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《納米膜的制備方法》ppt課件-文庫吧

2025-04-18 03:30 本頁面


【正文】 ?分子束外延( MBE)技術主要是一種可以在原子尺度上精確控制外延厚度、摻雜和界面平整度的超薄層薄膜制備技術。 ?所謂“外延”就是在一定的單晶體材料襯底上,沿著襯底的某個指數(shù)晶面向外延伸生長一層單晶薄膜。 ?分子束外延是在超高真空條件下,精確控制原材料的分子束強度,把分子束射入被加熱的底片上而進行外延生長的。由于其蒸發(fā)源、監(jiān)控系統(tǒng)和分析系統(tǒng)的高性能和真空環(huán)境的改善,能夠得到極高質量的薄膜單晶體。
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