電子薄膜技術(shù)ppt課件-閱讀頁
2025-05-20 02:56本頁面
【正文】 列晶態(tài)與非晶態(tài)超晶格薄膜。 薄膜壓力傳感器 金剛石薄膜 UV傳感器 緒論 28 ⑤ 薄膜電阻、薄膜電容、薄膜阻容網(wǎng)絡(luò)與 混合集成電路 緒論 29 ⑥ 薄膜太陽能電池 非晶硅、 CuInSe2和 CdSe薄膜太陽電池。 電致發(fā)光多層薄膜（包括 ITO膜， ZnS： Mn等發(fā)光膜， Al電極膜等）組成的全固態(tài)平板顯示器件及OLED顯示器件。 ⑨ 磁記錄薄膜與薄膜磁頭 高質(zhì)量和錄象的磁性材料薄膜錄音帶與錄象帶； 計算機(jī)數(shù)據(jù)存儲的 CoCrTa、 CoCrNi等的薄膜軟盤和硬盤； 垂直磁記錄中 FeSiAl薄膜磁頭等。 緒論 32 鐵電存儲器 緒論 33 第一堂課主要內(nèi)容 ? 課程情況介紹 ? 課程考核方式 ? 薄膜材料的定義 ? 薄膜技術(shù)的發(fā)展 ? 課程教學(xué)內(nèi)容 緒論 34 淀積法 滲入法 化合法、擴(kuò)散法、離子注入法 氣相法 液相法 化學(xué)鍍、電鍍、 SolGel、 MOD、液相外延、水熱法、噴霧熱解、噴霧水解、LB膜 PVD CVD 常壓 CVD、 低壓 CVD、 金屬有機(jī)物 CVD、 等離子體 CVD、 光 CVD、熱絲 CVD 真空蒸發(fā) Evaperation 濺射 Sputtering 離子鍍 Ion plating 薄膜制備方法的分類 緒論 35 第一章 真空技術(shù)基礎(chǔ) 第二章 薄膜的物理氣相沉積（ I） 蒸發(fā)法 第三章 薄膜的物理氣相沉積（ II） －－濺射 法及 其他 PVD方法 第四章 薄膜的化學(xué)氣相沉積 第五章 化學(xué)溶液沉積法制備薄膜 第六章 薄膜生長過程和薄膜結(jié)構(gòu) 第七章 薄膜材料的表征方法 第八章 薄膜材料及其應(yīng)用 課程教學(xué)內(nèi)容 緒論 36 YBCO 薄膜形貌 緒論 37 小結(jié) ? 在材料科學(xué)的各分支中，薄膜材料科學(xué)發(fā)展的地位極為重要。 ? 幾點(diǎn)希望 ： 1. 意見要求及時反饋 2. 認(rèn)真聽講、完成作業(yè)、積極思考、踴躍發(fā)言 3. 嚴(yán)謹(jǐn)求實(shí)、誠信正直 4. 師生共同努力、共同進(jìn)步，圓滿愉快地完成本課程的教學(xué)！ 緒論 38
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