激光干涉測(cè)長(zhǎng)技術(shù)ppt課件(已改無(wú)錯(cuò)字)
2023-02-08 00:40:33 本頁(yè)面
【正文】 的束腰位置上 。 還有許多阻擋非期望光線進(jìn)入干涉場(chǎng)的方法 ， 如在接收元件前面加遮光罩和針孔 ， 干涉體系自成密閉等 。 （ 4） 光學(xué)零件表面的塵埃會(huì)產(chǎn)生衍射花樣 ， 這種現(xiàn)象在激光束很細(xì)的地方更為嚴(yán)重 ， 必須認(rèn)真做好光學(xué)元件的清潔工作 。 同理 ， 對(duì)光學(xué)元件的表面質(zhì)量 ， 材料的多項(xiàng)質(zhì)量指標(biāo)均應(yīng)予以適當(dāng)提高 。 （ 5） 用偏振的方法來(lái)消除非期望光線 。 原理是：用偏振元件使沿著設(shè)計(jì)路徑行進(jìn)的光束能不受阻擋地進(jìn)入干涉場(chǎng) ， 而其他所有的非期望光線都被排除在干涉場(chǎng)之處 。例如圖 ， 光線入射到析光鏡 2之前已被起偏振器 1變成線偏振光 ，干涉場(chǎng)前面放置一個(gè)檢偏器 7， 并使它和起偏振器正交 ， 因此 ，從干涉儀任何表面反射來(lái)的光線都被檢偏器阻擋了 ， 就連所期的兩束相干涉的光也不能通過(guò) 7進(jìn)入干涉場(chǎng) ， 為此需要在反光鏡 6前面安放一個(gè)光軸與入射偏振光成 45176。 的波片 4， 使反射前后光線的偏振方向旋轉(zhuǎn) 90176。 ， 于是所期望的光束就能通過(guò)檢偏器 ， 而一切非期望光線則被排除在干涉場(chǎng)之外 ， 稍稍轉(zhuǎn)動(dòng)波片 ， 還能調(diào)節(jié)光束的強(qiáng)度 ， 以平衡兩束相干光線的強(qiáng)度 。 這種偏振的方法在實(shí)踐中是非常有用的 。 用偏振的方法來(lái)消除非期望光線 五 、 反射器 各種反射器如圖所示，有平面反射鏡 直角棱鏡 角錐棱鏡三種貓眼系統(tǒng) 4和固定反射鏡與直角棱鏡的組合 5。 各種反射器 六、移相器 干涉條紋屬增量碼，需要判向可逆記數(shù)。 干涉條紋的移相就是為了判別動(dòng)鏡移動(dòng)的方向和倍頻的需要。它是將干涉條紋用一定的方法分為二部分并使兩者的位相偏移 π/2，經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后，這兩部分輸出的電信號(hào)的位相也偏移 π/2，可用這兩組信號(hào)來(lái)進(jìn)行判向和倍頻。下面介紹幾種常見(jiàn)的移相方法。 1．翼形板和分象棱鏡組合的移相。翼形板的形狀如圖，是由兩厚度相等、材料相同的玻璃平板膠合而成，兩板夾角 170176。 ，厚度 5mm翼形板在激光干涉比長(zhǎng)儀中是如圖方式安置的，即它被放在干涉光路（測(cè)量光路或參考光路均可）光束截面的下半部。使用時(shí)，以兩板的交棱為軸，適當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)翼形板，使通過(guò)兩板的光線彼此有 λ/4的光程差。 翼形板及其安置方式 2．狹縫移相當(dāng)。在兩光電接收器前分別置兩狹縫，如圖，使兩狹縫相對(duì)移開(kāi) 1/4干涉條紋的距離，這樣通過(guò)兩狹縫的兩組干涉條紋就有 π/2的位相差。 狹縫移相 3．在析光鏡上鍍移相膜法。
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