《測(cè)試與分析》ppt課件-文庫(kù)吧
2025-04-19 04:17 本頁(yè)面
【正文】 1960 Everhart and Thornley 發(fā)明二次電子偵測(cè)器。 1965 第一部商用 SEM出現(xiàn) (Cambridge) 1966 JEOL 發(fā)表第一部商用 SEM(JSM1)在光學(xué)顯微鏡下無(wú)法看清小于 ，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)（ submicroscopicstructures） ,看清這些結(jié)構(gòu)，就必須選擇波長(zhǎng)更短的光源，以提高顯微鏡的分辨率。 1932年 Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡（ transmissionelectronmicroscope， TEM），電子束的波長(zhǎng)要比可見(jiàn)光和紫外光短得多，并且電子束的波長(zhǎng)與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比，也就是說(shuō)電壓越高波長(zhǎng)越短。目前 TEM的分辨力可達(dá) 。 主要用于顯微結(jié)構(gòu)分析、晶粒形貌、晶體缺陷、納米顆粒大小、界面結(jié)構(gòu)、高分辨晶格像、微區(qū)成分分析等。 （ 1）透射式電子顯微鏡 透射電鏡（ transmission electron microscope） 是以電子束透過(guò)樣品經(jīng)過(guò)聚焦與放大后所產(chǎn)生的物像， 投射到熒光屏上或照相底片上進(jìn)行觀察。透射電鏡的分辨率為 ～ ，放大倍數(shù)為幾萬(wàn)～幾十萬(wàn)倍。由于電子易散射或被物體吸收，故穿透力低，必須制備更薄的超薄切片（通常為 50～ 100nm）。 透射電子顯微鏡 工作原理 : 由電子槍發(fā)射出來(lái)的電子， 在陽(yáng)極加速電壓 (金屬、陶瓷等多采用 1 200、 300 kV，生物樣品多采用 80～ 100 kV，超高壓電鏡則高達(dá) 1 000～ 3 000 kv)的作用下 ，經(jīng)過(guò)聚光鏡( 3個(gè)電磁透鏡 )會(huì)聚為電子束照明樣品．電子的穿透能力很弱 (比 X射線弱很多 )，樣品必須很薄 (其厚度與樣品成分、加速電壓等有關(guān)，一般約小于 200 nm)． 穿過(guò)樣品的電子攜帶了樣品本身的結(jié)構(gòu)信息 ，經(jīng)物鏡、中間鏡和投影鏡的接力聚焦放大最終以圖像或衍射譜 (衍射花樣 )的形式顯示于熒光屏上． 1．電磁透鏡 相應(yīng)于光學(xué)玻璃透鏡，我們把能使電子束聚焦的裝置稱為電子透鏡 (electron lens)．旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的靜電場(chǎng)和磁場(chǎng)對(duì)電子束都可以起到聚焦的作用 ，相應(yīng)地有靜電透鏡和磁透鏡．磁
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