真空技術(shù)-對(duì)水環(huán)真空泵的幾點(diǎn)看法-閱讀頁
2024-08-02 01:31本頁面
【正文】 105 105 1 μbar 101 104 101 1 103 107 106 105 105 1 mbar 102 101102 103 1 104 103 102 102 1 atm 101325 760 760103 103 1 1 am 103 980663 980663103 1 1 inHg 3386 103 104 102 102 1 101 1 lb/in2 6895 103 104 102 102 1 不同壓強(qiáng)下空氣分子密度P(托)1103104105106109n0(個(gè)/厘米3)41016410134101241011410104107 1真空油脂的主要性能名稱 成分 20℃時(shí)飽和蒸氣壓(托)最高使用溫度(℃)2高分子碳 108303氧化合物 109354皂基脂 107~1081307501硅油加硅粉 106以下 40~+200 1力單位的換算 達(dá)因(Dyn) 牛頓(N) 斯坦 公斤力(kgf) 1 105 108 106 1功率單位換算 單位 馬力 千瓦 瓦 馬力(PS) 1 735 千瓦(kW） 1 1000 瓦(W) 1 1真空封膏特性真空脂名稱 真空封脂 真空封泥 50＃ 80＃ 30＃ 溫度 50℃ 80℃ 30℃ 107~108托 107~108托 5104托 1各種橡膠特性表橡膠種類 天然橡膠 丁基橡膠 丁腈橡膠 氟橡膠 特性1 耐水性，耐酸性，耐堿性良好 滲透率小 耐油良好 23型耐強(qiáng)酸 特性2 出氣量較大 升華嚴(yán)重 彈性較好 26型滲透率低出氣率小 真空范圍 110－5托 10－7托 10－8托 108托 溫度 －30~80℃ －30~150℃ －30~120℃ 20~200℃ 1面積單位換算平方米(m2)平方厘米(cm2)平方毫米(mm2)平方市尺(sc2)平方英尺(ft2)平方英寸(in2)110000100000091550 1容積單位換算立方米 升 立方市尺 英加侖 美加侖(液體)立方英尺 立方英寸 日升1100027 11號(hào)真空機(jī)械泵油的主要性能指標(biāo)項(xiàng)目 運(yùn)動(dòng)粘離(厘泊)閃點(diǎn)(℃)飽和蒸汽壓20℃時(shí)(托) 比重(克/厘米3)分子量(克)KK150℃時(shí)(47~57)100℃時(shí)(8~11)不低于15不高于4105333 1國產(chǎn)擴(kuò)散泵油性能指標(biāo)牌號(hào)123274硅油275硅油飽和蒸氣壓(托)20℃不大于4108210821082108108運(yùn)動(dòng)粘度(厘泊)45~6055~6568~8038177。20凝固點(diǎn)(℃)不高于1515151014~18閃點(diǎn)(℃)不低于230230230＞210＞243比重(克/厘米2) ~177。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思?！ ?托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱 托與帕的轉(zhuǎn)換 1托＝ 或 1帕＝103托 平均自由程 作無規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離，用符號(hào)“λ”表示。升/秒（Pa升/秒（Torr 流導(dǎo) 表示真空管道通過氣體的能力。符號(hào)記作“U”?！ ?biāo)準(zhǔn)大氣壓 壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓，符號(hào)：（Atm）。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次，取其10次的平均值為極限真空值。即Sp＝Q/（P－P0） 1熱偶真空計(jì) 利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測(cè)量真空度的真空計(jì)。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)?！ ?冷陰極電離計(jì) 陽極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用，陽極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)?！ ?麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)） 將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)。收集極是一根細(xì)絲，放在柵網(wǎng)中心，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響，延伸測(cè)量下限，可測(cè)超高真空。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。 2油封機(jī)械真空泵 用油來保持密封的機(jī)械真空泵，可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式等。 2渦輪分子真空泵 有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散，并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除?！ ?冷阱（水冷擋板） 置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置?！ ?真空冷凍干燥 真空冷凍干燥，也稱升華干燥。 2真空蒸鍍 在真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，或叫真空鍍膜?！ ?真空系統(tǒng)常用名稱 (1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。真空計(jì)算公式玻義爾定律體積V，壓強(qiáng)P，P即P1/P2＝V2/V1蓋查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其絕對(duì)溫度T成正比，即：P1/P2＝T1/T2在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1℃，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。升/秒) P＝壓強(qiáng)(托) V＝體積(升) t＝時(shí)間(秒)通導(dǎo)： C＝Q/(P2P1) (升/秒)真空抽氣時(shí)間：對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式：t＝8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)V為體積，S為抽氣速率，通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。l/s)V－系統(tǒng)容積(l)P1－真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2－真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t－壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)1粗抽泵的抽速選擇：S＝Q1/P預(yù) (l/s)S=升/秒)P預(yù)－需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V－真空系統(tǒng)容積(升)t－達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa－大氣壓值(托）1前級(jí)泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值，選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS 或Sg≥Pgs/PnSg－前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg－真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S－主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。n)/(P升/秒)K＝V0(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)L－滴管刻度部分的長(zhǎng)度(mm)n－滴管刻度部分的格數(shù)(格)Υ0－油的比重(克/厘米3)Υm－汞的比重(克/厘米3)Pa－當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)△Vt－滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格)1旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：S＝πZnLKv(D2d2)/(24104) (l/s)式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長(zhǎng)度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取
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