激光干涉測長技術(shù)ppt課件-資料下載頁
2025-01-08 00:40本頁面
【正文】 在析光鏡上鍍移相膜 七、光電接收時(shí)的光電匹配問題 光電匹配問題為兩個(gè)方面：一是我們在設(shè)計(jì)原則時(shí)已討論過的光電匹配，是應(yīng)使激光器輸出的功率經(jīng)干涉系統(tǒng)到達(dá)探測器的光強(qiáng)正好是在該探測器輸出線范圍；另一方面是從信噪比出發(fā)，要求探測器的寬度 b和條紋的寬度 e的比取 b/e=。 八、方向判別與四倍頻計(jì)數(shù) 由于動鏡在導(dǎo)軌上沿光軸移動的過程中，存在各種偶然因互的干擾（例如外界振動、導(dǎo)軌的平直度誤差以及機(jī)械傳動系統(tǒng)的不穩(wěn)定等），使動鏡產(chǎn)生偶然的反向運(yùn)動，這種偶然的反向運(yùn)動使計(jì)數(shù)器所顯示的脈沖數(shù)為正反向移動的總數(shù)，而不是真正的被測長度，因此必然存在測長誤差。為了解決這一問題，經(jīng)光電轉(zhuǎn)換并放大整形后，信號進(jìn)入一方向判別電路，該電路把計(jì)數(shù)脈沖分成加、減二種脈沖，工作臺正向移動時(shí)引起的脈沖為加脈沖、反向移動時(shí)引起的脈沖為減脈沖、把這兩種脈沖分開后送入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)。 方向判別電路的原理。先在干涉系統(tǒng)中應(yīng)用移相方法（詳見后述）將干涉條紋分為兩組且彼此位相偏移 π/2，分別經(jīng)光電轉(zhuǎn)換后，輸出的兩組光電信號也彼此有 π/2的位移偏移，這兩組光電信號分別經(jīng)放大、整形、倒相，變成四個(gè)位相依次差 π/2的矩形脈沖，再經(jīng)斯密特電路把波形變換成尖脈沖。當(dāng)工作臺正向移動時(shí)，脈沖的排列為 4 、 1 ；反向移動時(shí)，脈沖排列次序?yàn)?1 、 1，如圖所示。在邏輯電路上可根據(jù)脈沖 1的后面是 1或 4來判別正向加脈沖或反向減脈沖，并分別逆入加脈沖的“門”或減脈沖的“門”中去，從而可得到總的加脈沖或減脈沖信號。 判向電路除提高了儀器的抗干擾能力外，還把一個(gè)周期的干涉條紋變化（即亮暗變化一次）變成四個(gè)脈沖輸出信號。因此在測長時(shí)，當(dāng)條紋變一條時(shí)，可逆計(jì)數(shù)器顯示 4個(gè)脈沖數(shù)，這等于把條紋 4細(xì)分了，常稱四倍頻計(jì)數(shù)。此時(shí)每一脈沖代表 λ/8的移動量，所測得的長度 8LN???辯向電路原理 九、激光球面干涉儀 偏振干涉系統(tǒng) 如圖所示為泰曼 —— 格林型的偏振干涉系統(tǒng)，其特點(diǎn)是用一偏振分束器代替常規(guī)的分束板，并在干涉儀的不同部位安置了一些不同的偏振器件（在照明系統(tǒng)中安置一 1/2波片，在參考光路和測量光路中各安置一 1/4波片，而在接收部分安置一檢偏振器）。圖中由 HeNe激光器輸出的線偏振光入射到 1/2波片上， 1/2波片可以繞光軸旋轉(zhuǎn)，以使經(jīng)它出射的偏振光振動方向定位在任何所需的方向上。偏振分束器的作用是把輸入的偏振光按偏振方向分束，使測量光束和參考光束偏振方向互相垂直。
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