【正文】
了國(guó)內(nèi)多晶硅的投資熱.由于工藝尚不成熟,達(dá)產(chǎn)進(jìn)度緩慢,產(chǎn)能利用率偏低,遠(yuǎn)低于80%的國(guó)際水平.尤其應(yīng)進(jìn)一步提高多晶硅質(zhì)量,以滿足半導(dǎo)體及高效太陽(yáng)能單晶制備需求.單晶硅(1)微型化.半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,對(duì)硅片的尺寸規(guī)格和質(zhì)量提出更高的要求,適合微細(xì)加工的大直徑硅片在市場(chǎng)中的需求比例將日益加大.(2)國(guó)際化、集團(tuán)化、集約化.研發(fā)及建廠成本的日漸增高,加之現(xiàn)有營(yíng)銷(xiāo)與品牌的優(yōu)勢(shì),使硅材料產(chǎn)業(yè)形成“大者恒大”的局面,少數(shù)集約化的大型集團(tuán)壟斷材料市場(chǎng).(3)發(fā)展硅基材料.隨著光電子和通信產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,硅基材料成為硅材料工業(yè)發(fā)展的重要方向.主要的硅基材料包括SOI(絕緣體上硅)、應(yīng)變硅、GeSi.S01技術(shù)已開(kāi)始在世界廣泛應(yīng)用,SOI材料在整個(gè)半導(dǎo)體材料市場(chǎng)中的比例增大.(4)硅片制造技術(shù)進(jìn)一步升級(jí).世界普遍采用先進(jìn)的切、磨、拋和潔凈封裝工藝,硅片制造技術(shù)取得明顯進(jìn)展;最新尖端技術(shù)的導(dǎo)入,SOI等高功能晶片的試制開(kāi)發(fā)進(jìn)入批量生產(chǎn)階段;硅片生產(chǎn)企業(yè)增加300 mm硅片設(shè)備的投資;針對(duì)設(shè)計(jì)規(guī)則的進(jìn)一步細(xì)化,開(kāi)發(fā)高平坦度的硅片和無(wú)缺陷的硅片.[1]朱黎輝 中國(guó)半導(dǎo)體硅(多晶、單晶)材料發(fā)展60年[期刊論文]新材料產(chǎn)業(yè) 2009(12)[2]靳曉宇 半導(dǎo)體材料的應(yīng)用與發(fā)展研究[期刊論文]大眾商務(wù)(投資版) 2009(6)[3] Xingzhang 國(guó)內(nèi)外硅半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀及發(fā)展[期刊論文]上海有色金屬 2013(3)[4]劉秋娣;林安中;林喜斌 多晶硅錠的制備及其形貌組織的研究[期刊論文]稀有金屬 2002,26(6)[5]BUONASSISI T。PICKETT M D Transition metals in photovoltaicgrade ingotcast multicrystalline silicon:Assessing the role of impurities in silicon nitride crucible lining material[外文期刊]2006(02)[6][期刊論文]光源與照明 2010(1)[7]MOLLERT H J。RINIO M。KOBSAK