiàng)目盡快發(fā)揮環(huán)境效益。本項(xiàng)目生活垃圾集中收集，統(tǒng)一清運(yùn)至生活垃圾填埋場填埋，生活垃圾處理率達(dá)到100%；廢有機(jī)溶劑等危險(xiǎn)廢物交由資質(zhì)單位處置。符合與西安高新區(qū)總體規(guī)劃相符性《西安高新區(qū)發(fā)展總體規(guī)劃（2011年2030年）》中指出：西安高新區(qū)將發(fā)展形成“一心、二軸、三帶、五區(qū)”的結(jié)構(gòu)模式，形成居住、商務(wù)、產(chǎn)業(yè)三大功能主體和13個功能組團(tuán)，面積將擴(kuò)展至200平方公里。本項(xiàng)目位于西安高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)，項(xiàng)目所在地用地規(guī)劃性質(zhì)為工業(yè)用地（土地文件見附件），其建設(shè)符合西安市高新區(qū)總體規(guī)劃的要求，土地利用規(guī)劃圖見附圖4。與本項(xiàng)目有關(guān)的原有污染情況及主要環(huán)境問題：一、現(xiàn)有工程概況及污染物產(chǎn)排情況本項(xiàng)目為技改項(xiàng)目，現(xiàn)有項(xiàng)目（特高壓大功率6英寸晶閘管生產(chǎn)項(xiàng)目）占地面積為75937m2，總投資33000萬元，以1建筑晶閘管工藝廠房作為主要生產(chǎn)加工廠房，共有一條生產(chǎn)線，主要生產(chǎn)普通晶閘管、超大功率5英寸晶閘管以及特大功率6英寸晶閘管，年生產(chǎn)能力分別為4萬只、。廠區(qū)處于錦業(yè)二路以北，丈八二路以西，丈八三路以東，北臨繞城高速公路，周圍道路暢通，地理位置優(yōu)越，交通便利。該部分環(huán)境影響評價報(bào)告表于2006年9月由西安市環(huán)境保護(hù)研究所編制，并取得陜西省環(huán)保廳出具的環(huán)境影響報(bào)告表的批復(fù)（陜環(huán)批復(fù)[2006]237號）以及項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收的批復(fù)（陜環(huán)批復(fù)[2015]364號）。2014年5月，西安市環(huán)境保護(hù)科學(xué)研究院出具了《特高壓大功率6英寸晶閘管產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表變更說明》，變更內(nèi)容為：原工藝廢氣中的酸性廢氣和堿性廢氣分別經(jīng)過酸、堿性排氣筒排放，變更為工藝廢氣中的酸堿廢氣經(jīng)過酸堿排氣筒排放。本次環(huán)評將現(xiàn)有工程的主要污染物產(chǎn)生及排放情況分析如下：廢氣原有項(xiàng)目在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的工藝廢氣主要包括：表面清洗過程中產(chǎn)生的少量氯化氫、氟化物、硫酸霧以及氨氣，先經(jīng)酸堿中和箱反應(yīng)，然后排入酸堿廢氣洗滌塔（氫氧化鈉）處理達(dá)標(biāo)后通過15m高排氣筒排放；表面處理過程和表面清洗過程中使用的有機(jī)溶劑少量揮發(fā)產(chǎn)生的有機(jī)廢氣非甲烷總烴，經(jīng)廢氣活性炭吸附塔處理后，由通風(fēng)系統(tǒng)經(jīng)過15m的排氣筒集中排放；食堂產(chǎn)生的廢氣主要為油煙，通過油煙凈化器凈化后排放。2016年9月，西安高新區(qū)中凱環(huán)境檢測有限公司對項(xiàng)目廢氣進(jìn)行了監(jiān)測（高環(huán)監(jiān)字（氣）2016HJ325），，，、 mg/m3，；。氟化物、氯化氫、硫酸霧以及非甲烷總烴監(jiān)測結(jié)果均符合GB162971996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》新污染源大氣污染物排放限值中最高允許排放濃度限值及最高允許排放速率二級標(biāo)準(zhǔn)限值；氨氣監(jiān)測結(jié)果均符合GB145541993《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》排放標(biāo)準(zhǔn)值。2014年10月陜西省環(huán)境監(jiān)測中心站組織專業(yè)技術(shù)人員對該項(xiàng)目進(jìn)行竣工驗(yàn)收監(jiān)測（陜環(huán)驗(yàn)（表）字[2015]第006G號），項(xiàng)目食堂凈化后的排氣量為16012m3/h，%。油煙最大排放濃度符合《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB184832001）的要求，但油煙凈化設(shè)施最低去除效率不符合《飲食業(yè)油煙排放標(biāo)準(zhǔn)（試行）》（GB184832001）中75%的要求。廢水現(xiàn)有工程運(yùn)行期產(chǎn)生的廢水包括生產(chǎn)廢水和生活污水兩部分，單獨(dú)處理后集中排放，年排放量為9360t。其中，生產(chǎn)廢水主要是元器件表面處理的清潔水、廢氣處理的酸堿水和純水制備酸堿水，主要污染因子為pH、化學(xué)需氧