特種加工第六章ppt課件(已改無錯(cuò)字)
2023-05-30 03:09:29 本頁面
【正文】 性元素 ?氬氣 原子序數(shù)高 價(jià)格便宜 ?逐個(gè)原子剝離 微米或亞微米級(jí) ? 蝕除速度很低 每秒一層到幾十層原子 ?刻蝕加工時(shí)，對(duì)離子入射能量、束流大小、離子入射到工件上的角度以及工作室氣壓等都能分別調(diào)節(jié)控制。用氬離子轟擊被加工表面時(shí)，其效率取決于離子能量和入射角度。 ?離子能量從 100eV到 1000eV增加時(shí)，刻蝕率增加，而后增加速率逐漸減慢。 ?離子刻蝕率隨入射角增加而增加，但入射角增大會(huì)使表面有效束流減小，一般入射角在40~60度時(shí)刻蝕效率最高。 加工陀螺儀空氣軸承和動(dòng)壓馬達(dá)上的溝槽，分辨率高，精度、重復(fù)一致性好。 加工非球面透鏡能達(dá)到其他方法不能達(dá)到的精度。 航天、航空中動(dòng)壓馬達(dá)止推板和陀螺馬達(dá)軸上的精密槽線 ?刻蝕高精度的圖形，如集成電路、聲表面波器件、磁泡器件、光電器件和光集成器件等微電子學(xué)器件亞微米圖形 ?由波導(dǎo)、耦合器和調(diào)制器等小型光學(xué)元件組合制成的光路稱為集成光路。 離子束刻蝕已用于制作集成光路中的光柵和波導(dǎo)。 ?轟擊被機(jī)械磨光的玻璃，形成極光滑的表面，改變其折射率分布，使之具有偏光作用。 ?轟擊玻璃纖維，變?yōu)榫哂胁煌凵渎实墓鈱?dǎo)材料。 ?使太陽能電池表面具有非反射紋理表面。 離子束刻蝕還用來致薄材料，用于致薄石英晶體振蕩器和壓電傳感器。致薄探測(cè)器探頭，可以提高其靈敏度。 用于致薄樣品，進(jìn)行表面分析，例如可以致薄月球巖石樣品，從 10微米致薄到10納米。 能在１納米厚的 AuPa膜上刻出８納米寬的線條。 （二）鍍膜加工 離子鍍膜加工有濺射沉積和離子鍍兩種。離子鍍時(shí)工件不僅接受靶材濺射來的原子，還同時(shí)受到離子的轟擊，這使離子鍍具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。 ?離子鍍膜附著力強(qiáng)、膜層不易脫落。 清洗掉表面的沾污和氧化物 提高工件表面附著力 形成混合過渡層 減少膜材與基材熱膨脹系數(shù)不同而產(chǎn)生的熱應(yīng)力，增強(qiáng)兩者的結(jié)合力，使膜層不易脫落，鍍層組織致密，針孔氣泡少。 ?繞射性好，使基板的所有暴露的表面均能被鍍覆。 ?離子鍍的可鍍材料廣泛，可在金屬或非金屬表面上鍍制金屬或非金屬材料，各種合金、化合物、某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點(diǎn)材料均可鍍覆。 ?離子鍍技術(shù)已用于鍍制潤滑膜、耐熱膜、耐蝕膜、耐磨膜、裝飾膜和電氣膜等 氮化鈦18Ｋ金鍍膜 耐磨性 耐腐蝕性 價(jià)格 1/60 用于首飾、景泰藍(lán)、金筆套、餐具等。 ?離子鍍代替鍍硬鉻，可減少公害。 ?航空工業(yè)中可采用離子鍍鋁代替飛機(jī)部件鍍鎘。 ?用離子鍍方法在切削工具
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