真空技術-對水環(huán)真空泵的幾點看法(參考版)
2024-07-25 01:31本頁面
【正文】 1O型橡膠槽深B＝D為橡膠直徑，槽寬C＝1方形橡膠槽深B＝A為方形橡膠邊長，槽寬C＝19 / 19。(L/n)t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)n－滴管內油柱上升格數(格)t－油柱上升n格所需要的時間(秒)P－在泵口附近測得的壓強(托)K－滴管系數(托(l/s)1擴散泵抽速計算公式：S＝Q/P＝(Klg(Pa/P預)/tS－機械泵有效抽速Q1－真空系統(tǒng)漏氣率(托 維持泵選擇：S維＝S前/10擴散泵抽速估算：S＝3D2 (D＝直徑cm）羅茨泵的前級抽速：S＝(~)S羅 (l/s)1漏率：Q漏＝V(P2P1)/(t2t1)Q漏－系統(tǒng)漏率(mmHg平均自由程：λ＝(5103)/P (cm)抽速：S＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/PQ＝流量(托呂薩克定律當壓強P不變時，一定質量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：V1/V2＝T1/T2＝常數當壓強不變時，一定質量的氣體，溫度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。V＝常數一定質量的氣體，當溫度不變時，氣體的壓強與氣體的體積成反比。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。 (4)維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵?！ ?3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵?！ ?2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。 真空干燥 利用真空環(huán)境下沸點低的特點來干燥物品的方法。其原理是將材料冷凍，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達到干燥目的?！ ?氣鎮(zhèn)閥 油封機械真空泵的壓縮室上開一小孔，并裝上調節(jié)閥，當打開閥并調節(jié)入氣量，轉子轉到某一位置，空氣就通過此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥?！ ?低溫真空泵 利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵?！ ?油擴散真空泵 擴散泵噴口中噴出高速蒸汽流?！ ?羅茨真空泵 具有一對同步高速旋轉的鞋底形轉子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣的真空泵?！ ⊥鶑驼婵毡? 利用活塞的往復運動而進行抽氣的機械真空泵?！ ?水環(huán)真空泵 泵的葉輪轉子旋轉而產生水環(huán)?！ ?B－A規(guī) 這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。 1電阻真空計 利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計?！ ?復合真空計 由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量范圍從大氣~105Pa。 1電離真空計（又收熱陰極電離計） 由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。 1抽氣速率 在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。 極限真空 真空容器經充分抽氣后，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空。 U＝Q/(P2 P1) 壓力或壓強 氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力，用“P”表示。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下，管道流導等于管道流量除以管道兩端壓強差。L/s）。L/s）或托 流量 單位時間流過任意截面的氣體量，符號用“Q”表示，單位為帕 真空度單位 通常用托（Torr）為單位，近年國際上取用帕（Pa）作為單位?！≌婵毡玫姆N類及其工作范圍真空泵工作范圍(托) 真空泵工作范圍(托)旋片真空泵760~5104往復真空泵760~102滑閥真空泵760~5103 吸附泵760~104油增壓泵101~104濺射離子泵104~1010羅茨真空泵101~104 鈦升華泵103~1010油擴散泵103~5107 分子泵103~1010水環(huán)真空泵760~25低溫泵103~1010 2水在各種溫度下的飽合蒸氣壓溫度壓力 溫度壓力℃PaTorr℃PaTorr13107303710011012281314971719372023372328082735643042423350293762744073784386384710610501233053142905717310601991063228406727320733542077418708353400876248093784609790920100101325101104980 真空名詞術語真空的定義 真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài) 真空度 處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。3165177。F32)176。F(華氏)K(絕對溫度)1℃+5/9(176。關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我廠網頁 真空計算公式。因為雙作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。因為單作用泵的構造簡單，容易制造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機組作為抽真空裝置。根據以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內運行，往往還會發(fā)生汽蝕現象，產生這種現象的明顯標志是泵內有噪音和振動。水環(huán)式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在108mmHg下長期工作。正確地選擇真空泵的工作點。如：真空鍍膜要求1105mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。 往復式真空泵主要技術規(guī)格W50 (W3) W70 (W41)W100 (W4) W150 (W51)W200 (W51)抽氣速率 1/S5070100150200極限真空KPa (10TOrr) (20TOrr) (10TOrr) (20TOrr) (20TOrr)轉速 r/min300364200300430配用電機型號Y132S4Y160W6Y160L6Y180L6Y200L26功率(KW)111522進出口管直徑mm508080 125125進出口水管直徑1/21/23/43/43/4氣缸直徑*行程mm250*150250*150350*200350*200350*200外型尺寸mm長14021408177318561856寬615515800665665高640537891772772技術性能參數型號WL50WL100WL200抽氣速率L/s(m3/h)
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