《激光干涉測長技術》ppt課件-文庫吧
2024-12-24 00:40 本頁面
【正文】 2LN??02nLN??二 、 幾種典型的布局 1． 使用角錐棱鏡反射器的干涉系統(tǒng) 。 （ 1） 圖 （ a） 結構的主要特點是反射光束不能反饋回激光器 。缺點是這種成對使用的角錐棱鏡要求配對加工 ， 而且加工精度要求高 。 （ 2） 圖 （ b） 結構只用一個角錐棱鏡作可動鏡 ， 鏡 M1和 M3還能做成一體 ， 如圖 （ c） 所示 。 （ 3） 圖 （ d） 的布局只用一個角錐棱鏡作動鏡 ， 已基本上不受鏡座多余自由度的影響 ， 而且光程增加一倍 。 所以也叫做雙光程干涉儀系統(tǒng) 。 幾種典型布局 2． 整體式布局 。 這是一種將多個光學元件結合在一起 ， 構成一堅固組件的布局結構 。 如圖所示 。 特點：系統(tǒng)對外界的抗干擾性較好 。 缺點是調(diào)整不方便 。 該系統(tǒng)不僅多余自由度消除好 ， 靈敏度也提高一倍 。 整體式布局系統(tǒng) 3． 光學倍頻的布局 （ 特倫系統(tǒng) ） 。 為了提高干涉儀的靈敏度 ， 可以用光學倍頻 （ 也稱光程差放大器 ）的棱鏡系統(tǒng) ， 如圖所示 。 M1每移動 λ/2k就有一個干涉條紋的位移 。 在這種情況下 ， 當 a作為棱鏡斜邊長度時 ， M2對 M1的位移為 a/k（ k為正整數(shù) ） 。 特點：能用簡單的脈沖計數(shù)邏輯做精密測量 ， 而無須依靠條紋細分 ，這種技術還使干涉儀結構緊湊 ， 可使熱 、 空氣以及機械干擾減小 。 光學倍頻系統(tǒng) 三 、 干涉條紋的對比度 1． 對比度的定義： 式中： IM和 Im分別為干涉條紋信號強度的極大值和極小值 。 當 k≥ ， 對比度是好的 。 當 k≥ ， 對比度是滿意的 。 當 k= ， 條紋可分辨 ， 但很難使儀器正常工作 。 2． 影響對比度的因素： （ 1） 光源單色性對條紋 對比度的影響 式中： Δυ為光源譜線寬 ， δ為光程差 。 MmMmIIkII???? ?s ink?? ? ?? ? ??? ? ??? ? ?又知 ， 光源的相干長度 δΔυ為 于是 ， 只要干涉系統(tǒng)的光程差等于或小于光源相干長度的四分之一 ，即以 代入對比度便可達 對于波長 λ=6328197。的激光 ， 它的 Δλ107埃 。 相干長度理論上可達40公里 ， 因此 ， 用激光作干涉儀
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1