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芯片工藝流程(ppt59頁)-閱讀頁

2025-02-27 05:11本頁面

　　

【正文】洗淀積 /生長隔離層勻膠（ SiO2 Si3N4 金屬 … ） HMDS噴淋（增加 Si的粘性）勻光刻膠單項工藝光刻 (5) 前烘對版勻膠對每個圓片必須按要求對版用弧光燈將光刻版上的圖案轉移到光刻膠上。增加黏附作用促進有機溶劑揮發(fā) 單項工藝光刻 (6) 顯影 /漂洗堅膜腐蝕硬化光刻膠。將圓片進行顯影 /漂洗，不需要的的光刻膠溶解到

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