激光干涉測長技術ppt課件(已修改)
2025-01-20 00:40 本頁面
【正文】 第六章 激光干涉測長技術 自從 1802年楊氏 （ Thomas Young） 首先用實驗方法研究光的干涉現象以來 ， 對光干涉的本質及其應用研究已延續(xù)近 200年的歷史 。 激光的出現和計算機技術 ， 微電子技術的發(fā)展給光干涉技術注入了新的活力 ， 并已成為現代光學中一個重要的分支 。 激光干涉測量技術不僅被廣泛用于對物體長度 、 角度 、 形狀 、 位移等幾何量的測量 ， 還可利用其測量原理對物理量 （ 如形變 、 速度 、 振動等 ） 及光學系統(tǒng)特性 （ 如象差 ， 光學傳遞函數 ） 等進行測量 。 一 、 激光干涉測長的基準 1975年召開的第十五屆國際計量大會 “ 要求國際計量局和各國研究所繼續(xù)對這些引起輻射 （ 指甲烷和碘穩(wěn)定的氦氖激光波長 ） 進行研究 ” 。 由于穩(wěn)頻技術的進展 ， 甲烷和碘穩(wěn)定的氦氖激光波長值的穩(wěn)定性和再現性都很高 ， 因之有可能取代 86Kr的波長而作為長度的自然基準 。 在 1979年 6月召開的國際 “ 米 ” 定義咨詢委員會第六次會議上 ， 已提出了一個 “ 米 ” 定義的建議草案 。 建議將 “ 米 ” 定義為 “ 平面電磁波在 1/299792458秒的時間間隔內在真空中傳播的距離 ” 。 167。 61 激光干涉測長概述 二 、 激光干涉儀的特點 激光干涉儀 ， 除了具有經典的邁克爾遜干涉測量系統(tǒng)的高精度 ，高靈敏度等優(yōu)點外 ， 還具有以下特點 。 1． 實現了條紋計數自動測量 。 2． 無需補償板 。 3． 角錐棱鏡的優(yōu)點得到充分利用 。 由于角錐棱鏡在運動時即使有小的轉動也不影響反射光軸的方向 ，從而大大降低了對運動導軌的機械精度要求 。 由于反射光束和入射光束是非共軸的 ， 從而避免了反射光的干擾 。 4． 降低了對光闌的要求 。 由于激光單色性好 、 亮度高 ， 所以 ， 激光干涉系統(tǒng)對光闌的主要作用是減小激光器二次發(fā)散光束的影響和擋住背景雜散光 ， 它可安置在準直光管物鏡的主焦點上 。 光闌的形式為小圓孔 。 5． 空氣折射率自動測量與修正 。 一 、 基本測量公式 邁克爾遜雙光束干涉儀測長的公式為 （ 在真空中 ） （“增量法”測長） 當介質為空氣時 ， 上式變?yōu)? 式中 L為被測長度 ， n是空氣折射率 ， λ0是真空中的波長 ， N是干涉條紋明暗變化的數目 。 167。 62 激光干涉儀設計
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1